【課題】ＡｌＧａＮ系の窒化物半導体を用い、均質な組成で十分な光閉じ込めができるクラッド層による光導波路が構成できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に形成された六方晶系の窒化ホウ素からなるクラッド層としての第１窒化ホウ素層１０２を備え、第１窒化ホウ素層１０２の上に接して形成されたＡｌ_xＧａ_1-xＮ（０．１≦ｘ≦１）からなる第１半導体層１０３を備え、第１半導体層１０３の上には、Ａｌ_xＧａ_1-xＮ（０≦ｘ≦１）からなるコア層１０４が形成されている。また、コア層１０４の上には、Ａｌ_xＧａ_1-xＮ（０．１≦ｘ≦１）からなる第２半導体層１０５が形成され、第２半導体層１０５の上には、六方晶系の窒化ホウ素からなるクラッド層としての第２窒化ホウ素層１０６が接して形成されている。 （もっと読む）

【課題】紫外光照射による特性の調整を高精度にできる光導波路回路の製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】紫外光を吸収して媒質の屈折率を変化させるドーパントを含有するコアと該コアの周囲に形成されたクラッドとを備える光導波路回路の該コアに紫外光を照射する紫外光照射工程と、前記ドーパントからの発光量を測定する発光量測定工程と、を含み、前記測定した発光量の積算値に基づいて前記光導波路回路の特性を調整する。 （もっと読む）

【課題】 屈曲耐久性、捻回耐久性に優れるクラッド層形成用樹脂組成物、それを用いて作製した光導波路及び光モジュールを提供する。
【解決手段】 （Ａ）エポキシ基含有アクリルゴム、（Ｂ）ウレタン（メタ）アクリレート、（Ｃ）分子中にウレタン結合を有しない（メタ）アクリレート及び（Ｄ）ラジカル重合開始剤を含む樹脂組成物で、該樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度が１０℃から５０℃の範囲内である、光導波路のクラッド層形成用樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】光学性能の高いミラーを備え、高品質の光通信が可能な光導波路、およびかかる光導波路の形成に用いられ、光学性能の高いミラーを容易に形成可能なミラー形成部を備える光導波路形成用部材を提供すること。
【解決手段】光導波路１０は、下側からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をこの順に積層してなるものであり、コア層１３には、コア部１４と、コア部１４を側方から挟む２つの側面クラッド部１５とが形成されている。また、コア部１４の途中には、クラッド層１１の一部、コア層１３の一部、およびクラッド層１２の一部の積層体からなるミラー形成部１４５が設けられている。ミラー形成部１４５のうち、コア層１３の部分はコア部１４を構成する材料のみで構成されている。また、ミラー形成部１４５内を加工してミラー１７が形成されており、ミラー１７のうち、コア層１３の露出面には、コア部１４を構成する材料のみが露出している。 （もっと読む）

【課題】屈曲耐久性、捻回耐久性、及びスライド耐久性に優れる光導波路を作製するための材料を提供すること、及び上記特性を有する光導波路を提供すること。
【解決手段】（Ａ）ベースポリマー、（Ｂ）単官能エポキシ（メタ）アクリレート、及び（Ｃ）光ラジカル重合開始剤を含有する光導波路のコア部形成用樹脂組成物、該コア部形成用樹脂組成物を用いたコア部形成用樹脂フィルム、コア部を該コア部形成用樹脂組成物、又は該コア部形成用樹脂フィルムを用いて形成した光導波路である。 （もっと読む）

【課題】ミラー面における反射の際に生じる光伝播の損失が十分に抑制された多段光導波路を提供する。
【解決手段】中間クラッド層１と、中間クラッド層１の一方の面上に形成された第１の光導波路と、中間クラッド層１の他方の面上に形成された第２の光導波路とを備える多段光導波路であって、第１の光導波路に入射した光Ｌの光路を前記第２の光導波路の方向に変換する第１のミラー面１１を画定する第１のミラー部２１と、第１のミラー面１１により光路を変換された光Ｌが第２の光導波路に入射するように、第１のミラー面１１により光路を変換された光Ｌの光路を変換する第２のミラー面１２を画定する第２のミラー部２２とが形成されており、且つ、第１のコア部２の光軸が第１のミラー面１１に対してなしている角度が２０〜５０°の範囲内であること、第２のコア部４の光軸が第２のミラー面１２に対してなしている角度が２０〜４０°の範囲内であることを満たす。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化処理に用いる薬液により、半導体基板と保護膜との剥離を抑制する多孔質構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】拡散層１２が形成された半導体基板１０に酸化膜１４を形成する工程と、酸化膜１４の所定の位置に複数の接続孔を設け、該接続孔に配線２２を形成した後、配線２２で挟まれた領域に拡散層１２の表面が露出するような開口部２４を設ける工程と、開口部２４の外周縁部に溝２６を形成し、溝２６を埋め込むように半導体基板１０の拡散層１２が形成された面の全面に保護層２８を堆積する工程と、開口部２４の外周縁部に保護層２８が残存するように開口部２４の保護層２８を除去し、拡散層１２を露出する工程と、開口部２４に残存した保護層２８を保護膜３２として、露出した拡散層１２を陽極酸化処理する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で対象物への光の投影パターンを変更することを目的とする。
【解決手段】ビーム変換器１は、光源１１から投射された光を受光する入射端面と受光した光を出射する出射端面とを有する複数の光導波路１３１〜１３３と、出射端面から出射された光をワークＷ上に投影する対物光学系１５と、複数の光導波路１３１〜１３３のうち少なくとも一の光導波路と光源１１との相対位置を変更することで、該少なくとも一の光導波路を光源１１からの光を受光可能な位置に配置する位置決め機構１４と、を備えている。位置決め機構１４により配置された少なくとも一の光導波路の出射端面における出射光の強度分布は、他の光導波路のうち少なくとも一つの光導波路の出射端面における出射光の強度分布と異なる。 （もっと読む）

