【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】複数の第１電極３３３が配置された電極基板３３２の下方主面（他方主面）に対向して電気回路基板３３６が配置されるとともに、当該電気回路基板３３６に対し、複数の第１電極３３３の配線領域Ｒａ上の端部に一対一で対応して複数の配線３３７が形成されて誘導結合により複数の第１電極３３３とそれぞれ電気的に接続される。そして、変調部から各配線３３７を介して対応する第１電極３３３に付与する電圧が制御され、これによって複数の第１電極３３３と第２電極３３５との間で発生する電界がそれぞれ制御される。 （もっと読む）

光を導くための電気光学材料の電気光学コア層（１１２）と、その電気光学コア層（１１２）に近接した少なくとも１つの第１の電極層（１１４；１１４―１）を有する電極配置であって、前記電極配置は、その電極配置によって生成された電界によって電気光学コア層（１１２）の領域（１１６）に電気光学効果を起こさせるように構成され、その結果、光の伝播が、その起こされた電気光学効果の領域において操作される、電極配置とを含む、を含んでいる層スタック（１１０；２１０）を用いて可変的に光波を導くための構想が提供される。 （もっと読む）

【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】配線基板３３２では、下方主面に複数の導電性パッドが形成されるとともに、上方主面から下方主面に貫通する複数の貫通孔の各々に導電性部材が設けられている。また、この配線基板３３２の上方主面には複数の第１電極３３３が設けられ、各第１電極３３３の他方端部がそれに対応する導電性部材を介して導電性パッドに電気的に接続され、変調部から導電性パッドおよび導電性部材を介して電圧を付与される。したがって、変調部と各第１電極３３３とをワイヤーボンディング接続により電気的に接続していた従来技術に比べ、配線領域を狭めることができ、空間光変調器３３のコンパクト化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】複雑度の高いシステムを改善し，当該システムの作製方法を改善する。
【解決手段】本発明は，概して，光ビームステアリング装置と，光ビームステアリング装置を製造する方法とに関する。本発明は特に，ＲＯＡＤＭ（reconfigurable optical add drop multiplexer）等の光アド／ドロップマルチプレクサ（ＯＡＤＭ）に関する。一実施形態において，光ビームステアリング装置は，第１の表面を有するスラブと，上記スラブの上記第１の表面内または上記第１の表面上に配置される，少なくとも１つのＬＣＯＳ（liquid crystal on silicon）素子を有する複数の光学素子と，第２の表面とを具備し，上記第２の表面による反射を介して，少なくとも１本の光ビームが，上記スラブ内において上記複数の光学素子のうち１つの光学素子から上記複数の光学素子の別の光学素子へ実質的に自由に伝播することができるように構成される。 （もっと読む）