【課題】閉弁時にリーク流通路以外からの流体の流出を抑制することができ、しかも閉弁時における微小流量の変更を容易に行うことができるダイヤフラム弁を提供する。
【解決手段】流入路１１ａと流出路１１ｂとを形成すると共にその経路中途部に弁室１１ｃを形成した弁箱１１と、弁室１１ｃの底壁に開口する流入路出口縁部を取り巻く厚肉筒体状の弁座補強部材としての弁座カラー１２と、弁座カラー１２から一部が突出するように嵌合保持された樹脂製の弁座１３と、弁座１３の突出部に接近・離反することで閉弁・開弁するダイヤフラム１５と、少なくとも弁座カラー１２を弁室１１ｃの底壁に向けて押圧する押圧部材としてのシートリング１４と、を備えると共に、弁座カラー１２に、流入路１１ａと流出路１１ｂとを連通するリーク流通路２０と、弁室１１ｃの底壁との接触面から突出する環状リブ１２ａと、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して材料コストを削減し得て、しかも、バルブ全体の小形化並びに軽量化に貢献することができるダイヤフラム弁を提供する。
【解決手段】流入通路１１ａの弁室流入口と流出通路１１ｂの弁室流出口とを有するバルブボディ１１と、流入通路１１ａの弁室流入口を取り巻くようにバルブボディ１１に設けた弁座１２と、弁座１２に接近・離反することで弁開閉を行うダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の外周縁部をバルブボディ１１とで挟持するボンネット１５と、を備え、ダイヤフラム１３の外周縁部とバルブボディ１１の外周及びボンネット１５の外周とが全周に渡って溶接により接合されている。 （もっと読む）

【課題】超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、エミッションフリーの実現に貢献することができるダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】圧力ガスの流入通路１１ａと流出通路１１ｂとが形成されたバルブボディ１１と、流入通路１１ａの出口に形成された弁座１１ｃに対向配置された第１ダイヤフラム１２と、第１ダイヤフラム１２を挟んで一端が弁座１１ｃに対向配置されたステム１３と、ステム１３を摺動可能に保持したボンネット１４と、ステム１３の他端と対向配置された第２ダイヤフラム１５と、第２ダイヤフラム１５の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム１３を摺動させて第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉を操作する作動気体室１６と、第１，第２ダイヤフラム１２，１５とによって各流路１１ａ，１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流体供給系の加熱装置において、加熱部位・部材ごとにモジュール化した発熱体を設置し、加熱部位・部材ごとの適切な昇温加熱および維持を実現するとともに、故障確率の分散によるリスク低減および設置、交換作業を容易にした流体供給系の加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の流体供給系加熱装置は、複数の流体制御機器を有する上段層および流体制御機器に連通する流路を備えた複数のブロック状部材により構成される下段層からなるラインが支持基板上に並列状に配置され、流体制御機器およびブロック状部材を加熱する加熱手段が設けられている流体供給系加熱装置において、加熱手段が、二つ以上のモジュール化された発熱体から構成され、各発熱体が独立して制御可能にブロック状部材に対応して設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】閉弁状態にあって、下流側の圧力が上昇しない弁構造を提供すること。過大な押しつけ力がかかっても弁座は座屈せず、流量の低下や弁座漏洩をもたらすことのない弁座構造を提供すること。
【解決手段】樹脂製の弁座１と、弁座１の頭部１ａと当接し離脱するダイヤフラム６と、弁座１の内側面と外側面の少なくとも一方の面を覆う金属製の弁座補強部材７と、弁座１および弁座補強部材７とを弁箱３に保持するための弁座保持具２とからなる。弁座補強部材７は溝を有し、溝内に弁座１がはめ込まれている。 （もっと読む）

【課題】
高圧流体を大流量の条件下で調節弁を用いて急激に減圧すると、気体の膨張により流体自身の温度が急激に低下し、調節弁の下流部の温度が氷点下になる可能性がある。気体中に水分が含まれている場合、縮流部である弁孔の弁座−弁体−弁座間隙の流路表面で水分が凍りつき、弁体の動きを妨げ、流体制御に支障をきたすことがある。これにより、気体の脈動、調節弁の異常振動、弁座のエロージョン、騒音等を引き起こし、気体供給システムの健全な運転の維持は困難となる。流体圧力の制御機器では弁座付近の縮流部が氷結しても流体制御を可能とすることが重要である。
【解決手段】
制御対象の流体流路に沿って、遮断弁（２）と、調節弁（３）と、圧力センサー（４）とを一体化して設け、該圧力センサー（４）の検出圧力信号をもとに、遮断弁（２）と、調節弁（３）とを自動制御することを特徴とする流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】 一つの可撓性部材で複数の弁機能を具備させることができ、よって流路切り替え占有スペースの省スペース化を実現することができる多方弁を提供する。
【解決手段】二連三方弁１０は、有底円筒形状のベース部材１１と、このベース部材１１の表裏に貫通する三つの流路１２，１３，１４と、ベース部材１１の一面に位置して流路１２，１３，１４の全体を気密状態で覆う可撓性部材１５と、流路１２，１３，１４の中心に位置している流路１２を常時は閉成する弁体１６と、常時は可撓性部材１５の内面から先端が離間すると共に弁体１６によって開閉される流路１２を含み且つ最外周に位置する流路１４を除いた流路１３を取り巻くようにベース部材１１の一面側から突出された環状の隔壁１７と、可撓性部材１５の外面側から可撓性部材１５を変形させつつ隔壁１７の先端に可撓性部材１５の内面を当接させる環状加圧部材１８とを備えている。 （もっと読む）