【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決手段】リン酸含有水をカチオン交換後、ｐＨ３以下の条件下で逆浸透装置４に供給して逆浸透処理を行い、リン酸以外の酸を水とともに透過液室４ｂ側に透過させ、リン酸を濃縮液室４ｃ側に濃縮し、透過液をアニオン交換樹脂５ａに接触させてリン酸イオン以外の酸を除去して純水６ａを回収し、濃縮液を第２のアニオン交換樹脂７ａに接触させてリン酸イオン以外の酸を除去し、蒸発濃縮装置８で水とともに揮発性成分を除去してリン酸濃縮液９ａを回収する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸イオン含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決の手段】リン酸イオン含有水をカチオン交換後、アニオン交換樹脂３ａに接触させてリン酸イオンを吸着させ、リン酸イオンを吸着したアニオン交換樹脂３ａをアルカリで再生してリン酸塩を溶離させ、溶離したリン酸塩溶液を電解装置７で電解して、陽極１１側からリン酸を回収するとともに、陰極１２側からアルカリを回収してリン酸塩溶離工程へ循環し、リン酸を回収する。 （もっと読む）

【課題】 基板プロセス、例えば、電気化学機械的研磨（ＥＣＭＰ）プロセスからの廃水を処理するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】 一実施形態においては、基板プロセスの間に生成した廃水混合物を処理する方法であって、基板処理システムからキレート化金属錯体を含む廃水を流すステップと、酸化剤と廃水とを混ぜ合わせて、遊離キレート化物質を得るステップと、廃水を有機粘土媒体と活性炭媒体に流し込み、遊離キレート化物質を除去するステップと、廃水をアニオン交換樹脂に流し込み、金属イオンを除去すると共に廃水を得るステップと、を含む、前記方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】酸性塩化ニッケル水溶液中に含まれる亜鉛をイオン交換塔内に充填された陰イオン交換樹脂に吸着させて除去する方法において、吸着工程での樹脂への亜鉛吸着量、破過に至るまでの通液量等の吸着性能を向上させる効率的な塩化ニッケル水溶液の精製方法、及びそれに用いるイオン交換樹脂充填塔を提供する。
【解決手段】下記（イ）〜（ハ）の操作を行うことを特徴とする。
（イ）密閉構造のイオン交換塔内の内部に陰イオン交換樹脂からなる固定床を形成する。
（ロ）イオン交換塔の頂部から原液を注入し、流入した原液により、固定床の上部に液層部を形成するとともに、液層部の液圧により陰イオン交換樹脂の浮上を抑えながら固定床を通過し、イオン交換塔の底部から流出する下降流を形成する。
（ハ）固定床の全面にわたりその上面に整流板を配備することによって、前記下降流に、固定床の水平断面の全体に渡って均一な線速度を保持させる。 （もっと読む）

【課題】オキソ陰イオン吸着イオン交換体を提供する。
【解決手段】ａ）水性媒体中でフタルイミド法により製造されたビーズ状弱塩基性陰イオン交換体を鉄（ＩＩ）塩または鉄（ＩＩＩ）塩と接触させる工程と、ｂ）ａ）で得られた混合物のｐＨ値を、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の水酸化物を加えることによって２．５〜１２の範囲に調節する工程、および得られた前記鉄酸化物／鉄オキシ水酸化物含有イオン交換体を既知の方法で分離する工程とからなる鉄酸化物／鉄オキシ水酸化物含有弱塩基性陰イオン交換体の製造方法、オキソ陰イオンおよびそれらのチオ類似体、好ましくはヒ素を、水および水溶液から除去するためのその使用、並びに、再生方法に関する。 （もっと読む）

【課題】硝酸イオン、硫酸イオン、ヨウ素イオンなどのイオンとリン酸イオンとを含有する排水を用いて、簡便に、純度の高いリン酸金属塩粒子を製造し得るリン酸金属塩粒子製造方法を提供することにある。
【解決手段】硝酸イオン、硫酸イオン、ヨウ素イオンから選ばれる少なくとも一種と、リン酸イオンとを含む排水と、硝酸ニッケル、硝酸アルミニウムおよび硝酸カルシウムのいずれかの硝酸金属塩とを用いて所定の工程を実施してリン酸金属塩粒子を製造することを特徴とするリン酸金属塩粒子製造方法を提供する （もっと読む）

【課題】オキソアニオン吸着用両性イオン交換体を提供する。
【解決手段】本発明は、オキソアニオンを吸着するための両性イオン交換体の使用、好ましくは、オキソアニオンを水および水溶液から除去するための、鉄酸化物／鉄オキソ水酸化物含有両性イオン交換体の使用、および、これらの両性鉄酸化物／鉄オキシ水酸化物含有イオン交換体の製造に関する。 （もっと読む）

