【課題】ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。
【解決手段】ポンプケーシング内に回転自在に軸支され軸方向に多段のロータ翼を有するロータと、ロータ翼間に固定され軸方向に多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプであり、吸気口から入射したパーティクルがロータ翼３と衝突する割合を低下させるために、吸い込み側１段目のロータ翼３の翼部３ａは、パーティクルとの衝突を減らすために、吸い込み側１段目のロータ翼の翼部の径方向部分の総面積を、吸い込み側２段目のロータ翼３ｂの翼部の径方向部分の総面積よりも小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】生ゴミ真空乾燥機の補給水及び脱臭剤などを節約する方法の提供。
【解決手段】冷却タンク、気液分離器、真空ポンプ及び逆止弁を真空装置で構成する。即ち、（イ）乾燥槽を気液分離器へ連結し、気液分離器より冷却タンク及び逆止弁へ連結し、逆止弁から真空ポンプを経て冷却タンクへ連結する。（ロ）冷却タンクの上部に泡沫水タンクを、下部に油タンクを合体して設ける。（ハ）泡沫水タンクの上部に排水入口を、下部に排水出口を設けて気液分離器と連結する。泡沫水タンクの上部のフタに排気口を設け、フタの下部に気液分離器を設け、気液分離器の下部に泡沫板を設ける。（ニ）油タンクの上部に油気入口を、中部に油出口を設け、真空ポンプと連結する。油タンクの下部に排水出口を設ける。油タンクの上部に油気分離機を設け、油気分離機の上部に油水仕切板を設け、油水仕切板に泡沫水タンクから油タンクへ連通し、かつ排水を遮断する手段を設ける。 （もっと読む）

真空ポンプ排出装置は、駆動シャフトと、上記駆動シャフトを駆動するモータと、分子ポンプ排出機構と、再生ポンプ排出機構とから成る。駆動シャフトは、分子ポンプ排出機構と再生ポンプ排出機構を同時に駆動するよう配置されている。駆動シャフトは、分子ポンプ排出機構と関連した無潤滑油式によって軸受によって支持される。
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【課題】 大気圧から排気する真空ポンプにおいて、構成を複雑化することなく軸受に加わるスラスト荷重を軽減させること。
【解決手段】 作用する圧力の差によりロータ軸４に加わるスラスト荷重を補助するための荷重補助構成１２を設ける。荷重補助構成１２は、ロータ軸４に対して、このロータ軸４と同心的に固着された板状部材１３と、ヨーク１６に固着された環状永久磁石１４、１５を備え、これら２つの環状永久磁石１４、１５によって、磁界が形成されている。そして、環状永久磁石１４、１５によって形成された磁界に作用する磁力によって板状部材１３が環状永久磁石１４、１５の方向へ吸引されるように構成されている。このように、荷重補助構成１２による吸引力をスラスト荷重を打ち消す向きにさせることにより、スラスト軸受１１に加わる荷重を低減させることができる。
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