基板の温度の均一性およびピーク温度を制御しながら急速に加熱するための方法が開示される。これらの方法を使用する加熱ユニット、薬剤供給ユニットおよび薬剤運搬物品が開示される。急速な加熱は、基板内に配置された、発熱金属酸化還元反応を受けることができる固体燃料を使用することによって得られる。固体燃料が、それに配置された薬剤を急速に熱的に気化するのに十分な温度へ基板を加熱するように構成される薬剤供給ユニットおよび薬剤運搬物品もまた開示される。 （もっと読む）