【課題】乾燥風を吹き付けて浮上させながらフイルムを搬送する際に、フイルムを膨らませないようにする。
【解決手段】湿潤フイルム２５ａの下方に乾燥ダクト４８を設置する。乾燥ダクト４８は、ダクト本体５０と、乾燥風供給部５２と、排気管５３と、排気量制御部５４とを備える。乾燥風供給部５２はダクト本体５０に乾燥風５６を供給する。乾燥風５６は吹出孔５７ａを介して湿潤フイルム２５ａに吹き付けられる。排気孔５３ａは、湿潤フイルム２５ａの幅方向の略中央部に対向する位置に設けられる。この排気孔５３ａは、湿潤フイルム２５ａの下方に流れている乾燥風５６のうち湿潤フイルム２５ａの幅方向の略中央部に対応する部分に流れている乾燥風５６ａを、排気管５３の内部に排気する。乾燥風５６ａは排気孔５３ｂを介して外部に排気される。乾燥風５６ａの排気量は排気量制御部５４により制御される。 （もっと読む）

【課題】フィルム状物が蛇行することを防止する。
【解決手段】浮揚搬送装置１０は、ワイヤ１６，１７を並べて配置して、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１５を形成する。ワイヤ１６の側部には、上下方向に延びる複数の切欠き１６ａが、互いに所定の間隔をおいて形成されている。複数の切欠き１６ａは、四方八方に拡散する無方向にエアを噴出してフィルム状物Ｆ１を浮揚させる開口部として機能する。ワイヤ１７は、断面視で菱形を呈する。ワイヤ１７の側部には、上下方向に延びる複数の切欠き１７ａが、互いに所定の間隔をおいて形成されている。複数の切欠き１７ａは、搬送面１５の面方向にエアを噴出してフィルム状物Ｆ１を浮揚させる開口部として機能する。 （もっと読む）

【課題】直下における弛みを許容しつつテープを巻き取るテープ巻取り機構に対し、処理後のテープを円滑に送り込むことができるテープ送り装置を提供する。
【解決手段】処理後のテープ２を水平方向に送り出すフォワードテンション機構１０と、フォワードテンション機構１０により送り出されたテープ２の水平方向の送りをガイドするテープガイド１２と、テープガイド１２の終端近傍に配設され、送られて来るテープに対し直下における弛みを許容しつつ巻き取る巻取りリール７と、フォワードテンション機構１０の送り方向の下流側に配設され、送られてゆくテープ２にエアーを吹き付けてテープ２に送り方向への送り力を付与するエアーブロー機構１３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】ウェブの走行路に沿って複数の案内部材を上下に配置し、案内部材に設けたノズルからエアーを吹き出して走行するウェブとの間に空気層を形成するようにしたエアーフロート装置において、空気層の厚みを確保しつつウェブに幅方向への張力を付与しながら走行させられるようにすること。
【解決手段】案内部材の対向面をウェブの走行方向で凸円弧状となる曲面となし、その前後の端縁には曲面に沿ってエアーを吹き出すスリット状のノズルを配置し、曲面の中央部にはウェブの耳部側へ傾斜させた吐出口を備えたエアーノズルを幅方向に配置した。 （もっと読む）

【課題】半導体装置用テープにおける配線パターン部分に中折れを生じさせたり損傷を与えることなく搬送可能にしたエアーターンローラー装置を提供する。
【解決手段】回転ローラー５６の外周ガイド面部６２に、半導体装置用テープ１６の幅方向両端部にそれぞれ転接する転接段部６６、６８、７０を形成し、これら転接段部７０の間に一段低い外周面である逃げ凹部７２を形成し、逃げ凹部７２の部分に送気口７４を穿設し、回転ローラー５６の両側面部分から空気が漏れることを抑制する半密閉手段を設け、送気ファン８２で回転ローラー５６の空洞内部に空気を送気し送気口７４から噴射させ半導体装置用テープ１６の幅方向中間部に空気を吹き付けて逃げ凹部７２から浮き上がらせた状態で回転ローラー５６が回転して半導体装置用テープ１６が搬送される。 （もっと読む）