【課題】金属ダイアフラムのリフト量のバラツキを減少させた流体制御弁の提供。
【解決手段】円形金属薄板を複数枚重ね、円形金属薄板を、弁座部１５と当接離間させて弁の開閉を行う金属ダイアフラム１８として用いる流体制御弁１０において、円形金属薄板である第１金属薄板１８ａと第２金属薄板１８ｂとが反りＷを揃えて重ねられ、金属ダイアフラム１８として用いることで、円形金属板の有する圧延異方性による反りＷの影響による金属ダイアフラム１８のリフト量のバラツキを減少させる。 （もっと読む）

【課題】減圧作動に対する一次圧の影響を抑えて二次圧を所定圧力に制御し、圧力変動に対して良好に応答させ、しかも減圧部材に付設したシール部材の寿命を長くする。
【解決手段】減圧弁室(10)に開口する出口路(11)の周囲に弁座(18)を形成する。減圧部材(19)にシール部材(20)を弁座(18)に対面させて設ける。作動室内のピストン部材を減圧部材(19)と連係する。減圧部材(19)と減圧弁室(10)内面との間に第１シール部(24)を設け、第１シール部(24)での第１シール面積(S1)を弁座シール面積(S0)よりも広くする。減圧部材(19)内にガス導入路(25)を形成し、入口路(９)を第１シール部(24)と弁座(18)との間の弁室内空間(Ａ)に連通する。弁室内空間(Ａ)よりも上流側で、ハウジング(５)と減圧部材(19)との間に第２シール部(26)を設ける。第２シール部(26)での第２シール面積(S2)を、第１シール面積(S1)と弁座シール面積(S0)との面積差と略等しくする。 （もっと読む）