本発明は、ウェブＷを電子ビーム照射する装置を通気する方法及び装置に関し、その方法は、ウェブ入口開口部１１５とウェブ出口開口部１２１を備える第１チャンバ１０７を設ける段階と、第１チャンバ１０７内部に延びる第２チャンバ１１１を設ける段階であって、第２チャンバ１１１が、ウェブ入口開口部１１４と、ウェブ出口開口部１１２と、電子線が適合されて第２チャンバ１１１内にそこを通って放射される電子線出口表面２１とを備える段階と、ウェブＷを、第２チャンバ１１１に通過させる段階と、気体流体を、第１チャンバ１０７のウェブ出口開口部１２１内に供給し、少なくとも１つの出口１１３をもたらすことによって、第１及び第２チャンバ１０７、１１１の両方を通して、ウェブＷの走行方向と反対方向に前記流体の流れを作り出す段階とを含む。
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【課題】被処理物を搬送しながら、気体からプラズマを発生させて被処理物をプラズマ処理する装置において、被処理物とプラズマ活性種との接触の効率を向上させ、これによって被処理物の処理効率を向上させるような構造を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置は、誘電体３１および電極８、８Ａを備えている電極装置３０、および被処理物２１を搬送し、誘電体７に対向して移動させるための搬送手段５を備えている。電極８と搬送手段５との間に電圧を印加することによってプラズマを発生させ、被処理物２１を処理する。 （もっと読む）

【課題】 エアフィルタに付着しているゴミを除菌・消臭処理しながらフィルタ清掃部にて除去することにより、フィルタ清掃部が清潔に保たれるようにする。
【解決手段】 空気吸込口２１０の内面側に沿ってエアフィルタ５が配置されている室内機筐体を有する空気調和機において、フィルタ清掃部３００と、エアフィルタ５とフィルタ清掃部３００とを相対的に移動させる清掃時駆動手段と、エアフィルタ５に紫外線を照射する紫外線照射ユニット４００とを含み、清掃時駆動手段にてエアフィルタ５とフィルタ清掃部３００とを相対的に移動させてフィルタ清掃部３００によりエアフィルタ５に付着しているゴミを除去する際、エアフィルタ５の未清掃面側に紫外線照射ユニット４００より紫外線を照射する。 （もっと読む）