ダイヤフラムバルブ
【課題】超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、エミッションフリーの実現に貢献することができるダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】圧力ガスの流入通路１１ａと流出通路１１ｂとが形成されたバルブボディ１１と、流入通路１１ａの出口に形成された弁座１１ｃに対向配置された第１ダイヤフラム１２と、第１ダイヤフラム１２を挟んで一端が弁座１１ｃに対向配置されたステム１３と、ステム１３を摺動可能に保持したボンネット１４と、ステム１３の他端と対向配置された第２ダイヤフラム１５と、第２ダイヤフラム１５の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム１３を摺動させて第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉を操作する作動気体室１６と、第１，第２ダイヤフラム１２，１５とによって各流路１１ａ，１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７と、を備えている。
【解決手段】圧力ガスの流入通路１１ａと流出通路１１ｂとが形成されたバルブボディ１１と、流入通路１１ａの出口に形成された弁座１１ｃに対向配置された第１ダイヤフラム１２と、第１ダイヤフラム１２を挟んで一端が弁座１１ｃに対向配置されたステム１３と、ステム１３を摺動可能に保持したボンネット１４と、ステム１３の他端と対向配置された第２ダイヤフラム１５と、第２ダイヤフラム１５の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム１３を摺動させて第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉を操作する作動気体室１６と、第１，第２ダイヤフラム１２，１５とによって各流路１１ａ，１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７と、を備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を遮断若しくは流量調整するバルブであり、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス（液）部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２００７−６４３３３号公報
【０００３】
近年、半導体メモリ装置等の各種半導体装置やＦＰＤ（フラットパネル ディスプレイ）装置を製造するための装置として、例えば、ＭＯＣＶＤ用切替バルブといったように、流体を遮断若しくは流量調整するバルブ、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブの要望がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、このようなダイヤフラムバルブは、特に、Ｌａ（ランタン）やＰｒ（プラセオジム）といったレアメタルを使用したＨｉｇｈ−Ｋ膜や、Ｐｂ（鉛）を使用した強誘電体膜（例えば、ＰＺＴ）等の反応性が高く、高温且つ温度管理が難しい成膜材料の遮断若しくは流量制御に利用されている。
【０００５】
この際、バルブ全体が２５０℃以上（特に、３００℃以上）の高温環境下や真空環境下での利用を考慮した構造を採用した超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブが近年の成膜技術等で用いられている。
【０００６】
図４は、このような高洗浄・高温用のダイヤフラムバルブの一例を示し、圧力ガスの流入通路１ａと流出通路１ｂとが形成されたバルブボディ１と、流入通路１ａの出口に形成された弁座１ｃに対向配置されたダイヤフラム２と、ダイヤフラム２を挟んで弁座１ｃに対向配置されたダイヤフラム変形部材３と、ダイヤフラム変形部材３を摺動可能に保持すると共にダイヤフラム２の裏面側周囲をダイヤフラム変形部材３とは独立して押し付けるダイヤフラム押し付け固定部材４と、ダイヤフラム押し付け固定部材４を保持したボンネット５と、弁駆動部６と、を備え、バルブボディ１とダイヤフラム２とは、ダイヤフラム押し付け固定部材４を介してボンネット５に具備したネジ（図示せず）の出力で押し付けられることによって外部リークを低減するように接続固定されている。
【０００７】
弁駆動部６は、ボンネット５を介してバルブボディ１と接続固定されている。ダイヤフラム２による弁座１ｃの開閉動作は、ダイヤフラム２にダイヤフラム変形部材３を介して弁駆動部６の動作を伝達することで行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、上記の如く構成されたダイヤフラムバルブにあっては、例えば、弁駆動部６で樹脂性部材（例えば、Ｏリング、ゴム製ダイヤフラム、フッ素樹脂を含んだ軸受等）を使用していると、ダイヤフラムバルブとしての耐用温度、即ち、最高使用温度が使用している樹脂性部材の耐熱温度以下となるように低く設定する必要がある。
【０００９】
また、バルブボディ１とダイヤフラム２との間の外部シール部は、外部リークを低減するように接続固定されているが、例えば、３００℃を超える超高温環境化においては部品材料の機械的性質（例えば、線膨張係数、硬度、強度等）の差や変化が大きくなるために、外部リーク性能を維持することが困難であるであるという問題も生じていた。
【００１０】
さらに、ボンネット５の内部及び弁駆動部６の一部は、外部と連通する構造となっており、真空中等のエミッションフリーが必要な環境下での使用が困難であるという問題も生じていた。
【００１１】
また、ダイヤフラム変形部材３とダイヤフラム押し付け固定部材４との摺動部分のパーティクル（発塵）が外部に放出され易いという問題も生じていた。
【００１２】
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができるダイヤフラムバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のダイヤフラムバルブは、圧力ガスの流入通路と流出通路とが形成されたバルブボディと、前記流入通路の出口又は前記流出通路の入口に形成された弁座に対向配置された第１ダイヤフラムと、該第１ダイヤフラムを挟んで一端が前記弁座に対向配置されたステムと、該ステムを摺動可能に保持したボンネットと、前記ステムの他端と対向配置された第２ダイヤフラムと、該第２ダイヤフラムの裏面側に形成されて内圧を可変することによって前記ステムを摺動させて前記第１ダイヤフラムによる前記弁座の開閉を操作する作動気体室と、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとによって前記各流路及び前記作動気体室と隔絶されたベント室と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項１に記載の構成によれば、第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムとによって流入通路と流出通路及び作動気体室と隔絶されたベント室が形成されることにより、経年劣化等によって第１ダイヤフラム又は第２ダイヤフラムが破損した場合であっても、流入出通路に流れる圧力ガスや作動気体室に流れる作動気体はベント室を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第１ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムをメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。
