【課題】試料像を撮像した画像信号を用いて焦点検出を行うと共に一層高精度な焦点位置検出を行うことができる焦点検出機構を実現する。
【解決手段】試料に向けて放出する照明光源１と、試料の画像信号を出力する第１の光検出手段２３を含む撮像光学系と、試料と対物レンズの焦点との間の距離を変化させる相対距離変化手段９と、照明光源の駆動する制御手段３２と、前記対物レンズ又は試料ステージの光軸方向の位置を検出する位置検出手段１１と、照明光の光量をモニタする第２の光検出手段４と、合焦点位置情報を出力する信号処理装置４０とを具え、信号処理装置４０は、試料画像のコントラストを算出する手段４４と、算出されたコントラストをモニタ信号を用いて正規化する手段４５と、正規化されたコントラストと前記位置信号との一連の関係に基づいて、コントラストが最大となる対物レンズ又は試料ステージの位置を検出する手段４６とを具える。 （もっと読む）

【課題】 本体部に対して進退可能とされた可動部と、被測定物と、の間の距離を測定できる測距装置を提供する。
【解決手段】 測距部８０は、照射部７０の光学系７２から基板Ｗまでの距離を測定し、主として、光源８１と、受光部８５と、光路分割部８７と、を有している。光源８１は、筐体８０ａ内に固定されており、基板Ｗに向けて指向性が強く、スポット径が絞られた光を出射する。光路分割部８７は、取付部７５を介して光学系７２の鏡筒７２ｂに固定されている。光路分割部８７は、光源８１から基板Ｗ側に出射された光の光路ＬＰ１１を、光路ＬＰ２１〜ＬＰ２３に分割する。受光部８５は、筐体８０ａ内に固定されており、光路分割部８７で分割された各光路ＬＰ２１〜ＬＰ２３の光を受光する。 （もっと読む）

【課題】鮮鋭度が極大値となる対象が複数あっても、測定対象の合焦点位置を他と誤認せずに得る合焦点方式、基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法を提供する。
【解決手段】鮮鋭度の各極大値と、予め得らた測定対象の極大値とを対比し、得らた測定対象の極大値と合致した各極大値中の極大値の位置を合焦点位置とする。閾値を超えた鮮鋭度の検出数が予測数に満たない場合、閾値を任意のステップで下げ、或いは、最小閾値まで閾値を下げる。対象が基板エッジ２と面取りコーナー１であり、高い極大値Ｎｏ２の位置を基板エッジの合焦点位置とする。上記合焦点方式を用いた基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法。 （もっと読む）

【課題】ＴＩＳの平均値以外の重ね合わせ測定精度に関わる指標も考慮し、総合的に最適な焦点位置を決定できる重ね合わせずれ量算出方法を提供する。
【解決手段】重ね合わせずれ量の相関係数、基板面内のTISの３σ、繰り返し測定再現性を考慮し、（焦点位置決定値）＝−（相関係数）＋（基板面内TISバラツキ）＋（繰り返し測定再現性）と、上記焦点位置決定値を定義する。この焦点位置決定値を測定マークに対する光学顕微鏡の最適な焦点位置決定指標として用いる。この焦点位置決定値が最小となる焦点位置を最適な焦点位置と決定し、その最適焦点位置における基板面内のTISの平均値を個々の重ね合わせずれ量に対して補正を行う。 （もっと読む）

【課題】被検面の下地の状態にかかわらず、該被検面の位置を正確に検出できるようにする。
【解決手段】被検面Ｗ上の第１照射領域に第１検出光ＤＬ１を斜め方向から照射する第１送光光学系１１ａと、被検面Ｗ上の前記第１照射領域を含み前記第１照射領域よりも大きい第２照射領域に第２検出光ＤＬ２を斜め方向から照射する第２送光光学系１１ｂと、被検面Ｗで反射された第１検出光ＤＬ１及び第２検出光ＤＬ２を検出する検出手段２８を有する受光光学系１２と、第１送光光学系１１ａによる第１検出光ＤＬ１の照射及び第２送光光学系１１ｂによる第２検出光ＤＬ２の照射を選択的に切り換えるとともに、検出手段２８による第１検出光ＤＬ１に基づく検出値を検出手段２８による第２検出光ＤＬ２に基づく検出値により補正して、当該補正された検出値に基づいて、被検面Ｗの面位置を検出する制御手段２９とを備える面位置検出装置である。 （もっと読む）

