【課題】半導体製造工場内に備える天井走行車から処理装置へとコンテナを受け渡す工程において、天井走行車が処理装置による処理を天井走行車が待つことにより、工場全体のスループットが低下する不具合が生じていた。
【解決手段】天井走行車から一時コンテナを受け取って留置すると共に、留置したコンテナを重要度に応じて選択して処理装置等へ移載するために、天井走行車の下方であって処理装置の上方に天井から吊設して備えるコンテナの受渡、留置、並びに供給装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】部品を第一面および第二面の何れの側でも搭載可能な共通のトレイを交互に用いて、トレイを循環させるようにした部品反転方法および装置を提供する。
【解決手段】トレイ１５は、部品１０を第一面および第二面の何れの側でも搭載可能な部品搭載部１５ａを有する共通のトレイからなり、部品反転装置３０は、反転可能なトレイ保持部材（３２）と、トレイ保持部材に設けられ２つのトレイを搭載部を内向きにして搬入搬出する一対の搬送部材と、一対の搬送部材を互いに接近離間可能に開閉する開閉手段（４６）と、２つのトレイによって部品が挟持された状態でトレイ保持部材を反転して部品を一方のトレイから他方のトレイに移し替える反転手段（３４）とによって構成した。 （もっと読む）