【００１５】
また、請求項２に記載のダイヤフラムバルブは、前記第２ダイヤフラムを密着状態で保持し且つ該第２ダイヤフラムとで前記作動気体室と連通する第２作動気体室を形成するダイヤフラムホルダと、前記ボンネットに形成された作動気体流路と連通する前記作動気体室を前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとで形成するカバーと、を備え、前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとの間を密閉することで前記作動気体室と前記ベント室とが隔絶されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項２に記載の構成によれば、作動気体室を２室に分割して作動気体室周辺の密閉構造（隔絶化）を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。
【００１７】
さらに、請求項３に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとされていることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の構成によれば、メタル製の各ダイヤフラムの変形を一つのステムによって容易に行うことができる。
【００１９】
また、請求項４に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムの直径は前記第２ダイヤフラムの直径よりも小径であることを特徴とする。
【００２０】
請求項４に記載の構成によれば、ステムに対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第１ダイヤフラムによる弁座の開閉圧力を大きく与えることができる。
【００２１】
請求項５に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとは、前記弁座に対して前記第１ダイヤフラムが開弁する方向に凸向きに配置されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項５に記載の構成によれば、ダイヤフラムの凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へとダイヤフラムを容易に復帰させることができる。
【００２３】
しかも、請求項６に記載のダイヤフラムバルブは、前記ボンネットと前記ステムとの間を前記ベント室の一部として利用していることを特徴とする。
【００２４】
請求項６に記載の構成によれば、第１ダイヤフラム側と第２ダイヤフラム側とに位置するベント室をボンネットに別途連通孔を形成すること無くボンネットとステムとの間を利用して連通することができるばかりでなく、ステムの摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室から排出することができる。
【００２５】
請求項７に記載のダイヤフラムバルブは、前記第２ダイヤフラムの表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダが設けられていることを特徴とする。
【００２６】
請求項７に記載のダイヤフラムバルブによれば、第２ダイヤフラムの表裏周囲に各ダイヤフラムホルダが存在することから、各ダイヤフラムホルダの放熱・吸熱効果によって第２ダイヤフラムへの蓄熱を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明のダイヤフラムバルブは、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブについて、図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の断面図、図２は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの正面図、図３は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部を省略した底面図である。
【００３０】
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブ１０は、その構成部材の全てがメタル製（オールメタル）であり、圧力ガスの流入通路１１ａと流出通路１１ｂとが形成されたバルブボディ１１と、流入通路１１ａの出口に形成された弁座１１ｃに対向配置された第１ダイヤフラム１２と、第１ダイヤフラム１２を挟んで一端が弁座１１ｃに対向配置されたステム１３と、ステム１３を摺動可能に保持したボンネット１４と、ステム１３の他端と対向配置された第２ダイヤフラム１５と、第２ダイヤフラム１５の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム１３を摺動させて第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉を操作する作動気体室１６と、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とによって各流路１１ａ，１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７と、を備えている。
【００３１】
このように、第１，第２ダイヤフラム１２，１５によって、流入通路１１ａと流出通路１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７が形成されることにより、経年劣化等によって第１ダイヤフラム１２又は第２ダイヤフラム１５が破損した場合であっても、流入出通路１１ａ，１１ｂに流れる圧力ガス（例えば、プロセスガスや反応ガス）や作動気体室１６に流れる作動気体（例えば、空気）はベント室１７を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第１ダイヤフラム１２及び第２ダイヤフラム１５をメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。
