【課題】固体原料をガス化させて高精度にかつ長時間、定量供給できる固体原料供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】固体原料１１の粉末を、横断面が一定断面積で、上面が水平面となる形状で、粒子間に隙間が無く、均一緻密な構造に成形し、成形した固体原料を該固体原料の外側面形状と同一の内側面形状を有し、上部が開口した蒸発容器１２内に充填するとともに、該蒸発容器を、固体原料から蒸発した原料ガスを搬送ガスに混合させる混合容器１３内に封入し、該混合容器内の雰囲気温度をあらかじめ設定した温度に保った状態で、該混合容器内にあらかじめ設定した圧力及び流量に調整した搬送ガスを搬送ガス導入経路１４から導入し、蒸発した原料ガスを搬送ガスに混合して同伴させた同伴ガスを混合容器内から同伴ガス導出経路１５に導出して供給先に供給する。 （もっと読む）

【課題】二フッ化キセノン（ＸｅＦ_２）を効率よく確実に供給することができるＸｅＦ_２供給装置を提供する。
【解決手段】ＸｅＦ_２の固体を内蔵した容器の加熱手段と、配管加熱手段と、配管内圧力検出手段と、ＸｅＦ_２の固体の蒸気圧と温度との関係を記憶した第１記憶手段と、容器加熱手段の加熱温度と配管加熱手段の加熱温度との関係を記憶した第２記憶手段と、各加熱手段を制御する制御手段とを備え、入力された初期設定圧力に所定の圧力を加算して設定圧力を求め、第１記憶手段の蒸気圧と温度との関係から設定圧力が得られる容器加熱温度目標値として求め、第２記憶手段に記憶された両加熱手段の加熱温度の関係から配管加熱温度目標値を求め、容器加熱温度目標値に基づいて容器加熱手段を、配管加熱温度目標値に基づいて配管加熱手段を制御するとともに、測定圧力が設定圧力に一致する方向に容器加熱温度目標値を調節する。 （もっと読む）

【課題】低温環境下において、燃料ガスと付臭剤とを容易に混合することが可能な技術を提供する。
【解決手段】燃料ガスと付臭剤とが混合された混合ガスを供給するための混合ガス供給装置は、燃料ガスを供給する燃料ガス供給部と、付臭剤を含み燃料ガスに付臭剤を付加するために用いられる付臭剤付加材を貯蔵する付臭剤付加材貯蔵部と、燃料ガスと付臭剤とを混合するための混合室と、燃料ガス供給部から混合室に燃料ガスを供給するための燃料ガス供給路と、付臭剤付加材貯蔵部から混合室に付臭剤付加材を供給するための付臭剤付加材供給路と、混合室に供給された付臭剤付加材を加熱することで、混合室に供給された燃料ガスに付臭剤を付加する付臭剤付加処理部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 揮発性物質の分離、吸着を行うフィルタや吸着材などの性能試験を長時間安定して行うことを可能にする揮発性物質の揮発供給システムを提供する。
【解決手段】 ＲｕＯ_４原料を収納する揮発装置２と、揮発装置２内の温度を調整する温度調整部３と、揮発装置２に供給するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部４と、パージガス流量調整部４で流量調整されたパージガスを揮発装置２内に導入するパージガス配管５Ｂと、揮発装置２から揮発Ｒｕのを含むガスを搬送する搬送配管６と、搬送配管６に送出するキャリアガスの流量を調整するキャリアガス流量調整部７とを備える。 （もっと読む）