【課題】高価な質量流量制御器を使用せずに、導入ガスを大量に消費することがなく、真空容器内の圧力を制御することができる真空装置及び真空装置の真空容器内の圧力制御方法を提供する
【解決手段】真空装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部の圧力を測定する真空計３と、真空容器２を真空排気する第１真空ポンプ４と、コンダクタンスバルブ５と、コンダクタンスバルブ５を介して真空容器２に接続される第２真空ポンプ６と、真空容器２にガスを供給するガス供給手段７と、真空計３の出力に基づいて真空容器２の内部の圧力を制御圧力に制御する制御装置８と、を備えている。第２真空ポンプ６は、内部の圧力が真空容器２の内部の圧力（制御圧力）よりも高くなるように選定されたドライ真空ポンプであり、ガス供給手段７により供給されるガスが、ポンプ内部で排気口６ｂから吸気口６ａに向かって流通可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】感圧制御弁において、簡単な加工で製造でき、軽量化を図るようにする。
【解決手段】本体ケース１１にベローズケース１２をかしめ結合する。ベローズ収容室１２Ａ内に、ベローズガイド１４を備えた感圧用ベローズ１３を配設する。感圧用ベローズ１３に電磁コイル装置１０のプランジャ１０ｂを取り付ける。感圧用ベローズ１３の伸縮により、弁部材１６を変位させ、弁ポート１１ｂを開閉して圧縮機の容量制御を行う。ベローズ収容室１２Ａを形成するベローズ収容函１２ａとプランジャ１０ｂを内挿するプランジャケース１２ｂを、ステンレス板のプレス加工により一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】真空引き開始時に真空排気装置にかかる負荷を低減し、駆動音を抑制する真空排気方法を提供する。
【解決手段】真空引きの際に、真空排気装置の排気ガス流量、真空排気装置の電流値、真空排気装置の駆動音のモニター値を使い圧力制御板部を制御することにより、これらの値の経時変化を新排気シーケンス線１７に示す上昇工程２０、水平工程２１、下降工程２２の３工程からなる排気シーケンスにそって排気を制御する。 （もっと読む）

【課題】感圧部がボディの内部に設けられるタイプのいわゆるＰｓ感知式の可変容量圧縮機用制御弁において、その感圧部の駆動力の設定値を外部から容易に調整可能とする。
【解決手段】制御弁１においては、一端側からクランク室に連通するポート１２、吐出室に連通するポート１４、吸入室に連通するポート１６が設けられたボディ５と、ボディ５の他端側に設けられ、供給される電流量に応じて主弁体１８を閉弁方向に駆動するためのソレノイド力を調整可能なソレノイド３と、ボディ５とソレノイド３とに囲まれる内部空間に設けられ、感圧部材の変位によりソレノイド力に対抗する駆動力を主弁体１８へ付与可能なパワーエレメント４と、一端部がボディ５の一端側に固定されるとともに他端側がパワーエレメント４に連結され、その一端部の固定位置を調整することによりパワーエレメント４による駆動力が調整可能となるシャフト２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】運転効率を向上させることが可能な空気圧縮機を提供する。
【解決手段】空気圧縮機１の制御部１５１は、２つの高圧用カプラと２つの常圧用カプラが接続する各空気通路に設けられた流量センサ１３７ａ〜１３７ｄにより検出された圧縮空気の流量から、使用されているカプラの種類とその個数を検出する。そして、検出したカプラの種類とその個数と、圧力センサ１３３が検出した１次タンク内圧力の圧力降下率とに基づいて、開閉設定ＤＢ１５１ｅに記憶された開閉弁１３２の開閉状態を取得する。そして、制御部１５１は、取得した開閉状態に基づいて、１次タンクと２次タンクとの間に設けられた開閉弁１３２の開閉を制御する。 （もっと読む）

