【課題】簡単な構造のマイクロバルブを提供する。
【解決手段】溝３が形成された主基板１にカバー基板１３が貼り合わされて流路が形成される。主基板１は第１主基板層１ａ、第２主基板層１ｂ、第３主基板層１ｃの積層構造をもつ。溝３に形成された弁体５は、第１主基板層１ａと同じ材料からなり、溝３の第１側壁３ａから突出し、第１側壁３ａに対向する第２側壁３ｂとは間隔をもって形成され、流路内を流れる流体圧力で変形可能な膜厚をもつ。溝３の底面３ｃと弁体５との間に第２主基板層１ｂが除去されて形成された空隙７が形成されている。弁体５の下流側の流体圧力が弁体５の上流側の流体圧力よりも大きい状態とき、弁体５の自由端は第２側壁３ｂに設けられた突起部９に当接して移動量が規制される。それとは逆の流体圧力状態のとき、弁体５の自由端は第２側壁３ｂから離れる方向に移動し、弁体５の自由端が突起部９に当接した状態に比べて流路が開く。 （もっと読む）

【課題】高温高圧状態からの急激な減圧時における弁内部での耐久性を向上することができる石炭液化プロセス用圧力調節弁を提供する。
【解決手段】流体搬送用の流路が形成された弁本体１１と、流路の上流側入口から下流側出口に至る中途部に形成された弁室１１ｂと、弁室１１ｂを開閉する弁プラグ１９と、弁プラグ１９よりも下流側の弁室１１ｂから下流側出口１７ａに至る流路の一部を構成する圧力調整流路とを備え、弁プラグ１９の表面並びに圧力調整流路の内壁面に合成ダイヤモンドコーティング処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】 流体の流量を機械的に安定して調整することができると共に、大流量の流体の調整に好適な流量制御弁およびガス処理システムを課題とする。
【解決手段】 流量制御弁２３は、上流側ポート５１および下流側ポート５２を有するハウジング４１と、ハウジング４１に対して軸方向に摺動可能に構成されたスプール４３と、を備える。ハウジング４１内には、その内壁４２とスプール４３とにより、上流側ポート５１および下流側ポート５２に連通する流通空間６１と、上流側圧力空間６２と、下流側圧力空間６３と、が構成される。スプール４３は、上流側圧力空間６２および下流側圧力空間６３の圧力差により軸方向に移動すると共に、この移動に伴って上流側ポート６２の開口面積を可変する。
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【課題】
製作コストの低減、製作時間の短縮、流路内での圧力損失の抑制、およびブロックの軽量化を実現することができる集積弁用下部流路ブロックを提供すること。
【解決手段】
本発明の集積弁用下部流路ブロック１は、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂとを備えるＵ字配管１１と、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１１を支持する筐体２１とを有することを特徴とする。 （もっと読む）