【課題】基板汚染の原因となるパーティクルを発生させることなく、基板を安定して搬送できるようにする。
【解決手段】基板Ｗを支持するローラ部１８１と、回転軸１８２と、回転軸１８２の一方端側に設けられた第１磁気部材１１とを有する複数の搬送ローラ１８と、各搬送ローラ１８の回転軸１８２の他方端側を回転自在に支持する第１支持部１０１と、第１磁気部材１１に対向する位置に第１磁気部材１１と同一極性の第２磁気部材１３が設けられ、基板搬送方向に直交する方向における基板の中央寄りに配置された各搬送ローラ１８の回転軸１８２の前記一方端側を、第１磁気部材１１と第２磁気部材１３との間の反発力により軸支する第２支持部１０２と、駆動モータとを備え、搬送ローラ１８は第１支持部１０１及び第２支持部１０２に支持され、隣り合う搬送ローラ１８と一定間隔を空けて配置される。 （もっと読む）