【課題】
本発明は、真空ポンプの再生のためによる装置稼働率の低下を防止できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内を所定の真空度にし、該所定の真空度を維持し、前記所定の真空度を有する前記チャンバ内で所定の処理をする真空処理装置または真空処理方法であって、再生処理が必要な複数台の真空ポンプで前記所定の真空度を得、複数台の前記真空ポンプのうち少なくとも１台の第１の真空ポンプと前記真空チャンバとを隔離し、前記隔離された前記真空ポンプの再生処理を行ない、複数台の前記真空ポンプのうち前記第１の真空ポンプでない他の前記真空ポンプのうち少なくとも1台の第２の前記真空ポンプで前記真空チャンバの前記所定の真空度を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】容器５１と、容器５１の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体５２と、容器５１の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体５２を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ５４とを有する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの冷凍機の逆転昇温による昇温能力を高める。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、クライオパネル６０の冷却運転とクライオパネル６０の再生のための昇温運転とを行うための冷凍機５０を備えるクライオポンプ１０と、冷凍機５０に作動気体を供給するための圧縮機５２と、を備え、冷却運転よりも昇温運転において圧縮機５２の供給作動気体温度を高くする。圧縮機５２は、冷凍機５０に供給する作動気体を冷却するための熱交換器と、熱交換器を迂回するバイパス路と、を含んでもよい。制御部２０は、冷凍機５０の運転状態に応じて、熱交換器を経由する流路とバイパス路を経由する流路とを切り替えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 低温付着物の蓄積空間を最大化し、迅速な圧力回復を達成すること。
【解決手段】クライオポンプは、第１段熱ステーションと、第１段熱ステーションよりも低温に冷却される第２段熱ステーションと、を有する冷凍機と、第１段熱ステーションと熱的に接続した第１段クライオパネル組立体と、第２段熱ステーションと熱的に接続した第２段クライオパネル組立体と、第１段クライオパネル組立体及び第２段クライオパネル組立体を収容するハウジングと、第２段クライオパネル組立体に捕集された付着物を外部に排出するベントバルブ組立体と、を備え、ベントバルブ組立体は、リリーフバルブと、Ｏリングシールと、フィンと、を有する。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】クライオパネルの長寿命化を実現し、パネル交換等のメンテナンス作業負担を軽減する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、第１及び第２の気体を含む被排気気体を吸着剤に吸着することで排気するクライオポンピング処理と、吸着された気体を吸着剤から脱着して排出する再生処理とを交互に行う。クライオポンプ１０は、第１の吸着剤５０と第２の吸着剤５２とを備える。第１の吸着剤５０は、吸着された第１及び第２の気体のうち再生処理での残留割合が大きい気体の単位重量当たり吸着量が、該残留割合が小さいほうの気体の単位重量当たり吸着量よりも大きい。第２の吸着剤５２は、吸着された第１及び第２の気体のうち再生処理での残留割合が大きい気体の単位重量当たり吸着量が、該残留割合が小さいほうの気体の単位重量当たり吸着量よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】大量の水を排気する場合にクライオポンプ稼動時の排気能力や冷却能力が低下するのを防止し、クライオポンプ再生時間を短縮し、長時間の使用を可能にするクライオポンプを提供する。
【解決手段】このクライオポンプは、クライオポンプ容器１４と、冷凍機１５と、クライオポンプ容器の内部に設けられかつ冷凍機の冷却ステージに接続される輻射シールド１８と、輻射シールド１８の開口部に設けられるルーバー２０とを備え、輻射シールド１８の外側に、水をクライオポンプ容器１４の外側に排出する貯水部３２を設けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０はカバー１２によって覆われている。カバー１２とゲッター膜１０との間には隙間１３があり、その隙間１３は開放されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はクライオポンプに関し、再生効率の向上を図ることを課題とする。
【解決手段】 冷凍機５と、ライオパネル１０と、有底状のシールド９と、真空容器４と、前記シールド９及びクライオパネル１０を昇温する機構と、真空容器４内のガスを真空容器４内から排出するベントバルブ２１とを有するクライオポンプであって、シールド９の底部とベントバルブ２１とを連通する液体排出管３０と、真空容器４の内部圧力を検出する圧力センサ２０と、前記内部圧力が大気圧以上の時にベントバルブ２１を開弁することによりシールド９の底部に溜まった液状ガス２６を液体排出管３０を介してベントバルブ２１に排出するコントローラ１７とを設ける。 （もっと読む）