【課題】異常を検出する異常検出センサに異常が生じていることに気付き易く、異常に対する補修を迅速に行える物品搬送設備を提供する。
【解決手段】異常が生じていることを異常発生情報として表示手段に表示する表示制御手段と、異常発生情報が示す異常が生じているか否かを作業者が判断して入力する入力手段とを設け、異常検出センサが異常を検出している状態において、入力手段にて異常発生情報が示す異常が生じていないことが入力された場合は、異常検出センサの検出情報が誤っていることを示す情報を前記表示手段に表示するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
装置の大型化を抑えることができるとともに、効率良く基板の払出及び回収が行えるストッカー装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】
基板処理装置本体１に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープＦを載置するオープナー１０ａ〜１０ｄと、フープＦを把持して搬送する搬送機構と、オープナー１０ａ〜１０ｄの上方に位置してフープＦを載置する棚２０とを備え、棚２０は、外部搬送装置からフープＦを受け取るための受取棚２１と、外部搬送装置にフープＦを引き渡すための引渡棚２２と、基板Ｗが払出された後の空になったフープＦを保管する処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２とを含み、オープナー１０ａ〜１０ｄは、基板Ｗを払出すための払出専用オープナー１０ａ、１０ｂと、基板を回収するための回収専用オープナー１０ｃ、１０ｄとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】二重格納異常などにより荷の搬送を停止させる際、荷の有無を検知するための光センサの誤検知を低減することが可能な異常停止方法及び異常停止装置を提供することを目的とする。
【解決手段】移載装置５の昇降部６により荷４を所定間口２に入庫させる際、昇降部６に設けられる光センサ９がオンするか否かを判断し、所定間口２に荷があると判断し、再度光センサ９により所定間口２に荷があるか否かを判断する際、光センサ９を所定間口２から一旦外した後、光センサ９を所定間口２に戻し、所定回数判断を繰り返した後にも所定間口２に荷があると判断すると二重格納異常が発生したと判断し荷４の入庫動作を停止させる。 （もっと読む）

【課題】天井空間を利用して、より多くの物品を保管できるようにする。
【解決手段】天井走行車１６の走行レール４の下方に下部バッファ６を、側方にサイドバッファ８を設け、天井走行車１６には昇降台３０と昇降台３０を横送りする横送り部２４とを設ける。ロードポート１４に荷下ろしできない物品１０をロードポート１４の上流側のサイドバッファ８に仮置きし、荷下ろしが可能になった際にサイドポート８からロードポート１４へ物品１０を搬送するよう後続の天井走行車１６を制御する。
【効果】天井走行車システムでの物品保管能力を高め、ロードポート１４−ロードポート１４の直接搬送を容易にする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、荷物の入出庫をすることのできる荷物を保管するための自動倉庫と荷物を取り上げることをできる移載装置とを提供する。
【解決手段】上下方向及び前後方向に並べられ荷物を載貨可能な複数の棚を有するラックと、前記ラックに沿って前後方向に移動可能なクレーンと、前記クレーンに支持されて上下方向に移動可能な昇降台３００と、長手方向を左右方向に向け前後方向に平行に並んだ長尺の機構である１対の先端フォーク４１０と１対の該先端フォーク４１０を左右方向に移動させることをできる左右移動機構４２０と１対の前記先端フォーク４１０のうちの少なくとも一方を前後方向に移動させることをできる前後移動機構とを有し前記昇降台３００に支持される移載装置４００とを備え、一対の前記先端フォーク４１０が荷物１０の側面に当接して荷物１０を支えることをできる荷物支持機構を持つ。 （もっと読む）