【課題】複雑な特性を有し、しかも被加工物のクランプ状態により様々に特性が変化する搬送ビームの振動を、比較的簡単な構成で抑制して、高サイクルな搬送動作が可能なトランスファフィーダ装置の制御装置を提供する。
【解決手段】 トランスファフィーダ装置の駆動部１０を制御する制御装置２０であって、駆動部１０に発生させる駆動力を指示する駆動力指令値信号を生成する操作量演算手段３０を備えており、操作量演算手段３０が、駆動力指令値信号を演算する操作量算出部３３と、駆動部状態推定値信号を演算する駆動部状態推定部３１と、搬送ビーム振動状態推定値信号を演算する搬送ビーム振動状態推定部３２とからなり、操作量算出部３３は、駆動部状態推定値信号と搬送ビーム振動状態推定値信号により設定されるＨ∞制御問題の解として得られる伝達関数に基づいて、駆動力指令値信号を演算するものである。 （もっと読む）