【課題】ハウジングに対するハウジングヘッドの組み付け精度を向上させることが可能な気体圧縮機を提供する。
【解決手段】ハウジング７と、ハウジング７とともに内部空間を構成するハウジングヘッド８、９と、内部空間に収納され気体を圧縮する２つのロータ１、２とを設ける。ハウジング７は少なくとも各ロータ１、２の外周面に対向する外周内壁面を構成し、ハウジングヘッド８、９は各ロータ１、２のそれぞれに対応して設けられているとともに、各ロータ１、２の一方の端部に対向する端部内壁面を構成する。各ロータ１、２の回転軸の一端側はハウジング７により支持され、各ロータ１、２の回転軸の他端側は、それぞれ異なるハウジングヘッド８、９により支持されている。ハウジングヘッド８、９は、外周内壁面に対応する外周の第１外周部と、第１外周部より大きい外周の第２外周部とを有しており、第１外周部がハウジング７の外周内壁面に嵌合する。 （もっと読む）

【課題】 排気速度が適切に制御され、パーティクルの発生が抑制されるとともに高効率で減圧空間が排気される減圧装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板を保持する減圧容器の内部空間を、異なる排気速度で排気可能に構成された減圧処理装置であって、前記内部空間を排気する高速排気ラインと、前記内部空間を排気する低速排気ラインと、前記内部空間の圧力を測定する第１の圧力測定手段と、前記低速排気ラインの圧力を測定する第２の圧力測定手段と、を有し、前記内部空間と前記低速排気ラインの圧力差に対応して、前記低速排気ラインに圧力調整ガスを供給する、圧力調整手段を備えたことを特徴とする減圧処理圧装置。 （もっと読む）

【課題】 吸引装置を小型化・軽量化することができ、真空ポンプの冷却効果に優れ、長時間に亘って高い吸引能力を維持できる水封式真空ポンプ搭載の吸引車を提供すること。
【解決手段】 レシーバタンクと、該レシーバタンク内を減圧する吸引装置を車両に搭載した吸引車であって、吸引装置は、水封式真空ポンプと、レシーバタンクと水封式真空ポンプとの間に設けられた集塵装置を備え、集塵装置はサイクロンからなる２次キャッチャと水槽からなる３次キャッチャとからなり、レシーバタンクは、内部空間が仕切られて、一方の空間が被回収物を収容する被回収物収容室、他方の空間が封入水を入れた封入水室とされ、これら被回収物収容室と封入水室は２次キャッチャを介して連通連結され、封入水室は３次キャッチャを構成し且つ水封式真空ポンプと接続されて内部の封入水を冷却水として水封式真空ポンプ内に供給可能に構成する。 （もっと読む）