【課題】絞りの精度が向上した絞り装置及びそれを備えた光学機器を提供することを課題とする。
【解決手段】絞り装置は、開口を有した基板と、所定の回転角度毎に停止可能なステップモータと、第１及び第２ピンを有し、前記ステップモータにより所定の範囲を回転する出力部材と、前記第１及び第２ピンにそれぞれ係合して前記出力部材により駆動され、互いに相反する方向に直進移動して前記開口と重なり前記開口の開口面積を調節する第１及び第２羽根と、を備え、前記出力部材の回転中心を通過して前記羽根の移動方向に延びた仮想線分をＸ軸とした場合、前記開口面積が最小となる時の前記回転中心と前記第１ピンとを結ぶ方向線分と、前記Ｘ軸と、の間の角度は、−２０°〜＋３０°である。 （もっと読む）

【課題】半導体リソグラフィ光学システムにおいて、狭い設置領域で使用可能であると共に、レンズを汚す粒子を生成しないシステム絞りを備えた光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置（ＰＬ）は少なくとも１つのシステム絞り（１）を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。 （もっと読む）