【課題】複数のイオン交換塔を有する水処理装置において、交換したイオン交換樹脂の汚染を防止し、処理水の水質の立ち上がりを良好にすることができるイオン交換樹脂の交換方法を提供する。
【解決手段】複数のイオン交換塔を有する水処理装置において、当該複数のイオン交換塔に充填されているイオン交換樹脂を交換する方法であって、前記複数のイオン交換塔のうちの一のイオン交換塔よりも上流側に位置するイオン交換塔に充填されているイオン交換樹脂を交換した後に、所定の期間通水し、その後に前記一のイオン交換塔に充填されているイオン交換樹脂を交換する。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂内の金属不純物の含有量を確実に低減し、このイオン交換樹脂により精製される製造用液中への不純物金属溶出量を低減し、ひいては含有金属不純物量の少ない高純度の製造用液を得ることができるイオン交換樹脂の含有金属不純物低減方法、その方法により製造されたイオン交換樹脂、イオン交換樹脂カラム、そのイオン交換樹脂を用いた精製装置、及び精製方法を提供すること。
【解決手段】このイオン交換樹脂７は、含有金属不純物量が１ｍｇ／ｌ以下でかつ濃度が５％以上の鉱酸溶液１１に接触させることにより、濃度３％の塩酸を体積比２５倍量で通過させたときに溶出する全不純物量が５μｇ／ｍｌ−Ｒ以下とされている。 （もっと読む）

【課題】酸成分を含有する排水を処理するに際し、省スペース化しつつ、とくに安定して良好な処理水（高純度の処理水）を得ることのできる排水の処理方法および装置を提供する。
【解決手段】酸成分を含有する排水を、活性炭塔、弱塩基性陰イオン交換樹脂塔、および強酸性陽イオン交換樹脂と強塩基性陰イオン交換樹脂を一つの塔内に個別の層として形成した複層塔にて、この順に処理することを特徴とする排水の処理方法および装置。 （もっと読む）

【課題】鉄等の多価金属が併存するホウ素含有排水から効率的に高純度のホウ素を回収する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも多価陽イオンを含むホウ素含有排水１を処理し、ホウ素を吸着したホウ素選択性樹脂２から、該吸着したホウ素を鉱酸溶液により溶離させて得た溶離液４を、遊離塩基形弱塩基性陰イオン交換樹脂層７に通液し、ホウ素溶液８と鉱酸溶液に分画してホウ素溶液を回収する方法において、該溶離液を該陰イオン交換樹脂層に対して上向流で通液することを特徴とするホウ素の回収方法。 （もっと読む）

【課題】 銅材料をエッチングした後の塩化銅エッチング廃液について、有効な金属である銅以外の不純物金属を簡便な操作でかつ低コストで除去して精製すること。
【解決手段】 亜鉛、鉄、などの金属の陰イオン性錯体は、弱塩基性アニオン交換樹脂に接触させることで除去されることが知られている。一方塩化銅エッチング廃液中の有効金属である銅は陰イオン性錯体として存在するといわれているが、本発明者は、塩化銅エッチング廃液中の銅の陰イオン性錯体は、強または弱塩基性アニオン交換樹脂に接触させてもほぼ吸着されないことを見出した。従って塩化銅エッチング廃液をこれらアニオン交換樹脂に接触させることにより、鉄や亜鉛の陰イオン性錯体はこの樹脂に吸着されて除去されるが、銅はそのまま液中に残ることから、塩化銅エッチング廃液を精製することができる。 （もっと読む）

【課題】 リン酸、有機酸やアミノ酸を高効率で分離回収する方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリン酸、有機酸、アミノ酸の分離・回収方法では、リン酸有機酸、アミノ酸を含有する被処理液を、強塩基性陰イオン交換樹脂を通過させて、リン酸を強塩基性陰イオン交換樹脂に吸着させ、次に、水酸化ナトリウム水溶液を、前記強塩基性陰イオン交換樹脂を通過させ、前記リン酸を脱着させて、リン酸を回収する。前記強塩基性陰イオン交換樹脂を素通りした有機酸とアミノ酸を弱塩基性陰イオン交換樹脂（好ましくは超多孔性ＰＥＩキトサン樹脂）を通過させて、有機酸を弱塩基性陰イオン交換樹脂に吸着させ、次に、水酸化ナトリウム水溶液を、前記弱塩基性陰イオン交換樹脂を通過させ、前記有機酸を脱着させて、有機酸を回収する。前記弱塩基性陰イオン交換樹脂を素通りしたアミノ酸は公知の方法により成分分離することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作により膜性能を効果的に回復でき、洗浄液を繰り返し使用して、洗浄液の使用量および排液量を少なくでき、しかも排液の処理が容易な選択性透過膜の洗浄方法を提案する。
【解決手段】
ポリオール、他の有機溶媒、酸およびアルカリから選ばれる少なくとも１種の成分を含む洗浄液を、洗浄液槽７からモジュール１の濃縮液室３に供給して選択性透過膜２と接触させて洗浄を行い、性能を回復させる際、洗浄の前後に洗浄液を吸着槽８において吸着剤１０と接触させ、膜汚染性物質を吸着除去した洗浄液を選択性透過膜２と接触させて、選択性透過膜に付着した膜汚染性物質を溶解除去する。 （もっと読む）