【目的】反射率分布の影響による誤差や回折光の影響による誤差を低減させることを目的とする。
【構成】本発明の一態様の高さ検出装置１００は、照明光１０４を通過させる長方形の第１の開口部が形成された照明スリット２１０と、照明スリット２１０を通過した照明光を対象物１０１面に照明し、対象物１０１面からの反射光を結像する光学系２００〜２２２と、結像点の前後に設置され、長方形の短手方向が照明スリット像の短手方向より短く、長手方向が前記照明スリット像の長手方向より長くなるように第２の開口部が形成された検出スリット２３０，２４０と、検出スリット２３０，２４０を通過した反射光の光量をそれぞれ検出する光量センサ２５２，２５４と、光量センサ２５２，２５４の出力に基づいて対象物１０１面の高さを演算する演算回路２６０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】震動による焦点のずれが発生する状況下においても、ピント調整にかかる時間と手間を軽減しつつ、焦点の合った画像を表示させる。
【解決手段】光学系１０３にて観察された入力画像は画像メモリ１０７に順次格納され、画像メモリ１０７に格納された入力画像は合焦度計算部１１１にて合焦度が計算された後、その合焦度が合焦度記憶部１１２に記憶され、合焦判定処理部１１３は、合焦度記憶部１１２に記憶された過去の入力画像の合焦度と、合焦度計算部１１１にて算出された現在の入力画像の合焦度とを比較し、その比較結果に基づいて入力画像の合焦判定を行うことで、震動による焦点のずれが入力画像に発生しているかどうかを判断し、震動による焦点のずれが入力画像に発生していない場合には、その入力画像を観察画像として表示画像処理部１０８に出力する。 （もっと読む）

