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Fターム[2H147FD19]の内容

光集積回路 (45,729) | その他の製法 (2,202) | 導波路の特性・膜質の評価・分析 (119)

Fターム[2H147FD19]に分類される特許

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【課題】 光導波路素子の下部クラッド層と導波路層間における剥離を抑え、切断の工程等でロットアウトしてしまう素子を減らすことができ、コストを削減することができる光導波路素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に、下部クラッド層を形成する工程と、該下部クラッド層上に導波路層を形成する工程と、前記導波路層に光の伝搬を行う導波路部を形成する工程と、前記導波路層の上部に上部クラッド層を形成する工程と、光の入出力端面と、該入出力端面と交わる2面とが切断面となるように素子状に切断する工程と、を有する光導波路素子の製造方法であって、前記導波路層を形成後、導波路部を形成するまでの間に、前記入出力端面と交わる予定切断面と前記導波路層とが交差する領域を含む導波路層の一部又は全部の領域を除去する工程を含むことを特徴とする光導波路素子の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 簡易な方法で4直角分の曲げ角度を実現することができ、光導波損失の測定精度を向上することができると共に、測定に必要な受発光装置の設置が容易になる、光導波路の曲がり状態での光導波損失測定方法を提供する。
【解決手段】 円柱状測定子5a,5b,5cを3個、中心軸が同一平面上において平行に配置されるように並設する。クラッド層1とコア層2とを備えて形成される光導波路3を有する可撓性の被測定物4を円柱状測定子5a,5b,5cの間に通して、中央の円柱状測定子5aの円周の1/2に、両側の円柱状測定子5b,5cの円周の1/4にそれぞれ接触させように、被測定物4を円柱状測定子5a,5b,5cの間に架け渡すと共に隣合う円柱状測定子5a,5b,5cで挟み込むことによって、被測定物4を3個の円柱状測定子5a,5b,5cにセットする。この状態で被測定物4の光導波路3に光を通過させて光の透過損失を測定する。 (もっと読む)


【課題】 光電複合基板上に光電変換素子を高精度に且つ簡便に実装することができる光電複合基板を製造する方法を提供する。
【解決手段】 基板表面に予め形成された実装ランドをソルダレジストで覆う工程、前記光偏向部上に基準点を設定する工程、前記光電変換素子が実装された際に光電変換素子の受発光部の中心が前記光偏向部に重なるように前記ソルダレジスト上に前記基準点からの前記光電変換素子実装用電極パッドの中心の座標を特定する工程、前記特定された座標を基準として前記ソルダレジストの一部を開口し、実装ランドを露出させて光電変換素子実装用電極パッドを形成する工程を備えることを特徴とする光電複合基板の製造方法による。 (もっと読む)


【課題】厚膜形成性,硬化性,耐熱性等に優れた重合体を作製可能とする新規なトリスオキセタンエーテル化合物およびその製法、ならびにそれを用いた光導波路を提供する。
【解決手段】新規なトリスオキセタンエーテル化合物である。フェノール類を、セシウム塩によりセシウムフェノラート化し、スルホン酸エステルと反応させて、上記トリスオキセタンエーテル化合物を製造する。さらに、基板1と、その基板1上に形成されたクラッド層2とを備え、上記クラッド層2中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア部3が形成されてなる光導波路であって、上記クラッド層2およびコア部3の少なくとも一方が、上記トリスオキセタンエーテル化合物を含有する樹脂組成物によって形成されている。 (もっと読む)


【課題】厚膜形成性、硬化性、等に優れた重合体を作製可能とする新規なアルキルベンゼン誘導体、ならびにそれを用いた光導波路の提供。
【解決手段】オキセタン環を有すビス(ヒドロキシフェニル)アルキルベンゼン誘導体。
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【課題】 再生時の記録情報の再現性を向上させることが可能な光メモリを提供する。
【解決手段】 光メモリ10は、光導波路17が複数個積層されて構成されている。この光導波路17は、樹脂製のコア層13と、このコア層13の上下に積層された樹脂製のクラッド層14とからなり、コア層13とクラッド層14との一方の界面には、情報再生用の凹凸部が形成されている。また、コア層13には、紫外線硬化樹脂であるコア材が用いられ、クラッド層14には、樹脂製硬化樹脂であるクラッド材が用いられている。また、コア層13の膜厚変動量が100nm以下にされており、記録情報再生時のBERを低くすることができ、記録情報の再現性が向上する。 (もっと読む)


