更なる工業的使用のため又は環境規制に従うために、工業的作業中に生じる廃水流れからフッ化物を除去する方法。本方法は、フッ化物イオン及びフルオロシリケートイオンの除去を、廃水流れ中のイオン全体から分離して行い、これにより処理効率を向上させコストを低減させる。イオン交換クロマトグラフィーを使用して、廃水流れ中の陽イオン／陰イオンを選択的に結合する帯電樹脂を含有する１又はそれより多いカラムに廃水流れを通すことにより、フッ化物イオン及びフルオロシリケートイオンを除去する。フッ化物イオンをカラムから洗い出し、除去のため又は他のプロセスでの使用のために集める。
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【課題】水性過酸化物溶液の精製方法を提供すること。
【解決手段】水性過酸化物溶液を精製する方法であって、以下の水性過酸化物溶液の処理を含む方法：
（ａ）少なくとも一つの膜精製処理（３）、（ｂ）任意に少なくとも一つのイオン交換精製処理（１８）、（ｃ）任意に少なくとも一つの希釈処理、及び（ｄ）少なくとも一つの他の精製処理、前記処理をいずれの順序でも行うことができる。本方法によりＴＯＣレベルが１ｍｇ／ｋｇよりも低い水性過酸化物溶液を得ることが可能である。該水性過酸化物溶液は、半導体の製造に使用することができる。 （もっと読む）