【課題】光走査装置における温度勾配を効果的に低減することのできる光走査装置及び画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光を反射させる複数の反射面２２Ａを有するポリゴンミラー２２と、前記ポリゴンミラー２２を回転駆動させるポリゴンモーター２３とを備えてなる光走査装置において、前記ポリゴンミラー２２及び前記ポリゴンモーター２３のいずれか一方又は両方の外周面の一部又は全体に熱放射率の高い熱放射性部材の被膜２３６（図示する太線部）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、フィルタを用いない、冷却効率が高い反射型光学素子冷却装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、反射型映像素子であるＤＭＤ６を冷却する反射型光学素子冷却装置であって、ＤＭＤ６は、その受光面１０２において、ミラーを配置するミラー配置部１８を有し、ミラー配置部１８を除いた受光面１０２の少なくとも一部に接触して配置された、前面冷却部材１７と、ＤＭＤ６の受光面１０２とは反対側の背面に配置された、背面冷却部材１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で、消費電力が少なく、ミラーの角度を高精度に調整でき、装置構成の小型化が可能なミラーホルダーを提供することを課題とする。
【解決手段】実施形態に係るミラーホルダーは、ミラーを固設した可動部材と、この可動部材を移動可能に取り付けた固定部材と、この固定部材と可動部材との間にそれぞれ取り付けられた複数の駆動部材と、を有する。複数の駆動部材は、それぞれの取り付け位置で、熱膨張または熱収縮して、可動部材を固定部材に対して移動させ、ミラーの角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】光源装置において光を集光するために用いられるミラー装置において、温度調節機構からミラー基板に力が加わっても、ミラーの歪みを発生しにくくする。
【解決手段】ミラー装置は、一方の面に反射層が形成され、内部に温度調節媒体のための少なくとも１つの流路が形成されたミラー基板と、ミラー基板を複数の位置においてそれぞれ支持する複数の支持部と、ミラー基板が複数の支持部によって支持される複数の位置の内の少なくとも１つの位置の近傍において少なくとも１つの流路に接続された少なくとも１つの供給配管及び少なくとも１つの排出配管とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィ用ストレス分断装置、および、冷却斜入射集光器（ＧＩＣ）ミラーステムにおいてストレス分断装置を使用する方法が開示される。
【解決手段】冷却ＧＩＣシェルを設けることと、流入側一次冷却液マニホールド及び流出側一次冷却液マニホールドを設けることと、複数のストレス分断装置２７０それぞれを介して冷却ＧＩＣシェルを流入側一次冷却液マニホールド及び流出側一次冷却液マニホールドに流体接続することとを備える。ストレス分断装置２７０は、一例において、気体が充填された密閉空間を形成する内側及び外側蛇腹２７１Ａ、２７１Ｂを備えている。密閉空間内の伸張制限部材２９０は、内側蛇腹２７１Ａを流れる冷却液の圧力による内側蛇腹２７１Ａの伸張を制限する。ストレス分断装置２７０は、ＧＩＣミラーシステムの一部から複数のＧＩＣシェルへストレスが伝達するのを低減または防止する。 （もっと読む）

【課題】反射型光学素子の傾き調整を行っても、投影映像と反射面の位置関係のズレが少ない保持構造を備えた画像投影装置を実現する。
【解決手段】反射型光学素子６を角度調節可能に保持固定する保持構造を有し、反射型光学素子は、外周部に投影映像画面の中心光軸に直交し投影映像画面の一辺に平行な第１の方向に軸芯を持つガイド軸１１，１２を有し、ガイド軸を第１保持部材２０に設けた溝部２１，２２に回転可能に保持され、第１保持部材２０は、外周部に第１の方向と直交する方向の第２の方向に設けられ投影映像画面の中心光軸に直交する軸芯を持つガイド軸２４，２５を有し、ガイド軸を第２保持部材３０に設けた溝部３１，３２に回転可能に保持される構造であり、反射型光学素子のガイド軸と第１保持部材のガイド軸の軸芯は、反射型光学素子の反射面と投影映像画面の中心光軸とが交わる点に接するように構成した。 （もっと読む）

【課題】光線束を案内するためのミラーにおいて、ミラーの熱放散装置の熱放散能力を改善する。
【解決手段】光線束を案内するためのミラー（８；４４）は、ベース（２１；４５）と、ベース（２１；４５）の反射面（１９）におけるミラー（８；４４）の反射性を増大させるコーティング（２２）と、コーティング（２２）に溜まった熱（２３）を放散させるための熱放散装置（２４）とを備える。熱放散装置（２４）は少なくとも１つのペルティエ素子（２５）を有し、コーティング（２２）は、ペルティエ素子（２５）に直接に塗布される。 （もっと読む）