【００３２】
また、第２ダイヤフラム１５を密着状態で保持し且つ第２ダイヤフラム１５とで作動気体室１６と連通する第２作動気体室１８を形成するダイヤフラムホルダ１９と、ボンネット１４に形成された作動気体流路２０と連通する作動気体室１６をボンネット１４とダイヤフラムホルダ１９とで形成するカバー２１と、を備え、ボンネット１４とダイヤフラムホルダ１９との間を密閉することで作動気体室１６とベント室１７とが隔絶されている。
【００３３】
従って、作動気体室１６を第２作動気体室１８とで分割して作動気体室１６の周辺の密閉構造（隔絶化）を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。
【００３４】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとすることにより、メタル製の各ダイヤフラム１２，１５の変形を一つのステム１３によって容易に行うことができる。
【００３５】
また、第１ダイヤフラム１２の直径は第２ダイヤフラム１５の直径よりも小径とすることにより、ステム１３に対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉圧力を大きく与えることができる。
【００３６】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とは、弁座１１ｃに対して第１ダイヤフラム１２が開弁する方向に凸向きに配置することにより、第１ダイヤフラム１２の凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へと第１，第２ダイヤフラム１２，１５を容易に復帰させることができる。
【００３７】
さらに、ボンネット１４とステム１３との間をベント室１７の一部として利用することにより、第１ダイヤフラム１２側と第２ダイヤフラム１５側とに位置するベント室１７をボンネット１４に別途連通孔を形成すること無くボンネット１４とステム１３との間を利用して連通することができるばかりでなく、ステム１３の摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室１７から排出することができる。
【００３８】
しかも、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダ２２を設けることにより、第２ダイヤフラム１５の表裏周囲に各ダイヤフラムホルダ１９，２２が存在することから、各ダイヤフラムホルダ１９，２２の放熱・吸熱効果によって第２ダイヤフラム１５への蓄熱を抑制することができる。
【００３９】
尚、バルブボディ１１とボンネット１４との間は、メタルＯリング２３を配置することによって気密性が確保されると共に、複数のボルト２４によって連結されている。また、流入出通路１１ａ，１１ｂ、ベント室１７、作動気体流路２０は、ポート２５，２６，２７，２８を経由して気体供給・排出される。
【００４０】
以下、本発明のダイヤフラムバルブ１０を詳細に説明する。
【００４１】
バルブボディ１１は、メタル製の一体成形品であり、その底面（図１において）からポート２４が突出され、そのポート２４を含む中心線上に流入通路１１ａが形成されている。また、その側面にはポート２５が突出接続されている。尚、弁座１１ｃは、バルブボディ１１と完全一体でも良いし、他の材質（例えば、ＰＣＴＦＥ，ＰＦＡ，ＰＩ等の耐熱性非金属部材で構成しても良い。この際、弁座１１ｃは第１ダイヤフラム１２よりも硬度の低い材質（例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ等）が好ましい。
【００４２】
第１ダイヤフラム１２は、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第１ダイヤフラム１２の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第１ダイヤフラム１２の裏面側周囲は、ボンネット１４に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第１ダイヤフラム１２は、その裏面側のベント室１７と流入出通路１１ａ，１１ｂとを隔絶することができる。
【００４３】
ボンネット１４は、ステム１３を中心に配置すると共に、その左右対称位置からポート２６，２７を突出接続している。また、作動空気室１６（第２作動気体室１８）とベント室１７とは、第２ダイヤフラム１５の表裏側にそれそれ連通するため、少なくとも、第２ダイヤフラム１５の裏面側周囲とダイヤフラムホルダ１９及びダイヤフラムホルダ１９とボンネット１４とは、密着状態で接続されるのが好ましい。
【００４４】
第２ダイヤフラム１５は、第１ダイヤフラム１２と同様に、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第２ダイヤフラム１５の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲及び裏面側周囲は、ダイヤフラムホルダ１９及び第２ダイヤフラムホルダ２２に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第２ダイヤフラム１５は、その表面側のベント室１７と裏面側の第２作動気体室１８とを隔絶することができる。尚、第２ダイヤフラム１５の裏面側周囲に第２ダイヤフラムホルダ２２を配置したことにより、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲及び裏面側周囲を各ダイヤフラムホルダ１９，２２に溶接する際、その熱を第２ダイヤフラム１５に蓄熱させ難くすることができる。
【００４５】
作動気体室１６は、カバー２１の開放周縁部をボンネット１４に溶接することによって外部との気密性が確保されている。また、作動気体室１６は、ダイヤフラムホルダ１９によって第２作動気体室１８と連通状態で分割されているが、上述した第２ダイヤフラム１５と各ダイヤフラムホルダ１９，２２との密着（溶接）によってベント室１７との間の気密性が確保されている。
【００４６】
ベント室１７は、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間の密閉空間を利用しており、その第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間の密閉空間をボンネット１４に専用の連通孔を形成すること無く、ステム１３とボンネット１４との間を利用して連通している。この際、ステム１３の外周又はボンネット１４の内周の何れかをスプライン状に凹凸形成しても良い。
【００４７】
第２作動気体室１８は、ダイヤフラムホルダ１９の略中心に形成された連通孔１９ａを介して作動気体室１６と連通されており、ボンネット１４に溶接固定されていることにより、作動気体流路２０を介して供給された作動空気によって第２ダイヤフラム１５を変形させ、ステム１３を図示下方へと変位させる。
