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Fターム[2H025BD52]の内容

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【課題】酸存在下での極性変化の反応性に優れるポリマーを提供する。
【解決手段】下記一般式で示される構成単位を含むポリマー、


(式中、Rは水素又はC1〜4のアルキル基であり、Rは水素、アルキル基又はフェニル基であり、mは1〜4の整数)及び、1〜4個のC1〜4アルキル基の置換体を有するアルキルフェノールノボラック樹脂のフェノール性水酸基を2,3−エポキシ−1−プロパノールで変性したポリマーである。更に、これらのポリマーと光酸発生剤とを含有した感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】最終的に得られるポリイミドの化学構造を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、形状が良好なパターンを得ることができ、簡便に合成できて安価に入手可能な、高感度の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表わされる繰り返し単位を有するポリイミド前駆体、及び、光塩基発生剤を含有する、感光性樹脂組成物である。
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【課題】高感度で、ポリイミド前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アントラセン骨格もしくはチオキサントン骨格を有し、塩基発生部位としてCH2−Y(ここでYは特定の第4級アンモニオ基、Xはそのカウンターイオン)が置換された特定の化合物である光塩基発生剤、及びポリイミド前駆体を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】400nm以上の波長領域に、光反応活性を有する新規な光塩基発生剤を提供する。また、高感度で、高分子前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1A)〜(1C)で表わされる光塩基発生剤、及び当該光塩基発生剤と高分子前駆体を含有する、感光性樹脂組成物である。


(式中、RとRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、もしくは1価の有機基を示す。Rは、それぞれ独立に、水素原子、もしくは1価の有機基を示す。但し、Rの少なくとも1つは、1価の有機基である。) (もっと読む)


【課題】塗布時の面内均一性が良好で、高膜厚塗布及びアルカリ現像が可能であるとともに、解像度の高い硬化物を得ることが可能な、表面保護膜、層間絶縁膜、及び高密度実装基板用絶縁膜用途に適した樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(2)で表される繰り返し単位を含む、水酸基を有するポリイミド重合体と、(B)プロピレングリコールモノアルキルエーテル類等の特定溶媒を含む溶剤とを含有する樹脂組成物である。
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【課題】そり、耐折性、耐湿絶縁信頼性の特性バランスが良く、120℃の低温硬化にも対応可能な感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造方法、フレキシブル基板及び電子部品を提供する。
【解決手段】ビフェニル構造を有するノボラック型エポキシ樹脂(a)に不飽和モノカルボン酸成分(b)を反応させて得られるエステル化物に、さらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(c)を付加した付加反応生成物である酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、光開始剤(B)、エポキシ樹脂(C)、を成分とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】作製が容易で、現像処理が不要であり、湿し水を使わなくても地汚れの少ない印刷用版材、刷版、および刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】少なくとも疎水性基を有するポリイミド前駆体を含有するポリイミド前駆体樹脂組成物を基板上に塗布して印刷用版材を形成する。版材のポリイミド前駆体層を加熱してポリイミド化する工程と、該ポリイミド化した版材表面に画像情報に応じてエネルギーを付与する工程とを有する刷版の作製方法によって表面の濡れ性を画像情報に応じて選択的に制御した刷版を作製する。 (もっと読む)


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