【課題】 ＤＭＤのようにパターンを可変的に表示するパターン表示素子を用いる構成において、被検面の面位置を高精度に且つ安定的に検出することのできる位置検出装置。
【解決手段】 本発明の位置検出装置では、被検面（Ｗａ）上に斜め方向から光束を投射する投射系（１〜８）と、被検面で反射された光束を受光する受光系（９〜１５）とを備え、この受光系の出力に基づいて被検面の位置を検出する。投射系は、パターンを可変的に表示するパターン表示素子（４）と、このパターン表示素子のパターンの像を被検面上に形成するための結像光学系（６，８）と、パターン表示素子への入射光の入射角度を被検面への入射光の入射角度よりも実質的に小さく変更するための入射角変更素子（７）とを有する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の焦点ずれを高精度に検出することにより高精度な露光を行うことができる走査型露光装置を提供する。
【解決手段】第１照明領域Ｉ１、Ｉ３、Ｉ５の第１パターンの像を形成する第１投影光学系ＰＬ１、ＰＬ３、ＰＬ５と、第２照明領域Ｉ２、Ｉ４の第２パターンの像を形成する第２投影光学系とを備える走査型露光装置において、重複露光領域の形成に寄与する前記第１投影光学系の像視野内の重複領域に対応する前記第１照明領域内の部分領域またはその近傍の第１検出位置における前記第１パターンに対する前記第１投影光学系の焦点ずれ、および前記重複露光領域を形成に寄与する前記第２投影光学系の像視野内の重複領域に対応する前記第２照明領域内の部分領域またはその近傍の第２検出位置における前記第２パターンに対する前記第２投影光学系の焦点ずれ検出する検出装置を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学系ないし光学装置の焦点制御を一層正確に行うことができるフォーカス制御方法を提供する。
【解決手段】本発明では、焦点制御用の基準パターン（５）を用いて、システム全体の基準系を設定する。試料を検査し又は試料の物理量を測定する光学装置の焦点及びオートフォーカス機構の焦点を基準系に整合させる。そして、オートフォーカス機構の変位対象物を試料表面（４）に設定し、試料表面の基準点からの変位量を測定し、変位した点をオートフォーカス機構の制御の動作点として光学装置の対物レンズ（６）の焦点を制御する。基準系を設定する際、基準パターンについてベッケ効果を利用して合焦判定を行う。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤヘッドの焦点位置のバラツキにより生じる画像装置の濃度ムラを小さくすることができる露光装置の焦点位置調整方法を得る。
【解決手段】各ＬＥＤアレイの焦点位置を求めたＭＴＦデータＳから回帰直線Ｐを求め、この回帰直線Ｐの傾きおよび切片が「０」となるように、ＭＴＦデータＳ_１および回帰直線Ｐの補正を行う（補正後；ＭＴＦデータＳ_２及び回帰直線Ｑ）。そして、補正した後のＭＴＦデータＳ_２の中央値（Ｍ）を算出して、回帰直線Ｑとの距離ＯＳ分を算出し、ＬＥＤヘッドの基板支持部の下面から調整ピンの先端までの距離Ｈ_１，Ｈ_２を算出して、調整ピンの先端の位置を調整する。これにより、画像形成装置において大きな濃度ムラが生じないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】加工対象のうねり量を取得し、そのうねり量に基づいて光学系に設けられた焦点調整機構を制御して加工対象上に焦点を合わせる焦点調整方法において、よりスムーズに焦点調整機構を動作させる。
【解決手段】加工対象１５０上に焦点を合わせる焦点調整機構を有する複数の光学系１６２および加工対象１５０との距離を測定する距離測定手段１８４と加工対象１５０とを相対的に移動させ、その移動により距離測定手段１８４によって上記移動方向に沿って測定された測定データに基づいて、各光学系１６２の位置における加工対象１５０のうねり量を取得し、その取得したうねり量を上記移動方向について補間することによって各光学系１６２の焦点調整機構の制御データを生成し、その生成した制御データに基づいて焦点調整機構を制御する。 （もっと読む）

【目的】高精度の計測を行うことができるフォーカス合わせ装置及び方法並びにかかるフォーカス合わせを備えた検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のフォーカス合わせ装置は、フォトマスク１０１の光学像を受光して光電変換する検査用センサー１０５とフォーカス用センサー１０６と、上述した光学像を検査用センサー１０５上に結像させる拡大光学系１０４と、拡大光学系１０４から光学像を分岐して、フォーカス用センサー１０６上に結像させるハーフミラー１６０と、各センサーが出力した画像信号を入力し、両画像信号の高域成分を用いて、光学像のフォーカス位置を検出するフォーカス検出回路１４４と、検出されたフォーカス位置に基づいて、拡大光学系１０４のフォーカスを制御するフォーカス制御回路１４６と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、光量低下を抑制しながら高精度な検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の結像特性を所望の状態に維持するために、投影光学系の光学部材の位置等を制御した際に、その光学部材の横シフトの影響を抑制する。
【解決手段】照明光でパターンを照明し、その照明光でそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、投影光学系ＰＬのレンズエレメント１３₁〜１３₆の光軸ＡＸ方向の位置及び光軸ＡＸに垂直な面内の２軸の回りの傾斜角を制御する工程と、レンズエレメント１３₁〜１３₆の光軸ＡＸに垂直な面内での横シフト量を計測する工程と、その計測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの相対位置関係を補正する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 レンズやレンズ群を光軸方向に動かすことなく光学的距離を短時間且つ容易に微調整することが可能な光学素子及びピント調節機構を提供する。
【解決手段】 中心軸を挟んで左右対称に傾斜する一対の傾斜面２ａ，２ｂを有する第１の光学部材２と、第１の光学部材に対して中心軸を挟んで左右対称に配置される第２の光学部材３及び第３の光学部材４とを備える。第２及び第３の光学部材３，４は、それぞれ光軸と略直交する垂直面３ａ，４ａと、第１の光学部材２の傾斜面２ａ，２ｂと略平行な傾斜面３ｂ，４ｂとを有し、第１の光学部材２の傾斜面２ａ，２ｂとこれら傾斜面３ｂ，４ｂが略平行に対向するように配置される。第１の光学部材２は中心軸方向に可動とされており、第１の光学部材２を中心軸方向に移動させることにより、光軸方向の光路長を変化させることなく光学的距離が調整される。 （もっと読む）