【課題】光損失を大きくすることなしに、ヒケや気泡の発生を抑制し、はみ出した樹脂層をできるだけ薄くすることができる光導波路及び成形型を提供する。
【解決手段】この光導波路１は、クラッド基板２と、一方に入射側反射面３０、他方に出射側反射面３１を有してクラッド基板２の下面２ｂ上に硬化性樹脂から形成され、外部から入射した光信号を入射側反射面３０で反射して他方に伝搬させ、光信号を出射側反射面３１Ａ〜３１Ｄで反射して外部に出射する導波路コア３と、導波路コア３の光信号の伝搬に寄与しない非伝搬領域に接続され、導波路コア３の硬化性樹脂の未硬化時に流路として機能した流路樹脂部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】コアパターンに蛇行が見られず、かつ、耐熱性に優れ、熱履歴によって、光導波路のシリコン基板からの剥離やシリコン基板の割れなどが生じない光導波路複合基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）基板上に粘接着剤層を介して下部クラッド層形成用樹脂フィルムを積層してクラッド層を形成する工程、（Ｂ）その上にコア層形成用樹脂フィルムを積層してコア層を形成する工程、（Ｃ）露光・現像によりコアパターンを形成する工程、及び（Ｄ）コアパターン上に上部クラッド層形成用樹脂フィルムを積層して上部クラッド層を形成する工程を含む光導波路複合基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】透明性及び耐熱性に優れた光学材料用樹脂組成物、該光学材料用樹脂組成物を用いた光学材料用樹脂フィルム、並びにこれらを用いた透明性、信頼性、及び耐熱性に優れた光導波路を提供すること。
【解決手段】（Ａ）主鎖にマレイミド骨格を有する（メタ）アクリルポリマー、（Ｂ）重合性化合物、及び（Ｃ）重合開始剤を含有してなる光学材料用樹脂組成物、該光学材料用樹脂組成物を用いた光学材料用樹脂フィルム、並びにこれらを用いた光導波路である。 （もっと読む）

【課題】クラッド材料の無駄・不足を生じることがなく、上クラッド層および下クラッド層の膜厚を精密に製造でき、鋭角なエッジを有する凹溝を形成できるフレキシブル光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】凹溝４を形成する凸型パターン９が形成された下スタンパ基板１０の縁周囲に、成形する下クラッド層５の厚さと同じ高さの壁１１を形成した下クラッド層成形用スタンパ８を形成し、その下クラッド層成形用スタンパ８に下クラッド層用樹脂組成物１５を充填すると共に、その上面に基板１６を押し当てて平坦化した後、その下クラッド層用樹脂組成物１５を硬化させ、下クラッド層成形用スタンパ８から下クラッド層５を離型し、その凹溝４にコア用樹脂組成物１７を充填して硬化させる方法である。 （もっと読む）

【課題】光回路の複数箇所の光学特性（屈折率）を調整する。
【解決手段】本発明の一実施形態によれば、光回路において複数の箇所で導波路の屈折率を調整することができる。まず、第１の箇所で導波路に紫外線を照射し（ステップ３０２）、第１の温度で光回路を熱処理する（ステップ３０４）。次に、第２の箇所で導波路に紫外線を照射し（ステップ３０６）、第１の温度よりも低い第２の温度で光回路を熱処理する（ステップ３０８）。このように、光回路のそれぞれの箇所で紫外線の照射と熱処理を行い、熱処理の加熱温度を順次的に下げて行くことによって、先にトリミングした箇所の特性が後の熱処理によって影響を受けないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】光導波路を用いた光基板の製造において、光学素子と光導波路の光学的接続を高精度、かつ簡便に得ることができる量産に適した光基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】光透過性を有する基材と、光導波路とを有する光基板であって、光導波路が、その光導波路の両側面に突出した縁部を有し、前記基材上には該縁部を下部から支持するガイドが前記光導波路に対して平行に設けられていることを特徴とする光基板、さらには前記ガイドによって支持された光導波路の一方の端部が、光学素子の下面に接して接合されていることを特徴とする光基板とする。 （もっと読む）

