【課題】処理液の循環ポンプの大型化等を抑えた上で噴出量を増加させ、噴射ノズルから噴射される処理液の噴出幅、噴出厚さ及び噴出距離を増大させて、異物を巻き上げることなく良好に除去できる噴射ノズル及び該噴射ノズルを用いた槽内異物処理装置を提供する。
【解決手段】処理槽内に貯留した処理液中で用いられる噴射ノズル１は、ノズル本体２の先端壁４の外面に軸方向視で軸中心側に凸の円弧状に延びるＶ字溝５を一対に形成し、該各Ｖ字溝５の長手方向中間部の底部にはそれぞれ軸方向視三日月形状の噴射口６を形成してなる。ノズル本体２は処理槽の底部に向けて斜めに処理液を噴射するべく傾斜して配置され、かつ前記各噴射口６は上下に並ぶように配置される。この噴射ノズル１を用いて槽内異物除去装置が構成される。 （もっと読む）

本発明は、被覆装置に関するものであり、該被覆装置は、被覆すべきサブストレートの前処理のための少なくとも１つの装置（前処理装置）、サブストレート上への被覆材料の塗布のための少なくとも１つの装置（被覆装置）、及び塗布された被覆材料の乾燥及び硬化のための少なくとも１つの装置（硬化装置）を含んでおり、前記前処理装置のうちの少なくとも１つは、該前処理装置内に供給された脱イオン水の、少なくとも１つの電極による陽極酸化のための少なくとも１つの装置を含んでおり、前記電極は基体（１，２）上に施されたダイヤモンドから成る層（３）を有しており、さらに被覆装置のための前処理装置の殺菌のための方法に関し、この場合に前処理装置内に供給された脱イオン水を、基体（１，２）上に施されたダイヤモンドから成る層（３）を有する少なくとも１つの電極によって陽極酸化し、被覆装置の運転中の電極の電圧を常に、該電極で大きな酸素発生が行われる電位範囲の下側に位置させている。
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