【００４８】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とは、弁座１１ｃに対して開弁方向に凸となるように同じ向きで配置されている。従って、ステム１３を図示下方へと変位させて閉弁状態とする際には、作動気体流路２０を介して供給された作動空気、即ち、各作動気体室１６，１８の内圧を高くすることによって第１ダイヤフラム１２が図示下向きに凸となるように変形してステム１３を図示下方へと変位させると同時に、第２ダイヤフラム１５が図示下向きに凸となるように変形して弁座１１ｃを閉弁する。また、これとは逆に、作動気体室１６，１８への作動気体の供給を停止するだけで、各ダイヤフラム１２，１５の復帰力によってステム１３を図示上方へと変位させると同時に開弁状態とすることができる。
【００４９】
第２ダイヤフラムホルダ２２は、主として第２ダイヤフラム１５をダイヤフラムホルダ１９に溶接固定する際に、その熱を吸熱して第２ダイヤフラム１５への蓄熱を抑制するために用いられている。そのため、その大きさ（径方向幅）や厚さ並びに断面形状等は、使用する材料に応じて任意である。
【００５０】
メタルＯリング２３は、バルブボディ１１とボンネット１４との間に介装され、流入出通路１１ａ，１１ｂと外部との間を密閉する機能を果たしている。尚、メタルＯリング２２の材質は、ダイヤフラムバルブ１０の耐用温度に応じて決定することができる。
【００５１】
ポート２５は圧力ガスの供給源に接続され、ポート２６は圧力ガスの放出先（例えば、ＭＯＣＶＤ装置の成膜室）に接続され、ポート２７は作動気体供給源（例えば、エアポンプ等の作動弁やソレノイド等）に接続され、ポート２８は任意の放出器等に接続されている。
【００５２】
これにより、第１ダイヤフラム１２又は第２ダイヤフラム１５が破損した場合であっても、その圧力ガスや作動気体は、ベント室１７からポート２８を経由して任意の放出器等に回収することができ、エミッションフリーに貢献することができる。また、ステム１３の摺動や発熱（例えば、３５０℃以上）に伴って発生する発塵パーティクルを回収することができる。
【００５３】
尚、ダイヤフラムバルブ１０を組み立てる場合、例えば、ボンネット１４に第１ダイヤフラム１２を溶接固定した後、ステム１３をボンネット１４に挿入し、予め第２ダイヤフラム１５を各ダイヤフラムホルダ１９，２２に溶接したユニット状態で、ダイヤフラムホルダ１９とボンネット１４とを溶接固定したうえで、カバー２１とボンネット１４とを溶接固定する。
【００５４】
この際、バルブボディ１１とボンネット１４とは、複数のボルト２４の締結によって結合されているが、これらを溶接によって密閉状態で固定しても良い。
【００５５】
従って、各構成部材をオールメタル構成とすると共にこれらを溶接固定したことと相俟って、本発明のダイヤフラム１０は、例えば、４５０℃の超高温環境下での使用を可能とし得て、エミッションフリーに貢献することができるばかりでなく、その際の外部リークを抑制（例えば、５．０×１０−１２Ｐａ−ｍ３／ｓｅｃ）することができ、次々世代の半導体材料（Ｌａ，Ｙ等）のプロセス開発用や、有機ＥＬ材料（Ａｌｑ３等）の高温昇華型材料の供給系プロセス開発用、航空・宇宙・原子力等の真空環境での高純度流体供給系等の各種分野での使用を可能とすることができる。
【００５６】
このように、本発明のダイヤフラムバルブ１０によれば、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とによってステム１３を挟むように流路１１ａ，１１ｂと作動気体室１６とを隔絶状態で形成すると共に、そのステム１３を含む第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間にベント室１７を形成したことにより、オールメタル構成のダイヤフラムを実現すると共に、密閉性が高く且つエミッションフリーに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの正面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部を省略した底面図である。
【図４】従来のダイヤフラムバルブの一部を省略した要部の断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１…バルブボディ
１１ａ…流入通路
１１ｂ…流出通路
１１ｃ…弁座
１２…第１ダイヤフラム
１３…ステム
１４…ボンネット
１５…第２ダイヤフラム
１６…作動気体室
１７…ベント室
１８…第２作動気体室
１９…ダイヤフラムホルダ
２０…作動気体流路
２１…カバー
２２…第２ダイヤフラムホルダ
２３…メタルＯリング
２４…ボルト
２５…ポート
２６…ポート
２７…ポート
２８…ポート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を遮断若しくは流量調整するバルブであり、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス（液）部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２００７−６４３３３号公報
【０００３】
近年、半導体メモリ装置等の各種半導体装置やＦＰＤ（フラットパネル ディスプレイ）装置を製造するための装置として、例えば、ＭＯＣＶＤ用切替バルブといったように、流体を遮断若しくは流量調整するバルブ、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブの要望がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、このようなダイヤフラムバルブは、特に、Ｌａ（ランタン）やＰｒ（プラセオジム）といったレアメタルを使用したＨｉｇｈ−Ｋ膜や、Ｐｂ（鉛）を使用した強誘電体膜（例えば、ＰＺＴ）等の反応性が高く、高温且つ温度管理が難しい成膜材料の遮断若しくは流量制御に利用されている。
【０００５】
この際、バルブ全体が２５０℃以上（特に、３００℃以上）の高温環境下や真空環境下での利用を考慮した構造を採用した超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブが近年の成膜技術等で用いられている。
【０００６】
図４は、このような高洗浄・高温用のダイヤフラムバルブの一例を示し、圧力ガスの流入通路１ａと流出通路１ｂとが形成されたバルブボディ１と、流入通路１ａの出口に形成された弁座１ｃに対向配置されたダイヤフラム２と、ダイヤフラム２を挟んで弁座１ｃに対向配置されたダイヤフラム変形部材３と、ダイヤフラム変形部材３を摺動可能に保持すると共にダイヤフラム２の裏面側周囲をダイヤフラム変形部材３とは独立して押し付けるダイヤフラム押し付け固定部材４と、ダイヤフラム押し付け固定部材４を保持したボンネット５と、弁駆動部６と、を備え、バルブボディ１とダイヤフラム２とは、ダイヤフラム押し付け固定部材４を介してボンネット５に具備したネジ（図示せず）の出力で押し付けられることによって外部リークを低減するように接続固定されている。
