【課題】 基板の大型化に伴う傾斜搬送の不安定性を低減し、高角度に傾斜させた大型基板を円滑に搬送する。
【解決手段】 基板１１を水平面に対して傾斜角度を有するようにして搬送する基板搬送装置１０は、搬送される基板１１を搬送方向に関して曲率を有するように湾曲させる基板湾曲支持手段１４を備え、基板湾曲支持手段１４が、基板裏面支持手段１５と、基板下端支持手段１６とを含んで構成される。 （もっと読む）