本発明は、Zr+Hfに基づき3質量%以下のHfを含有するZrCl₄及びHfCl₄の混合物からジルコニウム及びハフニウムを分離するための方法に関し、該方法は以下の工程:1)強無機酸水溶液においてZrCl₄及びHfCl₄の混合物を加水分解し、1リットル当たり7〜12モルの酸を有する酸性水溶液を形成する工程;2)工程1)で得られた溶液をアニオン交換樹脂に通す工程;3)任意に、ハフニウムが濃縮されている1リットル当たり7〜12モルの酸を有する前記水溶液のフラクションを溶出する工程;4)Zr及びHfを含有する該酸性溶液を該樹脂から除去する工程;5)水溶液を該樹脂に通し、該樹脂に固定されているジルコニウム化合物を脱離させ、及びジルコニウム濃縮フラクションを回収する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】生物処理水含有水をＲＯ膜分離処理して浄化するに際して、ＲＯ膜の透過流束の低下を防止して、長期に亘り安定した処理を行う。
【解決手段】廃水の生物処理水を含有する、ＴＯＣ濃度が０．５〜１００ｍｇ／Ｌの被処理水をＲＯ膜分離処理して浄化する方法において、被処理水中の多価金属イオンを除去した後、ＲＯ膜分離処理する。生物処理水含有水をＲＯ給水とした時のＲＯ膜閉塞主要因物質である蛋白質や高分子多糖類などの比較的粘着性の高いファウリング性物質に対して、バインダー的要因となり、汚染物質の膜面付着を助長させる多価金属イオンを、ＲＯ膜分離処理に先立ち除去することにより、このような汚染物質の膜面付着の助長を抑制し、これにより、膜の目詰まりによる透過流束の低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】 硝酸イオン、硫酸イオン、ヨウ素イオンなどのイオンとリン酸イオンとを含有する排水中から簡便にリン酸イオンを選択的に回収する排水方法を提供することにある。
【解決手段】 硝酸イオン、硫酸イオン、ヨウ素イオンから選ばれる少なくとも一種と、リン酸イオンとを含む排水からリン酸イオンを回収する排水処理方法であって、酸性を呈する状態にて、排水をアニオン交換樹脂に接触させて、硝酸イオン、硫酸イオン、ヨウ素イオンの内、前記排水に含まれるイオンをイオン交換させた後に、再び、アニオン交換樹脂に接触させて、アニオン交換樹脂にリン酸イオンをイオン交換させて、リン酸イオンを回収することを特徴とする排水処理方法と該処理方法に用いる排水処理装置とを提供する。 （もっと読む）

【課題】 イオン交換樹脂の再生に要する時間や水の使用量を高度に低減し、イオン交換樹脂の再生に要するコストを、より削減できる純水生成装置または軟水生成装置を提供する。
【解決手段】 陽極と陰極との間に電圧を印加することによってバイポーラ膜で水または塩水を電気分解し、生成したＯＨ⁻イオンまたはＨ^＋イオンで上記アニオン交換樹脂室内のアニオン交換樹脂またはカチオン交換樹脂室内のカチオン交換樹脂を再生し、再生によってイオン交換されたイオンを陽極室または陰極室に電圧の力によって排出する機構、およびタンクに貯蔵した酸性水をイオン交換樹脂再生の際に陽極室および陰極室に供給する機構を有することを特徴とする純水生成装置または軟水生成装置である。 （もっと読む）

【課題】 再生時間を短縮して、排水量を少なくするとともに、再生効率の高いイオン交換装置を提供する。
【解決手段】 イオン交換塔１に原水Ｗ１を下向流で通して処理液を、再生剤の薬液を上向流で通して再生するイオン交換装置であり、イオン交換塔１内に塔を上下方向に三室に区画する透液性の上部仕切板２及び下部仕切板３が設けられている。下室４ｃには固定床を形成するように充填された第一の強イオン交換樹脂層Ａ１を有し、中間室４ｂには上向流により流動床を形成するように充填された弱イオン交換樹脂層Ｂを有し、上室４ａには上向流により流動床を形成するように充填された第二の強イオン交換樹脂層Ａ２を有する。そして、上室４ａと下室４ｃとは塔外において開閉弁７を介して樹脂移送管８により連結されている。 （もっと読む）