【課題】 コアからの伝搬光の漏洩を低下してノイズを低減する。
【解決手段】 光デバイス10は、基板21と、基板21上に設けられたコア14と、コア14周囲に形成された第一のクラッド12および第二のクラッド16とを含む。光デバイス10はさらに、基板21上に設けられ、コア14から漏れ出た光を吸収する光吸収領域18を含む。光吸収領域18は、たとえばコア14を構成する材料と同じ材料により構成される。 (もっと読む)


【課題】 フレキシブル性能を確保しつつ、高精度で実装でき、且つ、端部の45°面等の加工が容易に行うことができることを課題とする。
【解決手段】 軟質クラッド部12の光の伝播方向側の端部には、軟質クラッド部12よりも高い曲げ弾性率を有する硬質の硬質クラッド部14が設けられている。これにより、高分子光導波路フィルム10を光送受信部70のサブマウント72に実装する際に、高分子光導波路フィルム10の端部をピックアップしたり、サブマウント72に向けて加圧しても、高分子光導波路フィルム10の端部が変形しない。したがって、高分子光導波路フィルム10の端部に形成されたアライメントマークがずれたり、端部のコア16間の位置関係がずれたりするのを防止できる。 (もっと読む)


【課題】高い透過率、耐熱性、絶縁性の特性を有する薄膜トランジスタ(TFT)基板用平坦化膜、半導体素子の層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材などの形成に用いられる、高感度で現像時間を短縮でき、パターン膜がアルカリ水溶液に容易に溶解する感光性シロキサン組成物を提供する。
【解決手段】(a)シロキサンポリマー、(b)キノンジアジド化合物、(c)特定の構造を有するフルオレン化合物および/または特定の構造を有するヒドロキシイミド化合物を含有することを特徴とする感光性シロキサン組成物。 (もっと読む)


【課題】多層光導波路を効率的かつ高収率に作製することができる平面型光導波路作製用接着性樹脂シートを提供する。
【解決手段】硬化することによって平面型光導波路のクラッド層もしくはコア層を構成することのできる接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなるシートか、クラッド層およびコア層を構成する互いに屈折率が異なる2層の接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなるシートを、平面型光導波路作製用樹脂シートとして、用いる。この平面型光導波路作成用樹脂シートを用いて、多層平面型光導波路および高記録密度を持つ光記録素子を効率的かつ高収率に作製する。 (もっと読む)


【課題】 コア層とクラッド層との界面の平坦性を高め、記録情報の再現性を向上させる。
【解決手段】 コア層13aの上に、紫外線硬化樹脂を塗布してクラッド層14を形成した後、情報用凹凸部16に対応した凹凸パターンを有する樹脂スタンパ23を表面に貼り合せた状態で紫外線照射を行い、クラッド層14を硬化させる。クラッド層14が硬化した後、樹脂スタンパ23を剥離すると、クラッド層14に情報用凹凸部16が転写される。次いで、クラッド層14の上に、紫外線硬化樹脂を塗布してコア層13を形成した後、樹脂フイルムなどの平滑な面を有する平滑基体22をコア層13の表面に貼り付け、この状態で紫外線照射を行い、コア層13を硬化させる。コア層13が硬化した後、平滑基体22を剥離すると、コア層13の表面が平坦化される。この後、上記方法によってコア層13の上にクラッド層14を形成する。 (もっと読む)


【課題】分子量制御性、耐溶剤性、耐熱性、耐湿性に優れ、更には、分子量の制御された安定した品質の低光伝送損失、低複屈折である光導波路材料を提供する。
【解決手段】式(1−0)で示されるシルセスキオキサン誘導体を用いて得られる重合体を用いて光導波路を作製する。