【課題】 プリズム部材の内面反射面で全反射された光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれが被検面の面位置の検出に及ぼす影響を抑えて、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】 投射系および受光系のうちの少なくとも一方は、入射光束を全反射するための内面反射面（７ｂ，７ｃ；８ｂ，８ｃ）を有する全反射プリズム部材（７；８）を備えている。全反射プリズム部材の内面反射面で全反射された光束の偏光成分による相対的な位置ずれが被検面（Ｗａ）の面位置の検出に及ぼす影響を抑えるために、全反射プリズム部材を形成する光学材料の屈折率と全反射プリズム部材の内面反射面に対する入射光束の入射角とが所定の関係を満たすように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 被検物の表面に形成されている薄膜の種類や膜厚に拘わらず、良好な焦点検出を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 予め定めた複数の異なる波長域のうち少なくとも１つの波長域を選択し、該波長域の光を焦点検出用の照明光として被検物３０に照射する照明手段(１５〜２２,１２)と、照明光が照射されたときに被検物からの反射光を受光し、該被検物の焦点位置を検出する検出手段(１２,２１,２０,２３,２５)と、照明手段による波長域の選択を制御し、複数の異なる波長域のうち反射光の強度が所定値以上となる波長域を、焦点検出用の照明光の波長域として選択させる制御手段２５とを備える。 （もっと読む）

ワークピースの目標面の上に液体を有し、且つ、液体を通してこの目標面上に像パターンを投影させる液浸リソグラフィ装置用のオートフォーカスユニットが提供される。オートフォーカスユニットは、目標面に対向し且つその上方に置かれる投影レンズのような光学素子を有する。オートフォーカス光源は、所定の角度で斜めに光線を投射するように配置されており、この光線は流体を通過し、光学素子の下方の特定の反射地点でワークピースの目標面により反射される。受光機は反射光を受光し解析する。補正レンズは光線の伝播を補正するために、光線の光路に設置されうる。
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【課題】 スキャン中最適像面位置で高品位に露光する露光方法を提供する。
【解決手段】 投影光学系の最終レンズと被露光体との間に液体を浸漬させてマスクに形成されたパターンを介した像を前記被露光体に照明する露光方法であって、前記液体の温度情報または収差情報を取得する取得ステップと、前記温度情報に基づいて前記像の焦点位置を補正するための補正量を算出する算出ステップと、前記補正量に基づいて１ショットごとにスキャン位置と同期して前記像の焦点位置を補正する補正ステップとを有することを特徴とする露光方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】うねりや厚みの変動が大きい感光材料を用いた場合でもフォーカスレンジオーバーによるエラー発生を防止し、生産性を確保することができる露光方法および露光装置を提供する。
【解決手段】各露光ヘッド１６６の焦点調節範囲の中心位置をそれぞれＰ1〜Ｐ4としたとき、Ｐ1〜Ｐ4の平均となる焦点位置をＤ0とする。ステージ１５２上の感光材料１５０表面、すなわち被露光面５６の変動範囲Ｄ５６の中心位置、すなわち被露光面５６の基準面である図中Ｄ５６０を前記Ｄ0に一致させるようにステージ１５２をＺ方向すなわち光軸方向に移動させる。 （もっと読む）