【課題】２種類の流体を貯留した第１及び第２貯留タンクを取り違えることなく、対応した供給経路に確実に取り付けるようにする。
【解決手段】第１貯留タンク５５０のタンク本体５５１を、第２貯留タンク５８０のタンク本体５８１よりも大きくまたは小さくし、第２貯留タンク５８０の挿入部５８２を、第１貯留タンク５５０の挿入部５５２よりも小さくまたは大きくし、第１及び第２受け体５６０，５９０の上側受け部５６１，５９１及び下側受け部５６２，５９２を、各貯留タンク５５０，５８０のタンク本体５５１，５８１及び挿入部５５２，５８２の大きさに対応させる。 （もっと読む）

【課題】連続的かつ正確な配量正確性が保証されるとともに、添加剤をガス状かつ配量して配量位置へ供給することが可能な装置及び方法を提供すること。
【解決手段】蒸発性の液体用のための少なくとも１つのリザーバ１，２と、第１管路を介して前記リザーバ１，２に後置接続され、かつ、流通する液体質量を計測するための質量計測器５と、第２管路を介して前記質量計測器５に後置接続され、かつ、所定の分量に配量可能なコントロールバルブ６と、該コントロールバルブ６と配量位置９の間の第３管路へキャリアガスを供給できるようにするための供給装置７とを備える構成とした。
（もっと読む）

【課題】粉粒体から障害物質を効率的に除去するとともに、難溶性の炭酸塩が析出してスケールによる配管の詰まりやポンプの故障等の虞を低減することができる粉粒体処理システムを提供する。
【解決手段】
粉粒体を洗浄しながら微粒物と中粒物に分級する湿式選別手段２から排出された微粒物と洗浄排水を固液分離する微粒物分離手段４と、微粒物分離手段４で固液分離された洗浄排水を湿式選別手段２へ返送する第一の循環経路３と、湿式選別手段２で分級された中粒物を再洗浄する再洗浄手段５から排出された洗浄排水を再洗浄手段５へ返送する第二の循環経路７と、再洗浄手段５に新規水を供給する新規水供給経路８と、再洗浄手段５から排出された洗浄排水の一部を、洗浄水として第一の循環経路３に供給する洗浄排水供給経路９と、湿式選別手段２から排出された洗浄排水に含まれる特定物質を除去するための炭酸イオンを生成する炭酸イオン生成手段６を備える。 （もっと読む）

【課題】 導入される排液の特性(種類,濃度)に応じた所定の排液排出管から排液を確実に排出できる排液排出装置を提供する。
【解決手段】 この排液排出装置では、コントローラ１６が、開閉弁４Ａと５Ａを閉とする一方、開閉弁４Ｂと５Ｂを開とすることで、超純水供給管３５ＢからｐＨ計測部２Ｂに超純水を流す。ｐＨ計測部２Ｂは、処理槽１９において次の基板処理が開始されるまでの所定の時間内に、既知のｐＨ値を示す上記超純水のｐＨ値を計測し、この計測したｐＨ値を表す検出信号をコントローラ１６に入力する。判断部としてのコントローラ１６は、上記検出信号が表すｐＨ値が上記既知のｐＨ値と一致するか否かを判断することで、上記ｐＨ計測部２Ｂが正常か否かを判断する。 （もっと読む）

二酸化塩素の生成に使用できる装置を提供する。装置は、３つ以上の流体移送デバイス、各流体移送デバイスの入口への導管（２１、２２、２３）、各流体移送デバイスの出口への導管（３１、３２、３３）、デバイスへの水入口（１１）、デバイスからの水出口（１２）を備える単一の流体定量デバイス（２０）を備え、流体移送デバイスは、デバイスを通る水流により比例して作動する。また、二酸化塩素の生成に使用できる方法も提供する。本方法は、流体定量デバイスに水を通流させて下流水を作り出し、且つ流体移送デバイスを作動させる工程；３種類以上の前駆体化学物質をそれぞれ別々の供給源から引き込み、各化学物質を別々に流体移送デバイスの１つに通流させる工程；および、前駆体化学物質を下流水に注入する工程を含む。

（もっと読む）