【課題】本発明は、光軸位置と向きを精度良く決定できる光学素子及び光学素子の偏芯量測定方法を提供する。
【解決手段】 光学素子は、光束を通過又は反射し、第１の関数で規定される第１表面を有する有効領域（ＹＲ）と、有効領域の外側の領域に形成され、第１の関数と異なる第２の関数で規定される第２表面を有する非有効領域（ＨＲ）と、を備える。そして光学的非有効領域（ＨＲ）の第２の関数は、曲面又は互いに異なる関数で表わされる２つ以上の平面を有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計において被検体を効率よく交換できるとともに、簡素な構成であっても被検体と干渉計本体部との間の位置調整を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、被検面１０ａの球心Ｒを軸線Ｏ上に保持する保持突起５と、光源からの可干渉光束を、被検面１０ａに照射する測定光束と参照面で反射された参照光束とに分割して、測定光束による被検面１０ａでの反射光束と参照光束とを干渉させる干渉光学系を収容する干渉計本体部１４と、干渉計本体部１４を保持突起５に対向する位置に配置する架台部２と、干渉計本体部１４を少なくとも軸線Ｏに直交する方向に移動可能に保持し干渉光学系の光軸Ｌを軸線Ｏに対して位置合わせする調整機構２０と、保持突起５を保持し軸線Ｏに沿う方向に移動可能に設けられた可動保持台６と、を備え、調整機構２０と可動保持台６とにより、被検レンズ１０と干渉計本体部１４との位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換法の解析誤差を確実に抑える波形解析装置、波形測定装置、波形解析プログラム、及び波形解析方法を提供する。
【解決手段】波形解析方法は、キャリアが重畳された入力波形へフーリエ変換法による波形解析処理を施すことにより前記入力波形の位相情報を抽出する波形解析方法であって、前記入力波形のフーリエスペクトルから＋１次スペクトルと−１次スペクトルとの少なくとも一方を狭帯化してからそれらのスペクトルを分離し、分離されたそれらのスペクトルの一方に基づき前記入力波形の位相情報を算出する解析手順と、前記入力波形のモデルに対して前記解析手段と同じ波形解析を試験的に施すことにより、前記入力波形を波形解析する際に前記解析手順で発生する解析誤差を見積もる見積もり手順と、前記見積もり手順で見積もった解析誤差により前記解析手段が算出した位相情報を補正する補正手順とを含む。 （もっと読む）

【課題】データ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を抑える。
【解決手段】フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形に含まれる特定成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、前記入力波形の特定成分の設計値を含む基礎データに基づき、前記入力波形のモデルであるモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４）と、前記モデル作成手順で作成されたモデル波形へ前記本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形に含まれる特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、前記テスト解析手順で算出された特定成分と前記モデル波形に実際に含まれる特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含む。 （もっと読む）

【課題】データ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を抑える。
【解決手段】フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形に含まれる特定成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、算出した特定成分を含む基礎データに対して平滑化処理を施すことにより、前記入力波形のモデルであるモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４）と、前記モデル作成手順で作成したモデル波形へ前記解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形に含まれる特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、前記テスト解析手順が算出した特定成分と前記モデル波形に実際に含まれる特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、前記誤差算出手順で算出した解析誤差に基づき前記本解析手順で算出した特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含む。 （もっと読む）

【課題】筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供する。
【解決手段】光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、被検面からの反射光及び参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、光軸Ｃ１上に配置された複数の光学部品と、複数の光学部品のうち、少なくとも１つの光学部品８を内部に納める筒状の筐体部１０と、筐体部に納められた少なくとも１つの光学部品を筐体部内で移動させ、少なくとも１つの光学部品と他の光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構１９と、筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、調整移動機構の移動量を操作する操作部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の傾きが変更可能なミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】ミラー面に測定光を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光がミラー面で反射された光を反射する凹面形状の投射面２０ａ−１を備えた凹面投射部２０−１と、凹面投射部２０−１の投射面において反射された光を受光する受光部１９１と、受光部１９１が受光した光を元にミラーシステムの特性を測定する測定部１０４とをそなえる。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】球面波の光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置ｚｉ（ｉ＝１〜Ｎ）に順に位置決めし、前記複数の位置ｚｉのそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置ｚｉのそれぞれから前記非球面軸に垂直な方向に既知の量だけシフトした複数のシフト位置ｓｉ（ｉ＝１〜Ｎ）のそれぞれに前記被検面を位置決めし、前記複数のシフト位置ｓｉのそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸に垂直な方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸の方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、解析誤差を確実に抑えることのできるフーリエ変換法による波形解析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の波形解析方法の一態様は、キャリアが重畳された入力波形へフーリエ変換法による波形解析処理を施すことにより、前記入力波形の位相情報を抽出し、その位相情報に基づきその位相情報に含まれる信号成分を算出する波形解析方法であって、前記入力波形のフーリエスペクトルから＋１次スペクトルと−１次スペクトルとを分離する（Ｓ１６，Ｓ２０）に当たり、それらスペクトルの少なくとも一方を狭帯化する狭帯化手順（Ｓ１４，Ｓ１８）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源から出射された光を効率良く収差測定または表面形状測定に用いることのできる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置1は、光源１０から出射した光を被検物である凸レンズ５に照射する照明光学系２と、凸レンズ５からの光が入射する複数のマイクロレンズ２１を２次元的に配列したマイクロレンズアレイ２０と、複数のマイクロレンズ２１の各々において結像された点像を検出する受光素子２２と、受光素子２２において検出された点像の位置を基に、凸レンズ５の光学性能を算出する解析装置２３とを備えている。照明光学系２は、複数の点光源からの光を、凸レンズ５に照射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 分光器の出射スリットから出射する光の波長が予め設定した波長となるように波長校正を短時間でかつ高精度に行うことができる分光器を得ること。
【解決手段】 単一の光源からの光束であって分光手段で分光した光のうち、所定の波長の光を出射スリットの開口部から出射する分光器において、
前記出射スリットから射出した光が投影される位置に配置され、該出射スリットから射出される光のスペクトルを取得し、該取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能な空間分解能を持つ強度センサを有すること。 （もっと読む）