【課題】吐出室を跨いで吸入室まで延設される吸入通路の断熱と、吸入通路の開度調整とを、簡便な構造で行える圧縮機を提供する。
【解決手段】圧縮機１００のシリンダヘッド１０４には、駆動軸１０６の軸線の延長線上に配設した吸入室１１９、吸入室１１９を囲む環状に配設した吐出室１２０、及び、吐出室１２０の径方向の外側から吐出室１２０を跨いで吸入室１１９にまで延設される連絡路１０４ｂが形成される。連絡路１０４ｂには、連絡路１０４ｂの開度を冷媒流量に応じて調整する開度調整弁２５０を配置してある。開度調整弁２５０は、断熱材料で円筒状に形成され連通路１０４ｂに内挿される通路形成部材２５４と、この通路形成部材２５４の下流側に係止される弁ハウジング２５３と、弁ハウジング２５３内に収容される弁体２５１と、弁体２５１を閉弁方向に向けて付勢する圧縮コイルバネ２５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧縮機の体格を増大させることなく、かつ、簡素な構造で、吸入室への液戻りを抑制できる圧縮機を提供する。
【解決手段】吸入通路１０４ｃを構成する連通路１０４ｂ内に、開度調整弁２５０を配置する。開度制御弁２５０は、吸入通路１０４ｃの開度を調整すると共に、流体入口から流体出口までの流体流路が、連通路１０４ｂの軸線付近から径方向外側に向けて延設されることで、開度調整弁２５０を通過する冷媒は、径方向外側に向けて偏向する。一方、連通路１０４ｂは吐出室１２０を跨いで延設され、連通路１０４ｂと吐出室１２０とを仕切る仕切り壁１０４ｄを吐出室１２０側に膨出させてあり、これによって、吐出室１２０内の高温冷媒と連通路１０４ｂ内の冷媒とが熱交換を行う面積を増大させている。そして、吸入冷媒を仕切り壁１０４ｄに向けて偏向させることで、前記熱交換を促進し、吸入した液冷媒をガス化する （もっと読む）

【課題】再起動時の吐出圧のレスポンスを良好なものとすることが出来ると共に、筐体にかかる負荷を低減して、良好なシール性能を維持出来、製造コストの増大を抑制出来る可変容量コンプレッサを提供する。
【解決手段】クランク室７に導入される吐出圧Ｐｄを、弁体としての弁本体１ｃと、弁座１ｂとの間隙の開閉塞によって、制御するコントロールバルブ３０を有して、調整された吐出圧Ｐｄをクランク室７内に導入することによって、クランク圧Ｐｃと、吸入圧Ｐｓとの差圧を増大させて、斜板５の傾斜角度αを無くして、ピストン１８をデストローク状態とすることが可能な可変容量コンプレッサである。
コントロールバルブ３０には、クランク室７に導入される吐出圧Ｐｄを、最適化するように、弁体の開閉量を制御するソレノイドバルブコントローラ４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧縮機を冷却して加熱された油からの排熱回収を可能にすると共に、排熱回収機器の負荷状況が変動しても圧縮機の温度変動を抑える。
【解決手段】油冷式ガス圧縮機は、圧縮機本体３と、圧縮ガスから油を分離する油分離器６と、この油分離器で油を分離された圧縮ガスを需要先に送るためのガス配管８と、前記油分離器で分離された油を前記圧縮機に戻すための油配管７を備える。また、前記油を冷却するための空冷熱交換器１３と、この空冷熱交換器に冷却風を送るための回転数制御可能な冷却ファン１４と、前記空冷熱交換器の上流側に設けられ、前記油配管を流れる油から熱回収するための排熱回収熱交換器１０を備え、前記冷却ファンは前記圧縮機本体から吐出される圧縮ガスの温度が所定の範囲になるように回転数制御される。 （もっと読む）

