【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を図りながらも、容積可変部材の反ポンプ室側への作動量を充分に確保すること。
【解決手段】本薬液供給システムは、薬液としてのレジスト液Ｒの吐出時にポンプ１３の作動室内に供給源５２にて加圧した作動エアを導入し、レジスト液Ｒの吸入時にポンプ１３の作動室内の作動エアを真空発生源５４にて吸引して負圧になるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 複雑な設備構成を用いることなく、短時間でパターン形成を行えるようにする。
【解決手段】 薬液塗布装置（塗布ユニット）は、基板１を保持するウエハチャック６と、ウエハチャック６に保持された基板１上に薬液８を塗布するための塗布ノズル３と、基板１上に設けられた計測マーク２に対する塗布ノズル３の相対位置を算出する基板位置計測機構４と、基板１上にパターンを形成するためのパターン情報を記憶すると共に前記相対位置と前記パターン情報とに基づいて塗布ノズル３の駆動制御及び薬液供給制御を行うコンピュータ５とを備えている。 （もっと読む）

【目的】 透過性シートの全体にわたって一様に液体含浸剤を塗布する連続法及びその装置を提供する。
【構成】 連続して進行している透過性シートの第１表面に液体含浸剤のほぼ層状に流れるカーテンを塗布し、その第２表面に、液体含浸剤のカーテンを塗布する位置の近傍にて、真空を加え、透過性シートを通して液体含浸剤の相当な量を吸引し、透過性シートの全体にわたって液体含浸剤のほぼ一様な分布を生じさせ、液体を含浸した透過性シートを乾燥させる。その結果、透過性シートの内部に向けて、液体含浸剤の一様な或いは制御された分布を実現し、過剰含浸剤のシート内の滞留時間を最小化することができる。 （もっと読む）

本発明は、容器（１２）を処理するための方法であって、この容器（１２）は、この容器（１２）の外側でキャビティ（１８）を規定し、真空ポンプ回路（５０）に接続されているチャンバ（１６）の内側に配置され、この容器（１２）の内部は、このポンプチャンバ（５０）に接続されるタイプで、初期排気工程（Ｅ１）とそれに続く処理工程（Ｅ２）とを有するタイプの方法において、この初期工程（Ｅ１）は、キャビティ（１８）の内側だけで圧力を減少させる外部排気段階（Ｐ１）と、容器（１２）の内側だけで圧力を減少させる内部排気段階（Ｐ２）と、を有することを特徴とする方法に関する。本発明は、また、この方法を実行するための機械を提供する。
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【課題】角形の基板上に薄膜を形成した後に、基板周辺部に付着した不要な薄膜を除去する工程において、基板上で薄膜が残された部分と剥離された部分の境界に生じる盛り上がりの高さ、幅およびうねりを低減する薄膜除去装置を提供する。
【解決手段】角形の基板上に薄膜を形成した後に、基板周辺部の不要な薄膜を除去する装置であって、少なくとも、前記角形基板の１つの主面と１つの側面が交わる直線部を覆うように配置される直線部用ノズルヘッドと、該直線部用ノズルヘッドを前記角形基板の側面に沿って相対的に平行移動する機構とを有し、前記直線部用ノズルヘッドが剥離液供給口と廃液吸引口と排気口とを具備し、前記直線部用ノズルヘッドの内面に沿って剥離液供給口から廃液吸引口に至る剥離液主流路と、それに並走する乾燥用排気流路と排気遮蔽壁とを具備するものであることを特徴とする薄膜除去装置。 （もっと読む）