【課題】ブラスト加工した母材に高エネルギー加工を施すことによって、表面において適度になだらかな起伏を有する材料を安価かつ短時間に実現する。
【解決手段】母材１の表面２をブラスト加工した後に、ブラスト加工後の中間体４の表面５に電子ビーム加工、レーザ加工、又は、プラズマ加工のうちいずれかの高エネルギー加工を施す。例えば電子ビーム加工を施すことにより、ブラスト加工によって中間体４の表面５に形成された多数の鋭い凹部６と多数の鋭い凸部７とにおいて、表面５が短時間に溶融した後に凝固する。したがって、多数のなだらかな谷部１１と多数のなだらかな山部１２とを有する表面１０を備えるなだらかな起伏を有する材料９が得られる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の加工に際し、加工手段として用いられるイオンビームのビーム径の大きさを容易に変更させることができ、加工時間の短縮化が図れ、高精度の加工が可能となるイオンビーム加工方法及び加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物１００９にイオンビーム１００３を照射し、前記被加工物を加工するイオンビーム加工方法または装置を、つぎのように構成する。
前記被加工物に対する測定形状と設定形状との差によって予め求められた加工量に応じて、前記イオンビームのビーム径１００４を変更すると共に、前記イオンビームの前記被加工物に対する照射時間を制御して加工する構成とする。 （もっと読む）

【構成】
工作物から材料を放出および／または基板への材料の付加によって成形製品を製造する方法である。遠心機上で工作物を回転させる。加工時、工作物の表面は全体として遠心機軸線に対して対向しかつ離れている。表面材料が放出されると、工作物回転路から離れている接線方向路に従って移動し、表面から排出される。レーザーなどのエネルギービームや材料のジェット流を使用して、材料の一部を放出させ、工作物から遊離させる。工作物の回転時、短パルスのビームまたはジェット流を使用して工作物の特定部位から材料を放出させる。工作物の回転に対してビーム／ジェット流の向きを変え、そしてビーム／ジェット流を制御すると、放出される材料の位置が変わる。ビーム／ジェット流の照射強度および時間を変更すると、放出される材料の量が変わる。工作物から材料を繰り返し放出させると、ある一定の形になる。コンピュータ制御を利用して向き、時間を制御し、ビーム／ジェット流の照射強度および時間を調節することによって工作物を目的の形に成形する。表面から放出された材料を基板に向ける。各種の制御システムを利用して、例えば放出材料を荷電しこれを磁気ヨークまたは荷電プレートに通過させることによって、基板上に材料を所定の形で堆積させる。これは、工作物の回転と同時に行うことができる。工作物からの放出材料を同時に別な製品の製造に利用しない場合には、リサイクルに回す。 （もっと読む）

【課題】
試料とマスクとの遮蔽位置調整を精度良く行うに際して、調整に手間取らずに簡便に行うことのできる、又、試料とマスクが密着していることを確認できるイオンミリング装置、およびイオンミリング方法を提供する。
【解決手段】
マスクと試料との遮蔽位置関係の調整時に、試料マスクユニットを設置した試料マスクユニット微動機構は、試料微動ベースから取り外されて光学顕微鏡の固定台に装着され、マスクは試料に対する遮蔽位置関係が前記マスク位置調整部によって調整され、イオンミリング時に、試料に対する遮蔽位置関係が調整されたマスクを備えた試料マスクユニットを設置した試料マスクユニット微動機構が位置決め用の軸と穴によって再現性のある決まった位置で試料微動ベースに戻される。又、光学顕微鏡には別の固定台を設け、固定台に試料マスクユニットを設置し、試料とマスクが密着しているかどうかを確認できる。 （もっと読む）