【課題】高硬歯車の面粗さの改善などを目的として加工圧を調節することができる歯面加工装置及び歯車製造方法を提供する。
【解決手段】歯面処置装置１０は、はす歯状砥石２と、はす歯状砥石２の回転軸Ｃと被加工歯車Ｗの回転軸Ｘとの相対位置を移動できる位置調節手段３と、はす歯状砥石２の回転軸Ｃと被加工歯車Ｗの回転軸Ｘとの相対位置を調節して、被加工歯車Ｗの１つの歯を形成する歯面のうち一方の被加工歯面１１のみ、はす歯状砥石２の砥石歯面２１に当接させてはす歯状砥石２及び被加工歯車Ｗを噛み合わせるように位置調節手段３を作動させる相対位置制御部７１と、砥石回転手段４を作動させる砥石回転手段制御部７２と、回転トルクを所定範囲に調節するように回転トルク制御手段５を作動させるトルク制御手段制御部７３と、をもつ制御手段７とを有する。 （もっと読む）

【課題】加工数の増加による研削抵抗の増加を更に抑制できる放電超音波重畳研削加工方法を提供する。
【解決手段】研削工具７０の砥石７あるいは被加工物２に超音波振動を印加し、導電性の被加工物２に放電エネルギーを放電電源２４から与えながら研削する。研削工具７０と被加工物２との間にパルス電圧を印加し、両者間で放電させて、詰まった切屑を放電作用ならびに超音波振動で除去し、かつ研削工具７０と被加工物２との相対的距離を演算された変化速度（送り速度）ｆｇで移動させながら所定の食込みの量ｔｇで研削する。この研削加工中の放電状態のモニタリングを放電電圧、及び放電電流の双方で行なって、このモニタリングの結果を用いて、安定放電を維持するように、少なくとも変化速度ｆｇを制御する。必要な仕上げ面性状を満足し、研削抵抗を低減して、設備の小型化ないし低価格化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】砥石車と総形ツルーイングロールの周速度比に係らず砥粒を所望の度合いに破砕するツルーイング方法を提供する。
【解決手段】総形ツルーイングロール９を砥石車７の研削作用面に垂直方向に振動させる加振装置１０２を備えたツルーイング装置１０を用い、砥石車７の回転周期を加振装置１０２の振動周期で除した値が循環数となる周期と、所望の振幅で、振動させる。この振動で総形ツルーイングロール９の砥粒押込み方向の速度を所望に制御して、砥石車７の砥粒の破砕度合いを制御する。 （もっと読む）

【課題】化学機械的研磨装置、パッドコンディショナアセンブリ及び研磨パッドコンディショニング方法を提供する。
【解決手段】本発明は化学機械的研磨装置１００、パッドコンディショナアセンブリ１６０及び研磨パッドコンディショニング方法に関する。化学機械的研磨装置１００は下面にウェーハＷを装着したキャリア１３０を上面に研磨パッド１２０が装着されたポリッシングテーブル１１０にスラリ１５０を供給しながら回転させてウェーハＷを研磨する。化学機械的研磨装置１００はパッドコンディショナアセンブリ１６０を含み、パッドコンディショナアセンブリ１６０は研磨パッド１２０上にパッドコンディショニング溶液１９０を提供し、その溶液に超音波振動を印加して研磨パッド１２０の表面から異物質を除去することによって研磨パッド１２０をコンディショニングする。 （もっと読む）