【課題】光学部材を好適に冷却させることができる光学部材冷却装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】射出側フライアイミラー２２は、複数の射出側ミラーエレメントを備え、該各射出側ミラーエレメントにおいて反射面の反対側には、各射出側ミラーエレメントを支持する射出側支持面５３ａを有する射出側支持部材５３が設けられている。この射出側支持部材５３内には、射出側フライアイミラー２２において互いに異なる部位を冷却可能とする複数の冷却用流路５５〜５８が形成されている。そして、各冷却用流路５５〜５８のうち冷却水が供給される流路は、射出側フライアイミラー２２に入射する露光光の入射条件（例えば、露光光の形状、露光光の入射位置）に応じて選択される。 （もっと読む）

【課題】光学装置の２つの物体の間に所定の接触力または所定の接触面圧を生成するための方法において、２つの物体の間の高伝熱を単純な方法で確保する。
【解決手段】第１の物体(108)と第２の物体(109)と接続デバイスと(111)を有する光学装置のための接続装置において、第１の物体(108)は、接触領域(110)にて層状様式で第２の物体(109)と接触し、接続デバイス(111)は、第２の物体(109)に接続し、かつ少なくとも１つの接触ユニット(112)を介して第１の物体(108)に接続する。接触ユニット(112)は、複数の分離した接触素子(112.4)を備え、各接触素子(112.4)は、弾性変形したバネユニット(112.5)を介して第２の物体(109)に接続され、接触力への寄与を生成する。 （もっと読む）

温度制御装置（１９）を用いて、少なくとも１個の光学体（１７）を有する光学アセンブリ（１６）の温度を制御する。光学体（１７）の温度は、熱流に作用されうる少なくとも１つの光学面（１８）を用いて制御する。温度制御装置（１９）は、光学体 （１７）または光学体（１７）と熱的に連結した伝熱体から放出された熱流を受けるヒートシンク（２０）を有する。ヒートシンク（２０）は、光学面（１８）の周辺領域（２２）に隣接配置する。温度制御装置（１９）は、少なくとも１個の加熱体（２９）を備える加熱装置（２８）を有し、加熱体は、光学体（１７）に隣接配置する。加熱体（２９）は、物理的な熱橋部（３２）を介してヒートシンク（２０）に連結する。 （もっと読む）

この装置は、真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御するための役割を果たす。装置は、光学素子から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却器を備える。制御器は放射冷却部の温度を制御するための役割を果たす。さらに装置は光学素子を加熱するための加熱部を備える。加熱部は、加熱部の温度を制御するために制御器に接続されている。得られる温度制御装置は、特にＥＵＶマイクロリソグラフィ装置の光学素子に用いることができ、光学系の安定した性能をもたらす。
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【課題】 反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニット。
【解決手段】 光源ユニットは、標的材料をプラズマ化し、該プラズマからＥＵＶ光を放出する光源本体と、貫通孔を有する第１反射鏡（１２ａ）と、光源本体と第１反射鏡との間の光路中に配置された第２反射鏡（１２ｂ）と、光源本体から放出されるデブリを第１反射鏡と第２反射鏡との間の光路中において除去するためのデブリ除去機構（２５，２６）とを備えている。光源ユニットは、ＥＵＶ光を、第１反射鏡の反射面、第２反射鏡の反射面、および第１反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置に集光する。 （もっと読む）

本発明は、光学補正装置（２０８，６００）において、光学補正装置（２０８，６００）の温度分布に影響を及ぼすために熱アクチュエータ（２０５）を有する光学補正装置に関する。光学補正装置（２０８，６００）は、熱搬送能力に関して異なった少なくとも２つの部分素子（２０１，２０２，６０４）からなる。さらに、本発明は、光学素子（２０８）の温度分布に影響を及ぼすための方法に関する。
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【課題】低い特定の熱伝導性の材料で製造られた熱負荷を受ける本体に対する温度補償装置において、熱負荷を受ける本体内の熱分布が、熱変形のリスクがなく、且つ、低熱膨張係数の効果を劣化させない装置を提供する。
【解決手段】一つ以上の熱分配体を有する熱分配デバイスが、熱負荷を受ける本体１と熱分配体１１との間にギャップ１８が存在するように熱負荷を受ける本体の表面に接合しており、ギャップは機械的な分離に関連して、熱負荷を受ける本体と熱分配との熱的結合のために流体１７で充填される。 （もっと読む）

本発明は、受け入れられる許容範囲内で、ミラーが変形しているかまたは変形状態にあるときでさえ、所望の位置にミラーを保持するための変形可能なミラーホルダに関する改良に関する。より詳細には、バイモルフミラー用のホルダに関するが、これに限定されない。変形可能なミラー（３０）を受け取るための受取部分を備えた本体を備える、変形可能なミラーホルダ（３１）が提供され、受取部分は受動的な可撓性のある支持構造物（４１）によって画定され、使用の際に、支持構造物が支持表面をミラーへ提供するようにする。本発明は、上述のように、変形可能なミラーおよび変形可能なミラーホルダへも延びる。 （もっと読む）