【課題】貼合せ基板の製造不良を低減することのできるプレス装置を提供する。
【解決手段】チャンバ７１内が大気圧下では基板Ｗ１，Ｗ２を上平板７２ａ及び下平板７２ｂにて真空吸着にてそれぞれ吸着保持し、チャンバ７１内が減圧下では各平板７２ａ，７２ｂに電圧を印加して静電吸着にてそれぞれを吸着保持する。そして、大気圧下から減圧下への切替時に基板Ｗ１，Ｗ２を吸着保持するための背圧をチャンバ７１内の圧力と等圧にする。これにより、基板Ｗ１，Ｗ２の落下，移動を防ぎ、基板Ｗ１，Ｗ２の貼合せ不良を低減する。 （もっと読む）

【課題】 低熱膨張性・平坦性・絶縁性・薄型・軽量・フレキシブル性・耐衝撃性・配線加工性を兼ね備えたディスプレイ用基板を提供する。
【解決手段】 金属薄板上に樹脂層及び配線密着層を有するディスプレイ用基板である。好ましくは、前記配線密着層の表面粗さは、Ｒｙ：１．０μｍ以下、Ｒａ：０．１μｍ以下であるディスプレイ用基板であり、更に好ましくは、配線密着層は二酸化珪素または窒化珪素からなるディスプレイ用基板であり、更に好ましくは、前記樹脂層は、ガラス転移温度が１５０℃以上、熱膨張係数が６０×１０^−６／℃以下、厚みが２〜５００μｍであるディスプレイ用基板である。
好ましくは、本発明で用いる好ましい金属薄板は鉄−ニッケル系合金であり、２０〜３００℃迄の熱膨張係数が１１×１０^−６／℃以下、厚みは２０〜５００μｍであるディスプレイ用基板である。 （もっと読む）