【課題】油圧シリンダと同等の性能を発揮しつつも小型化及び軽量化することのできるアクチュエータを提供する。
【解決手段】シリンダ部２１の作動油が充填されたボア２０を閉塞する閉塞部２３に挿通された回転軸４を備え、ピストン部３１は、軸挿入穴３００に向けて開放したプランジャ内装穴３０１が周方向に間隔をあけて複数穿設されて各プランジャ内装穴３０１にプランジャ３０２及びプランジャ付勢手段３０３が内装され、且つ、一端側で開口してプランジャ内装穴３０１に連通する第一流路３０４、及び、他端側で開口してプランジャ内装穴３０１に連通する第二流路３０５がプランジャ３０２に対応して複数設けられ、第一流路３０４及び第二流路３０５のそれぞれに逆止弁が内装され、回転軸４は軸挿入穴３００に挿入されて回転中心に対してずれた位置に軸心がある偏心軸部４０を備えている。 （もっと読む）

本発明は、その都度、シリンダ（１）の１つにおけるピストンの移動が他のシリンダ（１）の少なくとも１つにおけるピストンの移動という結果（順次制御）をもたらすように、２つ以上の液圧シリンダ（１）のピストンの両側における容積Ｖ₁およびＶ₂が互いに液圧的に接続されている受動液圧制御装置に関する。この種の受動液圧制御装置の全てのシリンダ（１）のピストン行程の総和Δｓ＝ｋ₁ｓ₁＋ｋ₂ｓ₂＋…＋ｋ_nｓ_nが理想的には常にΔｓ＝０＝一定であり、比例定数ｋ₁，ｋ₂，…ｋ_nがシリンダ（１）のピストン面積の逆数であり、それらの符号が液圧シリンダ（１）間の接続管が交差しているか否かに依存する。この種の受動液圧制御装置はいつまでも位置安定ではなく（Δｓ≠０≠一定）、特に静的な基本負荷のもとにある変化する位置誤差Δｓが考慮されなければならない。この位置誤差は、本発明にしたがって、次によって修正される。すなわち、位置誤差Δｓが定義されるべき正の位置誤差限界＋Δｓを上回るとき、もしくは負の位置誤差限界−Δｓを下回るときにその都度、容積Ｖ₁およびＶ₂間の接続が両容積間の液圧用液体の交換のために形成されること、この接続が液圧用液体の交換を常に位置誤差Δｓの符号に依存して定められた一方向においてのみ許容すること、この接続が、少なくとも、定義された位置誤差限界の１つ＋Δｓもしくは−Δｓが上回られるかもしくは下回られるだけでなく、更にピストン行程ｓ₁…ｓ_nとそれぞれに付属の比例定数ｋ₁…ｋ_nとの全ての積も位置誤差Δｓと同じ符号を有する場合に形成されていること、そしてこの接続を介する液圧用液体の交換が液圧シリンダ（１）のピストン棒への力作用によって行なわれることである。
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【課題】
空気圧等の流体圧の入力圧に応じてそれに応じた超微細ストロークを発生するアクチュエータを提供する。
【解決手段】
複数の切込み２１〜２４を備えるボディ１０に対して交差するように中心部に挿通孔１２を形成するとともに、ボディ１０の端部に凹部１３を形成し、凹部１３内に収納保持される圧力板１６に連設されるロッド１７を上記挿通孔１２内に配し、ダイヤフラム１９を介して上記圧力板１６に入力圧力を印加したときに、切込み２１〜２４の根元側の連結部の弾性変形によって出力点Ｐがストロークを生ずるようにする。 （もっと読む）