【課題】被処理体の一面側の洗浄領域に洗浄液を局所的に供給して、被処理体の側面や他面側への洗浄液の回り込みを防止できる洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】被処理体であるテンプレートＴの転写パターン（洗浄領域）を当該転写パターンが下方に向くように保持機構４により吸着保持する。前記転写パターンを含み、テンプレートＴの外縁よりも内方側の領域との間に洗浄液を満たして通流させるための通流空間を液収容部３１により形成し、前記通流空間に液収容部３１の底面に形成された第１の開口部３１ａからリンス液を供給し、前記転写パターンを囲むように液収容部３１と転写パターン２外側領域との間に形成された隙間３０を介して排液部３２に排液する。リンス液は液収容部３１内を通流するので、洗浄領域に局所的に供給され、テンプレートＴの側面や他面側への洗浄液の回り込みを抑えながら洗浄処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成性に優れたインプリントを行うためのメンテナンス液を開示する。
【解決手段】エステルおよび／またはエーテル官能基を有する化合物を含有するインプリントを行うためのインクジェット装置のメンテナンス液。 （もっと読む）

【課題】 被転写基板上に形成される欠陥の発生を抑制できるナノインプリント方法を提供すること。
【解決手段】 ナノインプリント方法は、パターンを含むテンプレート１４に付着したパーティクル１５を除去する工程と、テンプレート１４を被転写基板１１ｄ，１２に押し付け、テンプレート１４の前記パターンを被転写基板１１ｄ，１２に転写する工程とを含むナノインプリント方法であって、パーティクル１５を除去する工程は、被転写基板１１ｄ，１２の表面よりもテンプレート１５に対する密着性が高い密着性部材１２にテンプレート１４を押し付ける工程と、密着性部材１２からテンプレート１４を離す工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】インプリントテンプレートをクリーニングする方法が提供される。
【解決手段】パターン形成されたガラス、クォーツまたは石英ガラスのうちの１つからなるインプリントテンプレート２０のコンタミ２１をクリーニングする方法であって、パターン形成された表面を還元流体４６に露出させることからなる。インプリントテンプレートクリーニング装置は、インプリントテンプレート２０をチャンバ４０からチューブ４３を経て流出する還元流体４６に露出させるように構成される。 （もっと読む）