【課題】
固定部品に対する摺動部品のストッパ機構及び摺動の程度の調整機構を容易にして精度よく調整でき、目盛の読取りを容易にする高機能な手動ステージを提供すること。
【解決手段】
樹脂からなる固定部品５の両側の壁部に逆三角形の突出部３１と溝３２とを設け、摺動固定ネジ１０を、摺動固定ネジ用孔１６を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押さえ込ませ、固定部品５に対する摺動部品４の位置を固定し、複数の摺動調節ネジを、摺動調節ネジ用孔１５を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押し、固定部品５と摺動部品４との摺動の程度を微調整する。 （もっと読む）

【課題】長ストロークに対応しつつ、良好な直線性を確保できる直線案内機構および測定装置を提供する。
【解決手段】直線案内機構は、固定部材１と、移動部材２と、固定部材１と移動部材２との間に配置され移動部材２を移動可能に支持する第１の２重平行板ばね機構１１Ａおよび第２の２重平行板ばね機構１２Ａとを備える。第１の２重平行板ばね機構１１Ａおよび第２の２重平行板ばね機構１２Ａは、移動部材２の移動軸線を中心として１８０度以外の角度（例えば９０度）で配置されている。 （もっと読む）

【課題】駆動部間の調整を不要にして製造コストを抑えるとともに、移動体が延在する方向に小型化が可能な移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】台状の移動体２を台厚方向に沿う移動方向Ｈに平行移動させる移動ステージ装置１であって、移動体に対して移動方向に対向する位置に配置された基台部３と、基台部と移動体との間に配置され、移動方向に直交する方向に沿う軸線Ｃ１を中心として、基台部に回動可能に支持されたアーム部４と、軸線に平行な直線上に少なくとも２つ並んでアーム部に設けられ、移動体を前記移動方向に支持する第１の支持部５と、基台部と移動体との間に設けられ、移動体を移動方向のみに移動可能に支持し、かつ第１の支持部が並ぶ直線回りの移動体の回動を規制して支持する第２の支持部６と、基台部と移動体との間に配置され、アーム部に対して、軸線回りのモーメントを発生させる駆動力を作用させる駆動部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】
基部に対するステージ面を上下方向とピッチ方向、ロール方向に可動可能で、他の自由度には強く拘束され、かつ、アクチュエータへの力学的な負担が少ないステージの可動機構を、簡素で安価な構造で実現する。
【解決手段】
バネ性を有する素材がもつ弾性変形が許容される方向を活かすよう，板バネまたは曲げ棒バネなどのバネ材を用い、一つの間接部を有するくの字型の支持機構３０〜３３を構成し、これを二つ以上用いてステージ１０と基部２０とを弾性接続することで課題の自由度をもたらすステージ可動機構を構成している。同時に，くの字型を形成することで支持機構が弾性変形する際には，変位増加に対する反力が一定か減少するような逆バイアス特性がもたらされることで，アクチュエータを用いた場合の動作寿命を向上させることができる。また、センサ装置と組み合わせることによって３自由度の動作検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】 ピストン外周の非円形加工を行う工具台は、摺動抵抗が大きいと追従おくれが生じる。また、ローラで工具台を支持すると多方向の支持が必要でローラが多くなる。高速度で往復動するのでローラの正逆回転が追従せず、ローラが偏磨耗し騒音の原因となる。
【解決手段】工具取付部１を１体に設ける又は取り付けた可動体３にはリニアモータ３０の永久磁石３Ａが固定してある。可動体３には平行板ばね４，５の上縁が夫々固定されている。板ばね４，５の下縁は中空の六面体の基部材８の底板８ｂに取り付けられている。工具取付部１の本体１ａ外周は基部材８に固定した支持部材１６で支持可能となっている。リニアモータ３０の付勢で往復動するとき、平行板ばね４，５がたわむ。 （もっと読む）

【課題】撓み梁の曲げ剛性によって生じるステージ移動時の回転運動を抑制する。
【解決手段】ステージ２とレバー部４ａとの間には、一端がステージ２に保持され他端がレバー部４ａに保持され、ステージ２のＸ方向の中心軸を挟んで対称となる位置に配置された２本の撓み梁６ａ，６ｂが設けられている。ステージ２とレバー部４ｂの間には、一端がステージ２に保持され他端がレバー部４ｂに保持され、ステージ２のＹ方向の中心軸を挟んで対称となる位置に配置された２本の撓み梁６ｃ，６ｄが設けられている。撓み梁６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄはステージ２及びレバー部４ａ，４ｂに端部８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄを中心に回転可能に保持されている。 （もっと読む）

【課題】水平方向に往復移動する可動子からの反動力を比較的単純な構造で抑制することが可能な反動抑制構造、及び当該反動抑制構造を備えた加工装置を提供する。
【解決手段】水平なＸ軸方向に可動する下部可動子３０を基台上に載置し、Ｘ軸方向に直交する水平なＺ軸方向に自由移動可能に設けた上部可動子用台座４０を下部可動子上に載置し、上部可動子用台座に対してＺ軸方向に可動する上部可動子を上部可動子用台座上に載置し、下部可動子上に、且つ上部可動子用台座が移動するＺ軸上に、且つ上部可動子用台座に対向する位置に、Ｚ軸方向に自由移動可能に設けた反動抑制部材を載置する。そしてＺ軸方向に振動する第１バネＳ１が上部可動子用台座と下部可動子とに接続され、Ｚ軸方向に振動する第２バネＳ２が反動抑制部材と下部可動子とに接続されている。 （もっと読む）