【０００７】
弁駆動部６は、ボンネット５を介してバルブボディ１と接続固定されている。ダイヤフラム２による弁座１ｃの開閉動作は、ダイヤフラム２にダイヤフラム変形部材３を介して弁駆動部６の動作を伝達することで行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、上記の如く構成されたダイヤフラムバルブにあっては、例えば、弁駆動部６で樹脂性部材（例えば、Ｏリング、ゴム製ダイヤフラム、フッ素樹脂を含んだ軸受等）を使用していると、ダイヤフラムバルブとしての耐用温度、即ち、最高使用温度が使用している樹脂性部材の耐熱温度以下となるように低く設定する必要がある。
【０００９】
また、バルブボディ１とダイヤフラム２との間の外部シール部は、外部リークを低減するように接続固定されているが、例えば、３００℃を超える超高温環境化においては部品材料の機械的性質（例えば、線膨張係数、硬度、強度等）の差や変化が大きくなるために、外部リーク性能を維持することが困難であるであるという問題も生じていた。
【００１０】
さらに、ボンネット５の内部及び弁駆動部６の一部は、外部と連通する構造となっており、真空中等のエミッションフリーが必要な環境下での使用が困難であるという問題も生じていた。
【００１１】
また、ダイヤフラム変形部材３とダイヤフラム押し付け固定部材４との摺動部分のパーティクル（発塵）が外部に放出され易いという問題も生じていた。
【００１２】
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができるダイヤフラムバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のダイヤフラムバルブは、圧力ガスの流入通路と流出通路とが形成されたバルブボディと、前記流入通路の出口又は前記流出通路の入口に形成された弁座に対向配置された第１ダイヤフラムと、該第１ダイヤフラムを挟んで一端が前記弁座に対向配置されたステムと、該ステムを摺動可能に保持したボンネットと、前記ステムの他端と対向配置された第２ダイヤフラムと、該第２ダイヤフラムの裏面側に形成されて内圧を可変することによって前記ステムを摺動させて前記第１ダイヤフラムによる前記弁座の開閉を操作する作動気体室と、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとによって前記各流路及び前記作動気体室と隔絶されたベント室と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項１に記載の構成によれば、第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムとによって流入通路と流出通路及び作動気体室と隔絶されたベント室が形成されることにより、経年劣化等によって第１ダイヤフラム又は第２ダイヤフラムが破損した場合であっても、流入出通路に流れる圧力ガスや作動気体室に流れる作動気体はベント室を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第１ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムをメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。
【００１５】
また、請求項２に記載のダイヤフラムバルブは、前記第２ダイヤフラムを密着状態で保持し且つ該第２ダイヤフラムとで前記作動気体室と連通する第２作動気体室を形成するダイヤフラムホルダと、前記ボンネットに形成された作動気体流路と連通する前記作動気体室を前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとで形成するカバーと、を備え、前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとの間を密閉することで前記作動気体室と前記ベント室とが隔絶されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項２に記載の構成によれば、作動気体室を２室に分割して作動気体室周辺の密閉構造（隔絶化）を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。
【００１７】
さらに、請求項３に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとされていることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の構成によれば、メタル製の各ダイヤフラムの変形を一つのステムによって容易に行うことができる。
【００１９】
また、請求項４に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムの直径は前記第２ダイヤフラムの直径よりも小径であることを特徴とする。
【００２０】
請求項４に記載の構成によれば、ステムに対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第１ダイヤフラムによる弁座の開閉圧力を大きく与えることができる。
【００２１】
請求項５に記載のダイヤフラムバルブは、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとは、前記弁座に対して前記第１ダイヤフラムが開弁する方向に凸向きに配置されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項５に記載の構成によれば、ダイヤフラムの凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へとダイヤフラムを容易に復帰させることができる。
【００２３】
しかも、請求項６に記載のダイヤフラムバルブは、前記ボンネットと前記ステムとの間を前記ベント室の一部として利用していることを特徴とする。
【００２４】
請求項６に記載の構成によれば、第１ダイヤフラム側と第２ダイヤフラム側とに位置するベント室をボンネットに別途連通孔を形成すること無くボンネットとステムとの間を利用して連通することができるばかりでなく、ステムの摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室から排出することができる。
【００２５】
請求項７に記載のダイヤフラムバルブは、前記第２ダイヤフラムの表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダが設けられていることを特徴とする。
【００２６】
