【課題】 逆火を防止することにより燃焼面付近の部材の耐久性を向上させる。
【解決手段】 容器内加熱用バーナは、ガス供給装置に接続され、とりべに取り付けられる。容器内加熱用バーナは、可燃性ガス通過管１３２と、可燃性ガス噴出体１４２と、混合ガス噴出体１４０と、ガス噴出部３３の表面に接するメタルニット３４と、接続部とを備える。可燃性ガス噴出体１４２は、可燃性ガス通過管１３２に接続される。混合ガス噴出体１４０は、酸素含有ガス通過管１３０に接続され、可燃性ガス噴出体１４２を収容する。併せて、混合ガス噴出体１４０は、複数のガス噴出孔１５０を有する。可燃性ガス噴出体１４２は、複数の内部噴出孔１６０を有する。内部噴出孔１６０は、可燃性ガス通過管１３２を通過した可燃性ガスが混合ガス噴出体１４０の内部に噴出するためのものである。併せて、複数のガス噴出孔１５０は、メタルニット３４によって覆われている。 （もっと読む）

大きな表面を有する基板の火炎処理、たとえば燃焼化学気相成長（ＣＣＶＤ）法で基板をコーティングするのに特に好適なガスバーナーは、ガス供給接続部（２）およびノズルプレート（３）を有するバーナー本体（１）を含む。バーナー本体（１）およびノズルプレート（３）はともにガスプレナムを構成し、ノズルプレート（３）は、プレナムの穿孔された壁部分を構成する。ノズルプレート（３）は、ノズルプレートのプレナム側（５）から火炎側（６）に延在する多数のノズル（４）を含み、積層に配置され、かつノズル延在部にほぼ垂直またはほぼ平行に延在する複数のシート（１０）からなる。シート（１０）は貫通開口部を有し、すべてのシートの貫通開口部は、少なくとも部分的に互いに位置合わせされるか、または櫛状の形態を有する。バーナーのノズルプレート（３）は、バーナーの寸法およびノズルの必要とされるアスペクト比とは無関係に、簡単に、たとえば市販の穿孔された金属シート材料で作製することができ、ノズルの寸法または密度に関する様々な要件に容易に適合させることができ、容易に洗浄することができる。
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【課題】高温の火炎を発生することが出来ると共に、火炎の温度、火炎の太さ、火炎の長さ、高温ガス中の酸素濃度その他をバーナーワークの作業に対応させて容易且つ正確に調整出来るようなバーナーワーク用ガスバーナーの提供。
【解決手段】カバー部材（Ｃ１）と、該カバー部材（Ｃ１）を被せられたバーナー出口部（Ｆ１）とを設け、該バーナー出口部（Ｆ１）には燃料供給系統（２１０Ｂ）と空気供給系統（２２０Ｂ）とが合流した配管（混合気主管部材２Ｂ）が連通しており、該バーナー出口部（Ｆ１）の上端面には、気体透過性を有するマット状部材（Ｆ２）が載置されている。 （もっと読む）