【課題】ソリューションプラズマ法によって金属酸化物微粒子を安定的にかつ効率良く製造することができる金属酸化物微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属オキソ酸イオンを含む溶液中にて放電を行う。 （もっと読む）

金属酸化物膜を、前記膜のための支持体の表面上に堆積させるための方法であって、堆積チャンバーを準備する工程と、電子およびプラズマからなるパルスビームを前記堆積チャンバー中に与える工程と、支持体を前記堆積チャンバー中に与える工程であって、前記支持体は堆積表面を有する工程と、金属酸化物を含んだ材料で作られたターゲット体を前記堆積チャンバー中に与える工程であって、前記ターゲット体はターゲット表面を有する工程と、前記電子およびプラズマからなるパルスビームを前記ターゲット表面に衝突させることによって前記ターゲット表面からアブレーションされた金属酸化物のプルームを形成する工程と、前記プルームを前記堆積表面に接触させることによって前記堆積表面上に金属酸化物膜を堆積させる工程とを含む方法。
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【課題】 基板上に形成された結晶性の金属酸化物膜、該金属酸化物膜を製造するための製造方法および該金属酸化物膜が形成された成形品を提供する。
【解決手段】 本発明の金属酸化物膜１２は、基材１０に付着した前駆体物質の結晶化を促進する処理後にプラズマ処理により結晶化される。結晶化を促進する処理は、前記前駆体物質の膜に真空紫外線を照射する処理でもよいし、格子定数が、金属酸化物膜を形成する金属酸化物の格子定数の±１５％以内の粒子として混合する処理でもよい。また、本発明は、金属酸化物膜を形成させるための前駆体物質を基材１０に付着させ、前記前駆体物質の結晶化を促進する処理が施された、またはシードを含む前駆体膜を形成する工程と、基材１０に付着した前駆体膜を、プラズマ処理することにより、前駆体膜を結晶化させ金属酸化物膜１２とする工程とを含む金属酸化物膜の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高い結晶性を有する粒子状の最小構成単位から形成されるマンガン酸化物ナノ構造体を提供すること。
【解決手段】 高い結晶性を有する粒子状の最小構成単位から形成される綿花状構造を有するマンガン酸化物ナノ構造体とする。このようなマンガン酸化物ナノ構造体は、レーザーアブレーション法において雰囲気ガスとして、ヘリウムガスと酸素の混合ガスを用い、酸素の割合が質量流量比で１．０〜１０％とすることにより得られる。なお、マンガンの他、鉄、コバルト、ニッケルのような、酸素に対して安定な状態となる価数が複数存在する遷移金属にも適用できる。
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