【課題】プランジャー一体型弁を備えるバルブ装置の信頼性を向上させるとともに、プランジャー一体型弁の製造コストを低減することを目的とする。
【解決手段】第２キャビティ６とプランジャー収容部７との間には、周方向に連続する環状の面であり、本体部１１１ａの先端面１１１ｅと全周に渡って当接する段差面２ｊが形成されている。本体部１１１ａをプランジャー収容部７に収納させるとともに、取付部１１１ｂを第２キャビティ６に収納させ、本体部１１１ａの先端面１１１ｅを全周に渡って段差面２ｊに押圧させた状態で、保持金型２と基金型１とを一体にし、第１キャビティ５及び第２キャビティ６に弁体の原料９０を充填させて、本体部１１１ａの外周面側への原料９０の漏出を抑制しつつ、取付部１１１ｂに弁体１１２を一体成形することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動部側の内圧が変化した場合、または、弁室側の圧力が変化した場合にも、これらの圧力変化を抑えることができ、圧力変化による弁の作動特性への影響を抑えることが可能で、しかも、弁体の駆動機構であるプランジャーに水分が付着して凍結して、弁機能が阻害されるのを効果的に防止することができる制御弁を提供する。
【解決手段】弁体５２には、弁室２０と駆動部２２とを気密に分離するための分離膜部材が装着され、分離膜部材の分離膜部５４は、平坦な平面を有する固定部材６０に当接しており、分離膜部材の弁体部５６と分離膜部との間に、圧力変化によって半径方向に伸縮自在な感圧部５１を形成した。 （もっと読む）

【課題】流体の流通を切り替えた際に入口ポートから流入する流体を比重によって分離可能とし得る流体切替弁を実現する。
【解決手段】このため、流体の流通を第１出口ポート側に切り替える場合に、駆動機構を構成するソレノイド２６を非励磁状態とし、スプリングの付勢力により第１ダイヤフラム４６を第１中間路４２から離間する方向に移動させるとともに、第２ダイヤフラム５１を第２中間路に接近する方向に移動させ、第１入口分岐ポート部３８と第１出口ポートとを連通するように切り替え、流体の流通を第２出口ポート側に切り替える場合には、駆動機構を構成するソレノイドを励磁状態とし、第１ダイヤフラムを第１中間路に近接する方向に移動させ、第２ダイヤフラムを第２中間路から離間する方向に移動させ、第２入口分岐ポート部３９と第２出口ポートとを連通するように切り替える流体切替弁とした。 （もっと読む）

【課題】高分子駆動器を含む微小バルブ構造体及びラボオンチップモジュールを提供する。
【解決手段】微小バルブ構造体は基板１０上に配置される柔軟構造物２０及び柔軟構造物２０内に挿入される高分子駆動器４０を含むことができる。この時、柔軟構造物２０は微小流路３５を定義するバルブ部２５を有し、高分子駆動器４０は柔軟構造物２０によって微小流路３５から分離される。さらに、高分子駆動器４０はバルブ部２５の変位を制御することによって、微小流路３５の幅を変化させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】弁体の微小な反りによって弁機能が損なわれることを防止した弁構造、および、弁構造の製造方法の提供を図る。
【解決手段】圧電弁構造１は、弁室天板２と上壁面板３と弁体板５と下壁面板６と弁室底板７とを備える。弁室天板２は、弁室の天面を構成し、流路口１６が形成される。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面から立設する弁室の壁面を構成する。弁体板５は、梁状部１１を備え、梁状部１１は上壁面板３と下壁面板６に支持される。弁体板５は、変形力の非作用時に弁座４を介して流路口１６を閉鎖し、変形力の作用時に流路口１６を開放する。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面側で弁体板５の梁状部１１が撓む方向の力を弁体板５にかける。 （もっと読む）

ダイヤフラムバルブの動作を向上させる新規の特徴には、バルブ本体内にダイヤフラムをよりしっかりと固定する特殊なダイヤフラム形状と、ダイヤフラムをダイヤフラムのアクチュエータに結合するための迅速な接続という特徴とが含まれる。ここで、アクチュエータの前方端が、傾斜面と、拡径先端部と、肩部とを含む一方、ダイヤフラムは相補的な形状の切頂形ボアを含む。バルブは、相互接続された流体流路からの選択能を提供するように、バルブを別のバルブまたは構成要素に極めて近接させて機器パネルに取り付けることを許容するモジュール構造であってもよい。

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【課題】
ゴミ、不純物等がバルブ弁に滞留し難く、これの分解清掃をするメンテナンス期間の延長を図ることができるバルブ又は原料ガスの再凝縮によるバルブでのフレークあるいはパーティクルの発生を抑止することができるバルブおよびこれを用いた半導体製造装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、バルブの入力ポートに供給される流体をサイクロン流に変えるサイクロン流生成部材を入力ポートに設けられあるいは入力ポートと弁部材との間に設けることで、開閉動作をする弁部材にサイクロン流を供給する。凹凸部分が多い弁部分が開閉されるバルブでのゴミ、不純物等の付着をサイクロン流により防止し、かつ、サイクロン流でバルブの内部の清掃を行うことができ、さらにはサイクロン流により弁部材によるバルブ開閉時の動的圧力変化を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、基板１０の第１の主面１０ａ上に、第１のマイクロ流路１１の端部１１ａを覆うように粘着している第１のガス発生フィルム１７ｅと、第１のマイクロ流路１１の端部１１ｂと、第２のマイクロ流路１５の端部１５ａとを覆うように粘着している第２のガス発生フィルムと、第１のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第１の外部刺激付与機構２０ａと、第２のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第２の外部刺激付与機構２０ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型な複合弁を提供すること
【解決手段】パイロット機構３と手動機構４を備える複合弁において、手動機構４は、連通流路４６ｃが形成された鍔部４６ｄを有し、ハウジング１８は、軸方向に設けられて手動機構４を回転自在に保持する保持孔１８ａと、保持孔１８ａより大径に設けられて鍔部４６ｅを定位置に収納する収納開口部１８ｂとを有し、操作ポート３４が保持孔１８ａに対応する位置に設けられて継手３５を内蔵すると共に、排気ポート３８が収納開口部１８ｂの内壁に開口しており、操作ポート３４と連通流路４６ｅとを導通させる導通流路Ｓ１を、ハウジング１８と手動機構４との間に形成する第１シール手段４８，５３，５４と、排気ポート３８が収納開口部１８ｂの内壁に開口する開口部分を、導通流路Ｓ１から遮断する第２シール手段３９と、を有する。 （もっと読む）