【課題】 給気能力が高い液体圧送装置を提供する。
【解決手段】 作動流体導入口１１ａに給気弁２０ａが設けられ、第２作動流体導入口１１ｂに第２給気弁２０ｂが設けられ、作動流体排出口１３に排気弁２１が設けられる。密閉容器２内に配置されたフロート３の昇降に応じてコイルバネ３８を利用したスナップ機構５を動作させて動力伝達軸２８をスナップ移動させ、動力伝達軸２８を介して給気弁２０ａ及び第２給気弁２０ｂと排気弁２１の開閉を切り換える。動力伝達軸２８のスナップ移動に応じて密閉容器２内に支持された弁用揺動軸１８を中心として揺動するレバー２７が動力伝達軸２８に回転可能に支持され、動力伝達軸２８のスナップ移動に応じてレバー２７を介して給気弁２０ａ及び第２給気弁２０ｂと排気弁２１の開閉を切り換えて動力伝達軸２８のスナップ移動の力をレバー２７により拡大して給気弁２０ａ及び第２給気弁２０ｂと排気弁２１に伝達する。 （もっと読む）

【課題】弁体の支持剛性を高めるとともに、弁体およびシャフトを応答性良く低負荷で動かすことのできるバルブ装置を提供する。
【解決手段】ハウジングに軸受部３を設け、この軸受部３に形成された摺動穴２によってシャフト１の先端部を軸方向へ摺動自在に支持する。これにより、弁体の支持剛性を長期に亘って安定して高めることができ、バルブ装置の信頼性を高めることができる。また、摺動穴２の内周壁に軸方向へ延びる溝６を設けて、摺動穴２の底部とハウジング内とを連通する呼吸路４を設けている。これにより、「シャフト１の先端部と摺動穴２の底部との間」の容積変動が容易になり、シャフト１の軸方向への移動が容易になる。その結果、弁体の開閉の応答性を向上できるとともに、弁体の駆動負荷を低減できる。 （もっと読む）

【課題】第１ポートと第２ポートとが連通状態であっても、シール部材を構成する第１シール部材をプラズマや腐食性ガスから確実に保護してシール性能を長期にわたり維持（シール性能の低下を防止）できるバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁体部２２を駆動する偏心シャフト２４を支持部材５２に対して軸方向に位置決めするためのホールドナット６６を設けることにより、偏心シャフト２４をその軸方向に確実に位置決めし、弁体部２２を高精度に位置制御する。また、第１ポート１２と第２ポート１４とが連通状態のときに、偏心シャフト２４による駆動で弁体部２２がハウジングの内壁面１８Ａに着座したときに、第１シール部材３０は外側に位置する比較的硬質な第２シール部材３２によってハウジング１８内部の流路１６から区画される。 （もっと読む）