【課題】気流制御を通して基板を均一に加熱することが可能な加熱処理装置およびこれを備える塗布現像装置を提供する。
【解決手段】基板を収容可能で、前記基板Ｓが通過する第１の搬入口６２Ｉおよび第１の搬出口６２Ｏを有する筐体と、前記第１の搬入口６２Ｉから前記第１の搬出口６２Ｏへ向かう方向に前記基板Ｓを搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構により前記筐体内を搬送される前記基板Ｓを加熱するヒータ７２と、前記筐体に設けられる排気口であって前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏから前記排気口に至る気流を形成可能な当該排気口と、前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏの一方または双方に臨んで設けられ、吸気により前記気流を調整する当該吸気口とを備える加熱処理装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】非アルカリ現像において、充分な現像性、不感脂化性を維持しつつ、良好に現像除去成分版面再付着を抑制し得る平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、画像記録層を有する平版印刷版原版を露光、現像して平版印刷版を作製する製版方法において、該現像工程が、順に、i）ガム液による画像記録層未露光部の除去工程、ii）水洗工程、iii）ガム液による非画像部の不感脂化工程、を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱処理装置等の処理装置の増設を容易にし、装置自体に係る処理のスループットを向上させると共に各熱処理装置の用力の管理を容易化し、被処理基板の処理に係る歩留まりを向上することができる。
【解決手段】被処理基板を熱処理部に移動自在に構成され被処理基板に対して温調自在に構成された温調機構７０を各々備えた熱処理装置ＨＰを複数積層して構成された熱処理装置ブロックを複数具備した基板処理装置であって、前記熱処理装置ブロックＨＰＢ毎に供給される所定の温度に設定された冷却液を供給する冷却液供給機構８１と、この冷却液供給機構８１より供給される冷却液は分岐され１つの熱処理装置ブロック内の複数の熱処理部ＨＰの温調機構７０に各々冷却液を供給する供給機構９９と、温調機構側から熱処理部側に向かって気体の流れを形成する排気口を熱処理部の温調機構の対抗する側に少なくとも１つ具備し構成された排気機構と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 基板上の温度分布を均一にすることができ、昇華物の発生をも低減させることが可能な加熱処理装置を提供する。
【解決手段】 筐体１と、筐体１内に昇降可能に配置された載置台２と、載置台２に設けら、この載置台２に載置される基板Ｗを加熱する第１の加熱手段３とを少なくとも有する加熱処理装置において、筐体１の一方の側には第２の加熱手段９を設け、筐体１の他方の側には排気機構１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームを用いた既存の露光装置により、従来よりも更に細い溝を安定に形成するための細溝形成方法及びそれによって得られた細溝基板を提供する。
【解決手段】 露光溝間８に対応する転写溝間の幅と凝集体７に対応する転写溝間の幅とをほぼ等しくし、更に、各凝集体７に対応する転写溝間のエッジ部とそのエッジ部に隣接する露光溝間８に対応する転写溝間のエッジ部との距離を露光溝４に対応する範囲内においてすべてほぼ等しくしている。これにより、実質露光溝４のトラックピッチ（Ｔｐ）に対して半分以下の狭いトラックピッチ（ｔｐ）の転写溝９が形成できることになり、さらに露光溝幅（Ｄ）の半分よりも狭い転写溝幅（ｄ）が得られる。 （もっと読む）

【課題】 化学増幅型の処理液が塗布形成され露光処理された被処理体に対する現像処理前の熱処理工程において、処理液の化学反応を制御することにより、所望の線幅の回路パターンを得ることのできる熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 表面に化学増幅型の処理液Ｒが塗布され露光処理された被処理体Ｗに対し、現像処理前の熱処理を行う熱処理装置２０において、前記被処理体Ｗを所定温度に加熱する加熱手段２３と、処理液Ｒが塗布された被処理体Ｗの表面に対し、略直交する方向に磁場を発生させ、かつ、磁場の方向を反転させる磁場発生手段５０と、少なくとも前記加熱手段２３による加熱処理の間、前記磁場発生手段５０を作動させる制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【要約書】改良された熱現像装置を使用して、未硬化感光性樹脂をフレキソ印刷要素の画像形成表面から除去する。本装置は、概して、フレキソ印刷要素の画像形成表面と接触可能な１つ以上の加熱ロールと、該１つ以上の加熱ロールとフレキソ印刷要素の画像形成表面との接触を維持する手段とを含む。１つ以上の加熱ロールが加熱されてフレキソ印刷要素の画像形成表面の少なくとも一部の上を移動し、並びにフレキソ印刷要素の画像形成表面上の未架橋ポリマーは、１つ以上の加熱ロールにより溶融・除去される。 （もっと読む）