式(1−0)において、R0は独立して水素、炭素数1〜40のアルキル、任意の水素がハロゲンまたは炭素数1〜20のアルキルで置き換えられてもよいアリール、またはアリールにおける任意の水素がハロゲンまたは炭素数1〜20のアルキルで置き換えられてもよいアリールアルキルであり、Yは式(a)または式(b)で示される基である。
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光硬化性樹脂を用いた光造形法によりフォトニック結晶型ユニット(10a,10b,10c)を作成するとともに、その境界部分に仕切り(11)を設ける。また、各フォトニック結晶型ユニットの空隙部に、セラミックス粒子を分散させた第2の物質を含浸させて充填部2を構成する。このような、第1・第2の物質が3次元の周期性をもって分布する3次元周期構造体を、第1・第2の物質の誘電率比に違いをもたせて順に配置する。これにより、従来の3次元周期構造体では得られなかった広範囲なフォトニックバンドギャップを有する3次元周期構造体を得る。
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ガラス基板12と、該ガラス基板12上に固定された光ファイバアレイ18と、光ファイバアレイ18の上面からガラス基板12にかけて設けられたスリット20と、該スリット20内に挿入されたフィルタ部材22と、スリット20内において該スリット20とフィルタ部材22の隙間に充填された樹脂52とを有する光デバイス10Aにおいて、フィルタ部材22の光入射面36の上端36aが光ファイバ16の上面とほぼ一致した位置にあり、フィルタ部材22の光出射面38の上端38aが光ファイバ16の上面よりも下に位置している。
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【課題】偏波依存性を小さくした石英系光導波路部品を提供する。
【解決手段】フィルム状石英系光導波路部品は、石英系材料で形成されたコアと、該コアを収容する石英系材料で形成されたクラッド層とを備え、前記クラッド層は、平板状である。また、石英系光導波路部品は、基板と、前記フィルム状石英系光導波路部品と、前記基板と前記フィルム状石英系光導波路部品の少なくとも一部とを接着する接着層とを備える。さらに、前記接着層は、前記石英系光導波路部品の前記コアと、該コアと対向する前記基板との間に中空部分を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】本発明は電気配線板との熱膨張係数差が小さく、かつプロセス温度が近く、かつ光伝搬損失が小さく、かつ電気配線板との複合化に適した光配線用樹脂組成物と、光電気複合配線基板を提供する。
【解決手段】平均粒子径が1nm以上100nm以下である無機フィラーと樹脂を有し、無機フィラーの屈折率nfと樹脂の屈折率nrの比nf/nrが0.8以上1.2以下を満たす樹脂組成物であり、樹脂組成物の熱膨張係数が−1×10−5/℃以上4×10−5/℃以下、および−20℃から90℃における屈折率の真の温度依存性が−1×10−4/℃以上1×10−4/℃以下であり、波長0.6〜0.9μm、もしくは波長1.2〜1.6μmにおいて実質的に光吸収がない光配線用樹脂組成物。 (もっと読む)


光学回路及び素子の形成及び動作に、光の波長未満の直径を有するナノリボン及びナノワイヤが用いられる。そのようなナノ構造は、光集積用の基本ビルディングブロックを形成するサブ波長光導波路として機能する。これらの構造における、通常とは異なる長さ、柔軟性及び強度により、それらを表面上で操作することが可能となる。この操作には、ナノリボン/ナノワイヤ導波路及び他のナノリボン/ナノワイヤ素子を正確に位置設定し、両者を光学的に結合させることで、光ネットワーク及び光学素子を形成することが含まれる。それに加えて、そのような構造は、液中での導波路を提供することで、光学プローブ及びセンサのような他の応用でさらに用いられることを可能にする。
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本発明は予め定められた波長範囲内の光を案内する光導波路に関し、該光導波路は光を閉じ込めるためのコア領域及びクラッド領域を含み、該コア領域と一つ又は複数のクラッド領域との少なくとも一方は基質上に形成されているとともに化学量論的組成Siの材料を含む。本発明は更に光導波路を製造する方法に関し、該方法により得られた光導波路及びそのような導波路を含む光学装置に関する。本発明の目的は、水素結合に由来する吸収の低減による光学損失の低い光導波路を提供することにある。その問題は、XをB、Al、P、S、As、Sb及びそれらの組み合わせからなる元素より選択し、かつy/z比を1より大きくすることにより解決される。これは導波路内の低光吸収を、可能性としては広い波長範囲にて達成するという利点を有する。更に、比較的低温によるアニーリングは比較的低誘導のひずみを得るために使用され、それにより複屈折の低いものが得られる。光導波路は例えばPECVD法により製造され、当該方法は低損失導波路を更に処理するのには理想的である。本発明に従う導波路は900nm乃至1600nmにおいて0.05dB/cm未満の損失により特徴付けられる優れた伝搬性を示す。特に、Si:N−H振動の第二のオーバートーンによる吸収は、検出レベル以下の値に低減され得る。本発明は、例えば光通信システム、特に、構成要素を分けるため(例えば、スパッタ)、及び例えば、電気通信システム、ファイバ−−トゥ−ザ−ホーム等のような波長分割多重システム(WDM)用の構成要素のために使用され得る。
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本発明は、反射や散乱による伝送の損失がほとんどなく、耐熱性・耐湿性にも優れた、屈折率分布を任意に制御した積層フィルムを提供することを目的とする。すなわち本発明は、樹脂層が少なくとも5以上積層されてなる積層フィルムであって、各樹脂層の厚みが1nm〜100nmであり、かつ同一組成Aの樹脂層の厚みが、積層フィルムの表面側から反対面側に向かうにつれて、増加し又は減少する層構成を含む積層フィルムである。 (もっと読む)


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