光学的劣化の程度を判断するためのＥＵＶミラーの原位置モニタリングの方法を開示する。本方法は、ＥＵＶスペクトル外の波長を有する光でミラーの少なくとも一部を照射する段階／行為と、光がミラーから反射した後に光の少なくとも一部を測定する段階／行為と、測定値及びミラー劣化と光反射率の所定の関係を用いて多層ミラー劣化の程度を推定する段階／行為とを含むことができる。同じく開示するのは、金属質基板を準備する段階と、基板の表面をダイヤモンド切削する段階／行為と、物理蒸着を用いて表面の上に重なる少なくとも１つの中間材料を堆積させる段階／行為と、中間材料の上に重なる多層ミラーコーティングを堆積させる段階／行為とを含むことができる近垂直入射ＥＵＶミラーを調製する方法である。 （もっと読む）

【課題】トロイダル面の形状を表す曲率半径等のパラメータを精度よく算出する。
【解決手段】評価対象のトロイダル面を三次元測定器等を用いて形状測定し、２つの曲率半径や軸の回転・傾きの実測値を求める（Ｓ１、Ｓ２）。次いで、２つの曲率半径、軸の回転・傾きの仮値を、理想面を与える仕様値を基準とした公差の範囲で変化させ、その仮値と実測値との差のＰＶ値が最小となるような仮値をそれぞれ求める（Ｓ３〜Ｓ６）。そうして最終的に求まった、２つの曲率半径、軸の回転・傾きの仮値を、評価対象のトロイダル面の形状を表す値として出力する（Ｓ７）。 （もっと読む）

【課題】短時間で揺動体の共振周波数を探し、この共振周波数との関係で、定常的な駆動周波数を適当に設定することが可能な揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、共振周波数を持つ揺動体と、揺動体の揺動量に係る情報を検出する検出手段15、16と、揺動体を駆動する駆動手段12と、制御手段17とを有する。制御手段は、駆動手段に印加される駆動信号の駆動周波数を変更するための駆動周波数変更手段108を含む。制御手段は、駆動周波数変更手段に、共振周波数と離れた掃引開始周波数から、共振周波数の方向に、所定の時間変化率で駆動周波数を掃引させる。駆動周波数の掃引において検出手段が出力する情報に基づく揺動量がピークになったときの駆動周波数を検出して、この駆動周波数より掃引開始周波数に所定値近い周波数を共振周波数として予備的または最終的に決定する。 （もっと読む）

【課題】レンズを光路から退避させる必要がなく、ダハミラーのダハ角および交点高さを求めるタクトタイムを短くすることのできるダハミラー測定装置を提供する。
【解決手段】ダハミラーのダハ面に向けて測定光束を射出するレーザポインタ３４を備え、そのダハ面で反射されるレーザ光を受光することにより、そのダハ角度及び交点高さを測定するダハミラー測定装置であって、前記ダハ面で反射したレーザ光を２つに分割するビームスプリッタ４０と、このビームスプリッタ４０で分割された一方の分割測定光束を集光させる集光レンズ５０と、この集光レンズ５０で集光された分割測定光束を受光するＣＣＤカメラ６０と、 他方の分割レーザ光を受光するＣＣＤカメラ７０とを設け、ＣＣＤカメラ６０の受光面の受光位置と、ＣＣＤカメラ７０の受光面の受光位置とに基づいてダハミラーのダハ角度と交点高さを求める。 （もっと読む）

【課題】短時間で比較的正確な検査が可能であり、放電型の発光管と組み合わされるリフレクタについても正確な検査が可能な検査装置等を提供すること。
【解決手段】検査装置は、検査対象である楕円リフレクタＥＲを固定するホルダ７１と、検査用ランプ光源６８を有する発光装置６７と、発光装置６７を楕円リフレクタＥＲに対して変位させる光源変位装置７２と、開口ＡＰを有するマスク６１と、マスク６１の後段に配置されて検査光ＴＬを計測するための積分球７６及び簡易照度計７７とを備える。マスク６１がランプ光源６８に組み込まれたフィラメント６８ａのサイズに基づいて設定されたサイズの開口ＡＰを有し、固定状態の楕円リフレクタＥＲの第２焦点Ｆ２に固定されるので、検査用ランプ光源６８のフィラメント６８ａが有する形状の影響を低減した計測が可能になり、楕円リフレクタＥＲの特性を比較的正確に計測することができる。 （もっと読む）

【課題】リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間でリフレクタの性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象となる楕円面リフレクタ１０を支持するためのリフレクタ支持部材１１０と、楕円面リフレクタ１０に向けてレーザ光を照射するためのＬＤ光源１２０と、ＬＤ光源１２０を支持するためのＬＤ光源支持部材１３０と、楕円面リフレクタ１０の第１焦点近傍にＬＤ光源１２０を配置するために、ＬＤ光源１２０の位置を調整する機能を有する位置調整装置と、楕円面リフレクタ１０の第２焦点近傍に配置され、楕円面リフレクタ１０から射出される光の量を測定するための光量測定装置１５０とを備えるリフレクタ評価装置。 （もっと読む）