【課題】各々の径が数１０ｎｍオーダーの微細な貫通孔を構成要素とする微細なパターンを形成する目的で用いられる微細パターン形成用部材の提供。
【解決手段】マイクロポア貫通孔を複数有するアルミニウム陽極酸化皮膜のマイクロポア貫通孔の内部に有機溶媒で現像可能な樹脂組成物が充填された微細パターン形成用部材。前記部材に所望のパターンとなるように露光を行い、その後、有機溶剤を用いた現像処理を行うことにより、前記部材に微細パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化処理に用いる薬液により、半導体基板と保護膜との剥離を抑制する多孔質構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】拡散層１２が形成された半導体基板１０に酸化膜１４を形成する工程と、酸化膜１４の所定の位置に複数の接続孔を設け、該接続孔に配線２２を形成した後、配線２２で挟まれた領域に拡散層１２の表面が露出するような開口部２４を設ける工程と、開口部２４の外周縁部に溝２６を形成し、溝２６を埋め込むように半導体基板１０の拡散層１２が形成された面の全面に保護層２８を堆積する工程と、開口部２４の外周縁部に保護層２８が残存するように開口部２４の保護層２８を除去し、拡散層１２を露出する工程と、開口部２４に残存した保護層２８を保護膜３２として、露出した拡散層１２を陽極酸化処理する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プラズモン導波路の製造を、簡易な方法で、高効率且つ低コストで実現することを可能にする。
【解決手段】表面に所定のパターンで複数の微細孔１２が開口したプラズモン導波路１の誘電体基材１１に、局在プラズモンを誘起しうる大きさの複数の微細金属体２０が、隣接する微細金属体２０にプラズモン導波がおこる離間距離を有して充填されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な工程を要さず、安価に、局所気密封止された光集積回路を提供すること。
【解決手段】局所気密封止された光集積回路は、ヘリウムに対する透過係数が５×１０^−９（２５℃）以下のガスバリア性を有する薄膜が形成されたコア１２ａ及びクラッド１２ｂからなる光導波路１２と、第１の面において、コアを含む所定の領域を囲むように形成された凸部を有し、薄膜が形成されたキャップと、光導波路の第２の面において、コアと光学的に接続する位置に実装された光素子と光導波路の第２の面において、光素子に電気的に接続されるメタル配線とを備えている。キャップと光導波路との実装の際に、光導波路とキャップとが半田により接合することにより気密封止された空隙を形成し、気密封止された空隙に光素子が位置している。 （もっと読む）

【課題】動作の効率が良好なフォトニック結晶を提供する。
【解決手段】屈折率が異なる少なくとも２種の材料を含み、これらの材料が周期的構造を与えるフォトニック結晶。該フォトニック結晶の少なくとも一部に非線形光学材料を含む。 （もっと読む）

【課題】 可視域に対応するバンドギャップ中心波長を有するフォトニック結晶の形成に有用な周期構造体を提供する。
【解決手段】 第１の周期で配置された凹部を含む第１の領域と、該第１の周期より半周期だけ位相がシフトした第２の周期で配置された凹部を含む第２の領域とを少なくとも含む周期構造体。 （もっと読む）

【課題】複数の機能ブロックにクロック信号を光伝送する際のスキューを低減する。
【解決手段】シリコン基板１１１に絶縁物１１２を介しシリコン単結晶膜１１３が形成されたＳＯＩ基板１１４を用いる。シリコン単結晶膜１１３に機能ブロック１１５ａ〜１１５ｊが形成されている。シリコン基板１１１に光導波路１１６_-1〜１１６_-5が形成されている。この光導波路１１６_-1〜１１６_-5の一端にクロック信号に対応した光信号を供給する。光導波路１１６_-1〜１１６_-5は互いに屈折率を異にするコア材料を用いて構成されている。シリコン基板１１１に、夫々機能ブロック１１５ａ〜１１５ｊにクロック信号を供給するためのＰＤ１１８ａ〜１１８ｊが形成されている。ＰＤ１１８ａ〜１１８ｊのそれぞれは、光信号の入射位置からの導波距離が長くなるほど、屈折率の小さなコア材料で構成される光導波路で導波される光信号を受光するようにされている。 （もっと読む）

【課題】偏波依存性を小さくした石英系光導波路部品を提供する。
【解決手段】フィルム状石英系光導波路部品は、石英系材料で形成されたコアと、該コアを収容する石英系材料で形成されたクラッド層とを備え、前記クラッド層は、平板状である。また、石英系光導波路部品は、基板と、前記フィルム状石英系光導波路部品と、前記基板と前記フィルム状石英系光導波路部品の少なくとも一部とを接着する接着層とを備える。さらに、前記接着層は、前記石英系光導波路部品の前記コアと、該コアと対向する前記基板との間に中空部分を備えてもよい。 （もっと読む）