請求項７に記載のダイヤフラムバルブによれば、第２ダイヤフラムの表裏周囲に各ダイヤフラムホルダが存在することから、各ダイヤフラムホルダの放熱・吸熱効果によって第２ダイヤフラムへの蓄熱を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明のダイヤフラムバルブは、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブについて、図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の断面図、図２は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの正面図、図３は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部を省略した底面図である。
【００３０】
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブ１０は、その構成部材の全てがメタル製（オールメタル）であり、圧力ガスの流入通路１１ａと流出通路１１ｂとが形成されたバルブボディ１１と、流入通路１１ａの出口に形成された弁座１１ｃに対向配置された第１ダイヤフラム１２と、第１ダイヤフラム１２を挟んで一端が弁座１１ｃに対向配置されたステム１３と、ステム１３を摺動可能に保持したボンネット１４と、ステム１３の他端と対向配置された第２ダイヤフラム１５と、第２ダイヤフラム１５の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム１３を摺動させて第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉を操作する作動気体室１６と、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とによって各流路１１ａ，１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７と、を備えている。
【００３１】
このように、第１，第２ダイヤフラム１２，１５によって、流入通路１１ａと流出通路１１ｂ及び作動気体室１６と隔絶されたベント室１７が形成されることにより、経年劣化等によって第１ダイヤフラム１２又は第２ダイヤフラム１５が破損した場合であっても、流入出通路１１ａ，１１ｂに流れる圧力ガス（例えば、プロセスガスや反応ガス）や作動気体室１６に流れる作動気体（例えば、空気）はベント室１７を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第１ダイヤフラム１２及び第２ダイヤフラム１５をメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。
【００３２】
また、第２ダイヤフラム１５を密着状態で保持し且つ第２ダイヤフラム１５とで作動気体室１６と連通する第２作動気体室１８を形成するダイヤフラムホルダ１９と、ボンネット１４に形成された作動気体流路２０と連通する作動気体室１６をボンネット１４とダイヤフラムホルダ１９とで形成するカバー２１と、を備え、ボンネット１４とダイヤフラムホルダ１９との間を密閉することで作動気体室１６とベント室１７とが隔絶されている。
【００３３】
従って、作動気体室１６を第２作動気体室１８とで分割して作動気体室１６の周辺の密閉構造（隔絶化）を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。
【００３４】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとすることにより、メタル製の各ダイヤフラム１２，１５の変形を一つのステム１３によって容易に行うことができる。
【００３５】
また、第１ダイヤフラム１２の直径は第２ダイヤフラム１５の直径よりも小径とすることにより、ステム１３に対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第１ダイヤフラム１２による弁座１１ｃの開閉圧力を大きく与えることができる。
【００３６】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とは、弁座１１ｃに対して第１ダイヤフラム１２が開弁する方向に凸向きに配置することにより、第１ダイヤフラム１２の凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へと第１，第２ダイヤフラム１２，１５を容易に復帰させることができる。
【００３７】
さらに、ボンネット１４とステム１３との間をベント室１７の一部として利用することにより、第１ダイヤフラム１２側と第２ダイヤフラム１５側とに位置するベント室１７をボンネット１４に別途連通孔を形成すること無くボンネット１４とステム１３との間を利用して連通することができるばかりでなく、ステム１３の摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室１７から排出することができる。
【００３８】
しかも、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダ２２を設けることにより、第２ダイヤフラム１５の表裏周囲に各ダイヤフラムホルダ１９，２２が存在することから、各ダイヤフラムホルダ１９，２２の放熱・吸熱効果によって第２ダイヤフラム１５への蓄熱を抑制することができる。
【００３９】
尚、バルブボディ１１とボンネット１４との間は、メタルＯリング２３を配置することによって気密性が確保されると共に、複数のボルト２４によって連結されている。また、流入出通路１１ａ，１１ｂ、ベント室１７、作動気体流路２０は、ポート２５，２６，２７，２８を経由して気体供給・排出される。
【００４０】
以下、本発明のダイヤフラムバルブ１０を詳細に説明する。
【００４１】
バルブボディ１１は、メタル製の一体成形品であり、その底面（図１において）からポート２４が突出され、そのポート２４を含む中心線上に流入通路１１ａが形成されている。また、その側面にはポート２５が突出接続されている。尚、弁座１１ｃは、バルブボディ１１と完全一体でも良いし、他の材質（例えば、ＰＣＴＦＥ，ＰＦＡ，ＰＩ等の耐熱性非金属部材で構成しても良い。この際、弁座１１ｃは第１ダイヤフラム１２よりも硬度の低い材質（例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ等）が好ましい。
【００４２】
第１ダイヤフラム１２は、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第１ダイヤフラム１２の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第１ダイヤフラム１２の裏面側周囲は、ボンネット１４に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第１ダイヤフラム１２は、その裏面側のベント室１７と流入出通路１１ａ，１１ｂとを隔絶することができる。
