【課題】目詰まり防止剤が塗布された表面の微細構造をどのようにすれば、目詰まり防止剤の機能が充分に発揮されるかをつきとめること。
【解決手段】最外側面に目詰まり防止被膜を有する研磨材において、該目詰まり防止被膜は、目詰まり防止剤および結合樹脂を含有し、該結合樹脂はひび割れを伴って膜化されており、該ひび割れによって該目詰まり防止被膜の表面全体に網目状の微細構造が形成されている、研磨材。 （もっと読む）

半導体装置の１つ又はそれ以上の切断刃に亘って流体の流れを向けるためのノズル組立体は、半導体装置を切断するために切断刃に向かって突出するよう構成された１つ又はそれ以上のノズルと、各ノズル内に形成された通路とを含み、流体の流れを切断刃の切断縁部上に並びに切断刃の両側部上に同時に向けるために、通路は切断刃を少なくとも部分的に取り囲むよう構成される。
（もっと読む）

略平坦な中央部（１２）から延在する複数の一体成形剛毛（１８）を有する成形ブラシセグメント（１０）。ブラシセグメントは、熱可塑性エラストマーなどの成形可能なポリマーから成形され、ブラシセグメントの少なくとも剛毛に存在する複数の研磨粒子を有する。

（もっと読む）