【課題】弁口内周縁部の摩耗、浸食等を効果的に抑制できる可変容量型圧縮機用制御弁を提供する。
【解決手段】弁体部１５ａを有する弁棒１５と、該弁棒１５が摺動自在に嵌挿される案内孔１９と前記弁体部１５ａが接離する弁口２２が設けられた弁室２１とを有し、前記弁口２２より上流側に吐出圧冷媒導入口２５が設けられるとともに、前記弁口２２より下流側に前記圧縮機のクランク室に連通する冷媒導出口（２４、２６）が設けられた弁本体２０とを備え、冷媒が前記弁口２２を出るとき分流されないように、前記冷媒導出口は、前記弁口２２の直下流に設けられた単一の導出室２４と、該導出室２４と当該弁外とを連通する複数本の連通孔２６とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】特に弁棒の軸部と案内孔との間に形成される摺動面間隙に異物が詰まらないようにでき、もって異物に起因する弁棒の作動不良等を生じ難くされた可変容量型圧縮機用の制御弁を提供する。
【解決手段】ガイド圧入穴５５は、下から順に、大径穴部５５ａ、円錐面部５５ｂ、及び小径穴部５５ｃを有し、筒状ガイド５４は、下から順に、前記大径穴部５５ａに圧入される圧入部５４ａ、該圧入部５４ａより小径の中間部５４ｂ、前記円錐面部５５ｂにその外周角部５４ｅが全周にわたって実質的に線接触せしめられるショルダー部５４ｃ、及び小径部５４ｄを有し、下側案内孔１９Ｂに対する下側軸部１５ｅの摺動部（Ｌｂ部分）が軸方向で見て前記圧入部５４ａ（Ｌａ部分）とはオーバーラップしないようにされている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、可変容量圧縮機を効果的に動作させることができる容量制御弁を提供することを課題とする。
【解決手段】カークーラーの冷凍サイクルに組み込まれる可変容量圧縮機に取り付けられる容量制御弁１は、圧縮機の調圧室と吐出室を連絡した流路を開閉する弁体１２を有し、圧縮機の吸入室の圧力Ｐｓが予め設定したしきい値より低くなった場合、または圧縮機の吐出室の圧力Ｐｄが予め設定した別のしきい値を超えて高くなった場合、弁体１２を開いて調圧室の圧力Ｐｃを吐出室の圧力Ｐｄと同じ圧力まで上昇させる。 （もっと読む）

【課題】制御圧室から吸入圧領域へ冷媒を排出する制御弁の応答性の低下を回避する。
【解決手段】弁収容室５３の大径室５３２には弁座形成リング５４が収容されている。弁座形成リング５４の端面は、小径室５３１と大径室５３２との段差５３３に接合可能である。弁収容室５３には弁体５５が弁座形成リング５４のリング内を貫通するように収容されている。弁体５５は、弁座形成リング５４のリング内を貫通して小径室５３１に延出する第１弁部５６と、大径室５３２内で第１弁部５６に嵌合して固定された第２弁部５７とから構成されている。第１弁部５６は、弁孔６１が開口する底面５９１に接離し、第２弁部５７は、弁座形成リング５４に接離する。第２弁部５７の外周面と大径室５３２の内周面５３４との間には第２弁部５７を一周する環状間隙５８が設けられている。また、弁孔６１、排出室５９，通路６２は冷媒を吸入室へ排出する排出通路を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気体の純度の低下や湿度の上昇を防止しつつ起動負荷を軽減させた圧縮機を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明における圧縮機は、一次圧縮がなされた圧縮流体を圧縮機本体に供給し昇圧する圧縮機において、前記圧縮機本体の起動時に前記一次圧縮がなされた圧縮流体を減圧して前記圧縮機本体に供給することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】間欠的なエアブローを必要とする端末装置を有する設備であっても、ブロワにより低圧空気を供給することができ、設備の省エネルギー化を図ることができる低圧空気供給システム及び低圧空気供給方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る低圧空気供給システムは、低圧空気を使用する複数の端末装置Ｕに低圧空気を供給する低圧空気供給システムであって、端末装置Ｕの上部に配置され少なくとも一つの環状経路を有するループ配管１と、ループ配管１に接続され低圧空気を生成する複数のブロワ２と、ループ配管１から個々の端末装置Ｕに低圧空気を供給する複数の枝管３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】容量可変型圧縮機の吐出容量をより精度よく制御可能な容量制御弁を提供する。
【解決手段】本発明の容量制御弁は、容量可変型圧縮機の吐出室５ｂとクランク室９とを接続する通路４ｆ、４ｅ、４ｂ、４ｄに弁座ＶＳと弁体ＶＢとが設けられ、ＰＷＭ制御によって弁座ＶＳと弁体ＶＢとの間で通路４ｆ、４ｅ、４ｂ、４ｄの開度を変更してクランク室９の圧力を変更しうる。弁座ＶＳと弁体ＶＢとの間には、通路４ｆ、４ｅ、４ｂ、４ｄの開度が小さい時に弁座ＶＳと弁体ＶＢとの衝突により発生する、弁座ＶＳと弁体ＶＢとの反発を抑制する制振手段としての制振部材２２が備えられている。 （もっと読む）