【００４３】
ボンネット１４は、ステム１３を中心に配置すると共に、その左右対称位置からポート２６，２７を突出接続している。また、作動空気室１６（第２作動気体室１８）とベント室１７とは、第２ダイヤフラム１５の表裏側にそれそれ連通するため、少なくとも、第２ダイヤフラム１５の裏面側周囲とダイヤフラムホルダ１９及びダイヤフラムホルダ１９とボンネット１４とは、密着状態で接続されるのが好ましい。
【００４４】
第２ダイヤフラム１５は、第１ダイヤフラム１２と同様に、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第２ダイヤフラム１５の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲及び裏面側周囲は、ダイヤフラムホルダ１９及び第２ダイヤフラムホルダ２２に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第２ダイヤフラム１５は、その表面側のベント室１７と裏面側の第２作動気体室１８とを隔絶することができる。尚、第２ダイヤフラム１５の裏面側周囲に第２ダイヤフラムホルダ２２を配置したことにより、第２ダイヤフラム１５の表面側周囲及び裏面側周囲を各ダイヤフラムホルダ１９，２２に溶接する際、その熱を第２ダイヤフラム１５に蓄熱させ難くすることができる。
【００４５】
作動気体室１６は、カバー２１の開放周縁部をボンネット１４に溶接することによって外部との気密性が確保されている。また、作動気体室１６は、ダイヤフラムホルダ１９によって第２作動気体室１８と連通状態で分割されているが、上述した第２ダイヤフラム１５と各ダイヤフラムホルダ１９，２２との密着（溶接）によってベント室１７との間の気密性が確保されている。
【００４６】
ベント室１７は、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間の密閉空間を利用しており、その第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間の密閉空間をボンネット１４に専用の連通孔を形成すること無く、ステム１３とボンネット１４との間を利用して連通している。この際、ステム１３の外周又はボンネット１４の内周の何れかをスプライン状に凹凸形成しても良い。
【００４７】
第２作動気体室１８は、ダイヤフラムホルダ１９の略中心に形成された連通孔１９ａを介して作動気体室１６と連通されており、ボンネット１４に溶接固定されていることにより、作動気体流路２０を介して供給された作動空気によって第２ダイヤフラム１５を変形させ、ステム１３を図示下方へと変位させる。
【００４８】
この際、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とは、弁座１１ｃに対して開弁方向に凸となるように同じ向きで配置されている。従って、ステム１３を図示下方へと変位させて閉弁状態とする際には、作動気体流路２０を介して供給された作動空気、即ち、各作動気体室１６，１８の内圧を高くすることによって第１ダイヤフラム１２が図示下向きに凸となるように変形してステム１３を図示下方へと変位させると同時に、第２ダイヤフラム１５が図示下向きに凸となるように変形して弁座１１ｃを閉弁する。また、これとは逆に、作動気体室１６，１８への作動気体の供給を停止するだけで、各ダイヤフラム１２，１５の復帰力によってステム１３を図示上方へと変位させると同時に開弁状態とすることができる。
【００４９】
第２ダイヤフラムホルダ２２は、主として第２ダイヤフラム１５をダイヤフラムホルダ１９に溶接固定する際に、その熱を吸熱して第２ダイヤフラム１５への蓄熱を抑制するために用いられている。そのため、その大きさ（径方向幅）や厚さ並びに断面形状等は、使用する材料に応じて任意である。
【００５０】
メタルＯリング２３は、バルブボディ１１とボンネット１４との間に介装され、流入出通路１１ａ，１１ｂと外部との間を密閉する機能を果たしている。尚、メタルＯリング２２の材質は、ダイヤフラムバルブ１０の耐用温度に応じて決定することができる。
【００５１】
ポート２５は圧力ガスの供給源に接続され、ポート２６は圧力ガスの放出先（例えば、ＭＯＣＶＤ装置の成膜室）に接続され、ポート２７は作動気体供給源（例えば、エアポンプ等の作動弁やソレノイド等）に接続され、ポート２８は任意の放出器等に接続されている。
【００５２】
これにより、第１ダイヤフラム１２又は第２ダイヤフラム１５が破損した場合であっても、その圧力ガスや作動気体は、ベント室１７からポート２８を経由して任意の放出器等に回収することができ、エミッションフリーに貢献することができる。また、ステム１３の摺動や発熱（例えば、３５０℃以上）に伴って発生する発塵パーティクルを回収することができる。
【００５３】
尚、ダイヤフラムバルブ１０を組み立てる場合、例えば、ボンネット１４に第１ダイヤフラム１２を溶接固定した後、ステム１３をボンネット１４に挿入し、予め第２ダイヤフラム１５を各ダイヤフラムホルダ１９，２２に溶接したユニット状態で、ダイヤフラムホルダ１９とボンネット１４とを溶接固定したうえで、カバー２１とボンネット１４とを溶接固定する。
【００５４】
この際、バルブボディ１１とボンネット１４とは、複数のボルト２４の締結によって結合されているが、これらを溶接によって密閉状態で固定しても良い。
【００５５】
従って、各構成部材をオールメタル構成とすると共にこれらを溶接固定したことと相俟って、本発明のダイヤフラム１０は、例えば、４５０℃の超高温環境下での使用を可能とし得て、エミッションフリーに貢献することができるばかりでなく、その際の外部リークを抑制（例えば、５．０×１０−１２Ｐａ−ｍ３／ｓｅｃ）することができ、次々世代の半導体材料（Ｌａ，Ｙ等）のプロセス開発用や、有機ＥＬ材料（Ａｌｑ３等）の高温昇華型材料の供給系プロセス開発用、航空・宇宙・原子力等の真空環境での高純度流体供給系等の各種分野での使用を可能とすることができる。
【００５６】
このように、本発明のダイヤフラムバルブ１０によれば、第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５とによってステム１３を挟むように流路１１ａ，１１ｂと作動気体室１６とを隔絶状態で形成すると共に、そのステム１３を含む第１ダイヤフラム１２と第２ダイヤフラム１５との間にベント室１７を形成したことにより、オールメタル構成のダイヤフラムを実現すると共に、密閉性が高く且つエミッションフリーに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの正面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部を省略した底面図である。
【図４】従来のダイヤフラムバルブの一部を省略した要部の断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１…バルブボディ
