【課題】ポンピングボリュームがゼロになり、また、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ること。
【解決手段】スライド式ソレノイドバルブは、流路構成部材２と、流路構成部材３と、流路構成部材２と流路構成部材３との間に、流路構成部材２、３に対して摺動可能に配されるスライドシール板９であって、流路５、６、７と連通可能な流路開放孔部２５と流路５、６、７を遮断可能な流路遮断壁部２６、２７とを有するスライドシール板９と、スライドシール板９を原点位置に保つ方向の力を常時発生するスプリング２０と、通電時にスプリング２０の力に打ち勝ってスライドシール板９を原点位置から摺動させるソレノイド１４とを備え、スライドシール板９は、ソレノイド１４への通電の有無に応じて、流路開放孔部２５及び流路遮断壁部２６、２７により、流路５、６、７を切替える。 （もっと読む）

【課題】真空シール性、耐ラジカル性、耐腐食ガス性などの性能を有し、繰り返しの使用によっても、脱落や動作不良が発生せず、真空シール性能に優れ、金属パーティクルが発生することなく、被シール部分に対して装着が容易で、製造が容易なシール材を提供する。
【解決手段】シールコア部材と、シールコア部材を被包する外皮部材とを備え、シールコア部材の断面形状が、略波板形状であって、シール材を圧接した際に、シール部を構成する、一方側シール部分と、他方側シール部分と、シール材を圧接した際に、被シール部分のシール面と当接してシール材を固定した状態にする一方側シール固定部と、他方側シール固定部と、これらの間を連接する略直線状の連接部と、最も内周側または外周側に位置する一方側シール部分と他方側シール部分のうち、少なくともいずれか一方の端部に形成されたシール係止部とを備える。 （もっと読む）

回転制御バルブ用の制御要素（５４）が、少なくとも１つの耳（７６）によって回転シャフト（５６）に取り付けられている。制御要素（５４）には少なくとも２つの表面が含まれており、その第１表面（６０）は流れリング（６４）に対してほぼ密閉可能である。第２表面（６２）は、第１表面を越えてバルブを通る流体の流れを促進してその表面におけるスケーリングすなわち異物堆積を阻止するために、第１表面から概ね退避している。
（もっと読む）