【課題】光損失が低いポリマ導波路を有する光電複合基板を提供する。
【解決手段】コア１とクラッド２からなるポリマ導波路３を基板４に設けて形成される光電複合基板に関する。ポリマ導波路３のコア１は、コア１の一端から光を入射させると共にコア１の他端から光を出射させた際に、出射した光の強度分布が、コア１の中央部で強度が高く、クラッド２との界面の少なくとも一部で強度が低くなるように形成されている。コア１内を伝搬される光のうち、クラッド２との界面付近を通過する光の量が少なくなり、コア１の表面に荒れがあっても、コア１とクラッド２の界面で散乱してクラッド２へと逃げる光の量が少なくなって、光損失を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】光信号の損失、劣化を確実に低減できる光電気混載パッケージを提供すること。
【解決手段】光電気混載パッケージ２は、配線基板１０、はんだボール４９及び光素子２４を備える。はんだボール４９は、配線基板１０の裏面１３に位置するはんだボール接合部４８上に接合され、光導波路付き基板６１への搭載時に光導波路付き基板６１に接続される。光素子２４は、発光部２５を光導波路８１側に向けた状態で、配線基板１０の裏面１３に位置する光素子実装部５５上に実装される。はんだボール接合部４８の表面から光素子実装部５５の表面との段差Ａ１は、はんだボール４９の最大径Ａ２の半分以上の大きさである。 （もっと読む）

【課題】位置決め時には、優れた位置決め精度を得ることができ、軽薄化および製造コストの低減を図ることのできる、光導波路フィルム、光基板およびこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】アンダークラッド層２の上にコア層３を形成し、コア層３の表面に、接着機能を有し、コア層３の屈折率より低い屈折率を有するオーバークラッド層４を形成することにより、光導波路フィルム１を得る。光導波路フィルム１を支持基板に接触させながら、光導波路フィルム１を支持基板２に対して位置決めし、その後、オーバークラッド層４を加熱および加圧により硬化させて、光導波路フィルム１を支持基板に対して接着さて、光基板を得る。 （もっと読む）

【課題】犠牲層の平坦化が可能であり、また熱接合によるロッドの変形を低減することが可能となる３次元フォトニック結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】周期的な２次元パターン構造の積層体による３次元フォトニック結晶の製造方法であって、
基板上に、第１の材料からなる薄膜を形成する第１の工程と（図１（ａ））、
前記薄膜に周期的な２次元パターン構造を形成する第２の工程と（図１（ｂ））、
前記２次元パターン構造上に、第２の材料からなる薄膜を形成する第３の工程と（図１（ｃ））、
前記第２の材料からなる薄膜を平坦化する際に、下地の前記２次元パターン構造が露出する前に該平坦化を停止する第４の工程と（図１（ｄ））、
前記第１の工程から前記第４の工程を少なくとも２回以上繰り返し、前記２次元パターン構造による積層体を形成する第５の工程と（図１（ｆ）、（ｇ））、を含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】耐湿性に優れた光導波路を提供する。
【解決手段】基板１上にアンダークラッド層２ａが形成され、上記アンダークラッド層２ａ上に、所定パターンで、光信号を伝搬するコア部３が形成され、さらに上記コア部３を包含するようにオーバークラッド層２ｂが形成されてなる光導波路である。そして、上記両クラッド層２ａ，２ｂおよびコア部３の少なくとも一方が、ジシクロペンタジエン環を有する多官能オキセタン化合物を含有する樹脂組成物によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】透明性と耐熱性を両立した光導波路用粘接着剤樹脂組成物、および光導波路用粘接着シートならびにこれを用いて製造した光学装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）官能基を含む重量平均分子量が１０万以上である高分子量成分、（Ｂ）エポキシ樹脂、（Ｃ）フェノール系エポキシ樹脂硬化剤、（Ｄ）紫外線照射によって得られる硬化物のＴｇが２５０℃以上である光反応性モノマー、（Ｅ）波長２００〜４５０ｎｍの紫外線照射により塩基とラジカルを発生する光開始剤を含有する樹脂組成物であって、その硬化物の全光線透過率と波長７００〜１６００ｎｍにおける光線透過率が８０％以上である光導波路用粘接着剤樹脂組成物、該接着剤樹脂組成物と支持基材からなる光導波路用粘接着シート、並びに該粘接着剤樹脂組成物又は該接着フィルムを用いて光導波路を接着してなる光学装置である。 （もっと読む）