【課題】主に電気・電子部品その他の部材に使用される面状発熱体において、薄型であると同時に均一に放熱可能な面状発熱体の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶ポリエステルからなる溶質を溶媒に溶解させて液晶ポリエステル溶液を調製する。次いで、液晶ポリエステル溶液を導電性シート２の少なくとも片面に塗工する。最後に、液晶ポリエステル溶液を加熱処理して液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４を成膜する。溶媒キャスト法により、膜厚Ｔ２、Ｔ３が薄くて均一な液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４が得られる。液晶ポリエステルの分子がランダムに配向して異方性がなくなるので、面状発熱体１の特定方向における引裂強度の低下を容易に回避できる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）