【課題】非常に微小な領域の観測と同時に、非常に短い時間領域（例えば、フェムト秒〜数十ピコ秒）で起こる物性現象を捉えることが可能な装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡７０と、時間分解分光ユニット８０を有し、更に、時間分解分光ユニット８０からの光を顕微鏡７０の内部に導く第１導光手段９１と、顕微鏡７０からの光を時間分解分光ユニット８０の内部に導く第２導光手段９２を有する。顕微鏡７０は照明光学系と観察光学系を有する。時間分解分光ユニット８０が、超短光パルス光源５と、超短光パルスを参照光と参照光以外の光とに分岐する分岐手段６と、前記参照光以外の光からポンプ光とプローブ光を生成する光学系と、第２導光手段９２によって導かれた光と前記参照光によって形成された干渉縞を撮像する撮像素子４を備え、第２導光手段９１と撮像素子４の間に２次元光波変換光学系１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 生体試料への光ダメージを低減するとともに、正確で高速、かつ長時間の観察が可能な生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 生体試料を格納および培養する培養容器と、培養容器を保持する保持手段と、生体試料に対して対向配置された対物レンズと、保持手段と対物レンズとを相対的に移動させる焦準駆動部と、対物レンズの合焦を検出するオートフォーカス部と、保持手段と対物レンズとの相対的な移動値を蓄積するとともに、焦準駆動部の制御を行う焦準駆動制御部と、生体試料の複数の被観察領域を観察して情報を取得する観察手段と、を有し、焦準駆動制御部が生体試料の観察（ＳＴＥＰ３１）時間帯とは異なる時間帯に、観察の回数より少ない回数だけオートフォーカス部により少なくとも１以上の被観察領域に対して合焦検出（ＳＴＥＰ２５）を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

約２６６〜１０００ｎｍの波長域や１５７ｎｍから赤外に至る波長域といった各種の波長域に属する光エネルギ用の対物系を用いる検査システム及び方法を提供する。この対物系は、光を受け取る１個又は複数個の合焦レンズ素子（３０４)を含む合焦レンズ素子集合体（３１１)と、合焦レンズ素子集合体（３１１)により合焦された光エネルギを受け取り中間的な光エネルギを出射するよう方向設定された視野レンズ素子（３０５)と、視野レンズ素子（３０５)から中間的な光エネルギを受け取り制御された光エネルギを発生させるよう位置設定されたマンジャンミラー装置（３１２)とを備える。各合焦レンズ素子は約１００ｍｍ未満と小径であり、その最大補正視野サイズは約０．１５ｍｍである。制御された光エネルギは、検査する標本（３１０)に与える前に、油、水、シリコーンゲル等の浸漬媒に通してもよい。

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