【課題】副流路から主流路に通じるバルブを閉止した時に、バルブの連通流路で流体が滞留するのを抑制し、滞留によるコンタミネーションの発生を抑制する。
【解決手段】バルブは、第１の流体を供給するための流入口７および流出口８を有する主流路１８と、第２の流体を供給するための副流路１９と、副流路１９が連通する主弁室６と、主弁室６の底部中央に形成された開口部から連続して形成された副弁室２０と、副弁室から主流路に連通する入口連通流路２１および出口連通流路２２と、が設けられた本体１と、副弁室２０に連通する主弁室６の開口部を開閉する弁体５と、弁体５を駆動する駆動部と、を具備し、主流路の一部に主流路絞り部２３が形成され、出口連通流路２２が主流路絞り部２３の内部に連通している。 （もっと読む）

【課題】 任意の２つ以上の出入口ポート間での連通・非連通を可能にする。
【解決手段】 第１ポート（１１）と第２ポート（１２）と第３ポート（１３）と第４ポート（１４）の４つの出入口ポートを有するバルブ本体（２）と、バルブ本体に形成された弁座（２５，２６，２７，２８）に対して開閉するダイヤフラム（４０）と、ダイヤフラムを開閉させる開閉機構（３０）とを備えた四方ダイヤフラム弁（１）において、各出入口ポートは、バルブ本体の内部で分岐部（２０）を介して接続される通路（２１，２２，２３，２４）により相互に連通し、各通路は、各出入口ポートと分岐部との間に弁座を有する。 （もっと読む）

【課題】 一つの可撓性部材で複数の弁機能を具備させることができ、よって流路切り替え占有スペースの省スペース化を実現することができる多方弁を提供する。
【解決手段】二連三方弁１０は、有底円筒形状のベース部材１１と、このベース部材１１の表裏に貫通する三つの流路１２，１３，１４と、ベース部材１１の一面に位置して流路１２，１３，１４の全体を気密状態で覆う可撓性部材１５と、流路１２，１３，１４の中心に位置している流路１２を常時は閉成する弁体１６と、常時は可撓性部材１５の内面から先端が離間すると共に弁体１６によって開閉される流路１２を含み且つ最外周に位置する流路１４を除いた流路１３を取り巻くようにベース部材１１の一面側から突出された環状の隔壁１７と、可撓性部材１５の外面側から可撓性部材１５を変形させつつ隔壁１７の先端に可撓性部材１５の内面を当接させる環状加圧部材１８とを備えている。 （もっと読む）