【課題】両頭のピストンを採用したリニア電動式圧縮機を備えた冷凍回路において、吐出容量を変更可能であるとともに、消費電力を低減可能にする。
【解決手段】本発明の冷凍回路では、リニア電動式圧縮機１００のピストン２７は、第２スペーサ４３ａと第１ばね座７０ａとの間に第１背圧室７１が設けられており、第２スペーサ４３ｂと第２ばね座７０ｂとの間に第２背圧室７３が設けられている。第１、２背圧室７１、７３は、配管１０５と接続されて高圧を供給可能な第１、２高圧開閉弁１０９ａ、１１１ａと、配管１０８と接続されて低圧を供給可能な第１、２低圧開閉弁１１０ａ、１１２ａとに接続されている。 （もっと読む）

【課題】極めて小型且つ簡易な構造で、フリーピストンの往復動作をより安定化させ、気体の作動流体の膨張仕事を圧縮仕事に変換するとともに発電出力を取得することができる往復動型膨張圧縮機を提供する。
【解決手段】往復動型膨張圧縮機１は、シリンダー２と、該シリンダー２に往復動可能に収容されシリンダー２を膨張部３及び圧縮部４に区画するフリーピストン５と、膨張部３と連通し流路の開閉を行う高圧吸入弁ＶＨ１及び低圧吐出弁ＶＬ１と、圧縮部４と連通し流路の開閉を行う低圧吸入弁ＶＬ２及び高圧吐出弁ＶＨ２とを備え、膨張部３における高圧の冷媒の膨張仕事を圧縮部４における低圧の冷媒の圧縮仕事に変換する。フリーピストン５の外周部に設けられたモータ可動子１１と、モータ可動子１１の外周側に配置されたモータ固定子１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁口をポンチで縮径する等の面倒な作業を必要とせずに、吐出圧力Ｐｄに対して吸入圧力Ｐｓが水平ないし右肩下がりとなる特性を持たせることができるとともに、プランジャに偏心孔を設けずとも弁棒とプランジャとを直結することができ、もって、加工組立の簡易化、低コスト化等を効果的に図ることのできる可変容量型圧縮機用制御弁及びその組立方法を提供する。
【解決手段】弁棒１５が、案内孔１９に摺動自在に嵌挿される管状部材１５Ａと、弁口をその下側から開閉する弁体部１５ａ、中間小径部１５ｂ、及び管状部材１５Ａに内嵌固定される小径内嵌部１５ｕを有する棒状部材１５Ｂとの２部材で構成されて、プランジャ３７に実質的に直結されている。 （もっと読む）

【課題】 感圧ユニットをソレノイドユニットに内蔵した簡素な構造の制御弁及び制御弁を提供する。
【解決手段】 流体通路を開閉制御する制御弁であって、外部から流体の圧力による力を受け、その力の変化に応じて伸縮自在に変位するベローズを有する感圧ユニットと、ベローズの伸縮動作に応じて流体通路を開閉する弁体と、感圧ユニットを内部に収容し、感圧ユニットに電磁力を作用させるソレノイドユニットとを備え、感圧ユニットは、ベローズの一端に強磁性材料で形成された可動端部を、ベローズの他端に強磁性材料で形成された固定端部を有し、ベローズの内部において、可動端部と固定端部が所定の隙間を隔てて対峙し、可動端部と固定端部がソレノイドユニットの磁気回路を形成する。 （もっと読む）