【課題】コスト上昇を抑えつつエレクトリカルランアウトを防止できるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼３２が形成されたロータ３０と、回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配置された複数段の固定翼２２と、ロータ３０が固定され、モータ３６により回転駆動されるシャフト１２と、シャフト１２を磁気浮上させる磁気軸受３７ａ，３７ｂ，３８と、シャフト１２の磁気浮上位置を検出する渦電流式ギャップセンサ２７ａ，２７ｂ，２８とを備え、ラジアルセンサ２７ａ，２７ｂの検出対象として非磁性金属から成るターゲット部材１３，１４と、スラストセンサ２８の検出対象として非磁性金属で形成されたロータディスク１５とが設けられている。なお、ターゲット部材１３およびロータディスク１５を、シャフト１２に着脱可能に固定するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能である、動作中のロータシャフト支持用に磁気軸受を配したロータアセンブリおよびステータアセンブリの提供。なお、前記ロータアセンブリおよびステータアセンブリには、ＮＡＣＥ防食規格準拠の磁気軸受を含む。
【解決手段】ロータアセンブリ１００および／またはステータアセンブリの露出表面の特定領域に施されるバリヤ層１０６を使用する。さらに、バックアップ軸受内輪および外輪、ロータ接地スリーブ１０８に用いる耐食材料とともに、耐食性が向上した真空ステータアセンブリを提供する。 （もっと読む）

磁気ベアリング装置（１）用のロータ軸（２００）が開示されている。その軸は、スペーサ（２５０、２７０）により隔てられた複数のターゲット（２４０、２６０、２８０）の取付けられている内部部分からなる。これは、ラジアル方向の押し付け力よりもむしろ軸心方向の押し付け力（Ｆ、Ｆ’）を周辺にあたえることで達成される。この方法では、単純化した構成、高い剛性および高回転速度にて高い安定性が達成される。さらに、直径が周辺部に向かい減少するスラストディスク（２２０）を有するロータが開示されている。このことは、一定回転速度に対して、より大きなスラストディスクの使用を可能にする。
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【課題】 ポンプ組み立て時にベアリングの内輪が磁化されることがなく、ポンプ運転時における内輪の連れ回りを防止することができる磁気軸受式回転真空ポンプの提供。
【解決手段】 回転翼２１が形成されたロータ４は、ＤＣブラシレスモータのモータロータ３が組み込まれたシャフト２に取り付けられている。ロータ４およびシャフト２から成る回転体は、磁気軸受を構成する電磁石５１，５２，５３により非接触支持される。シャフト２は、ステータ５に設けられた非常用メカニカルベアリング２７，２８に貫挿されるように装着される。メカニカルベアリング２７の内輪２７ｂおよび転動体２７ａは非磁性材料または軟磁性材料で形成されている。その結果、ポンプ組み立て時にモータロータ３の磁力の影響で内輪２７ｂが磁化されることがなく、ポンプ運転時にメカニカルベアリング２７の内輪２７ｂに連れ回りが発生するのを防止することができる。 （もっと読む）