１１ａ…流入通路
１１ｂ…流出通路
１１ｃ…弁座
１２…第１ダイヤフラム
１３…ステム
１４…ボンネット
１５…第２ダイヤフラム
１６…作動気体室
１７…ベント室
１８…第２作動気体室
１９…ダイヤフラムホルダ
２０…作動気体流路
２１…カバー
２２…第２ダイヤフラムホルダ
２３…メタルＯリング
２４…ボルト
２５…ポート
２６…ポート
２７…ポート
２８…ポート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力ガスの流入通路と流出通路とが形成されたバルブボディと、前記流入通路の出口又は前記流出通路の入口に形成された弁座に対向配置された第１ダイヤフラムと、該第１ダイヤフラムを挟んで一端が前記弁座に対向配置されたステムと、該ステムを摺動可能に保持したボンネットと、前記ステムの他端と対向配置された第２ダイヤフラムと、該第２ダイヤフラムの裏面側に形成されて内圧を可変することによって前記ステムを摺動させて前記第１ダイヤフラムによる前記弁座の開閉を操作する作動気体室と、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとによって前記各流路及び前記作動気体室と隔絶されたベント室と、を備えることを特徴とするダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
前記第２ダイヤフラムを密着状態で保持し且つ該第２ダイヤフラムとで前記作動気体室と連通する第２作動気体室を形成するダイヤフラムホルダと、前記ボンネットに形成された作動気体流路と連通する前記作動気体室を前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとで形成するカバーと、を備え、前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとの間を密閉することで前記作動気体室と前記ベント室とが隔絶されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとされていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
前記第１ダイヤフラムの直径は前記第２ダイヤフラムの直径よりも小径であることを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項５】
前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとは、前記弁座に対して前記第１ダイヤフラムが開弁する方向に凸向きに配置されていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項６】
前記ボンネットと前記ステムとの間を前記ベント室の一部として利用していることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項７】
前記第２ダイヤフラムの表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１】
圧力ガスの流入通路と流出通路とが形成されたバルブボディと、前記流入通路の出口又は前記流出通路の入口に形成された弁座に対向配置された第１ダイヤフラムと、該第１ダイヤフラムを挟んで一端が前記弁座に対向配置されたステムと、該ステムを摺動可能に保持したボンネットと、前記ステムの他端と対向配置された第２ダイヤフラムと、該第２ダイヤフラムの裏面側に形成されて内圧を可変することによって前記ステムを摺動させて前記第１ダイヤフラムによる前記弁座の開閉を操作する作動気体室と、前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとによって前記各流路及び前記作動気体室と隔絶されたベント室と、を備えることを特徴とするダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
前記第２ダイヤフラムを密着状態で保持し且つ該第２ダイヤフラムとで前記作動気体室と連通する第２作動気体室を形成するダイヤフラムホルダと、前記ボンネットに形成された作動気体流路と連通する前記作動気体室を前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとで形成するカバーと、を備え、前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとの間を密閉することで前記作動気体室と前記ベント室とが隔絶されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとされていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
前記第１ダイヤフラムの直径は前記第２ダイヤフラムの直径よりも小径であることを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項５】
前記第１ダイヤフラムと前記第２ダイヤフラムとは、前記弁座に対して前記第１ダイヤフラムが開弁する方向に凸向きに配置されていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項６】
前記ボンネットと前記ステムとの間を前記ベント室の一部として利用していることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項７】
前記第２ダイヤフラムの表面側周囲には、環状の第２ダイヤフラムホルダが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載のダイヤフラムバルブ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−１２１７０３（Ｐ２０１０−１２１７０３Ａ）
【公開日】平成２２年６月３日（２０１０．６．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２９５６２６（Ｐ２００８−２９５６２６）
【出願日】平成２０年１１月１９日（２００８．１１．１９）
【出願人】（５０４４２９９８７）株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン (7)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年６月３日（２０１０．６．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１１月１９日（２００８．１１．１９）
【出願人】（５０４４２９９８７）株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン (7)
【Ｆターム（参考）】
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