本発明は、少なくとも１つのマイクロ蒸発器を用いて反応性又は非反応性の物質混合物から少なくとも１種の揮発性化合物を除去するための方法において、マイクロ蒸発器が、５〜１０００μｍの水力直径を有する物質混合物の搬送のための流路、及び少なくとも１０^３ｍ^２／ｍ^３の蒸発器比表面積を有することを特徴とする方法に関する。
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【課題】 真空ポンプを損傷させず整備、点検の容易で且つ燃焼処理を必要としないＰＦＣの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 真空室１２の後段には配管１４を介して真空ポンプ１６と反応ガス導入部１７とプラズマ処理部１８と重合体回収部２０とが連続して設置され、処理装置１０を構成する。このように処理装置１０を構成すれば、プラズマ処理後の反応物が真空ポンプを通過することがなく、反応物によって真空ポンプが損傷するのを防止することができる。またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。また混合ガスをプラズマ処理することによって重合体を生成するので、当該重合体を回収するだけでＰＦＣの処理を済ませることができる。 （もっと読む）