【課題】プラズマ成膜を行う際、成膜用原材料を効率よく使用して材料コストの低廉化及び省資源化を図る。
【解決手段】プラズマ用ノズル１６と、基材１０の成膜部位１２との間に、整流用治具１４を配置する。この整流用治具１４には、プラズマ供給路２０と、原材料供給路２２と、これらプラズマ供給路２０と原材料供給路２２が合流した成膜用合流路２４と、成膜部位１２を通過したプラズマ放電ガス及び未反応の原材料を排出するための排出路２６と、排出路２６中の未反応の原材料をプラズマ供給路２０に戻すための回収路２８とが形成される。プラズマ放電ガスとともに排出路２６の立ち上がり通路３４に流通した未反応の原材料は、冷却管３８を流通する冷却媒体によって冷却されることで凝縮し、液相となって回収路２８から成膜用合流路２４の鉛直通路３０に導入される。その後、プラズマ放電ガスによって揮発・再活性化された原材料は、成膜部位１２に再供給される。 （もっと読む）

【課題】低コストの設備で、反応生成物を容易に取り出すことができる反応容器およびこれを用いた反応生成物の排出方法を提供する。
【解決手段】粉粒体の反応生成物Ｐを得るための内部空間を有する反応容器１００であって、内部空間１０１の一端に通じ、原料の供給源または反応生成物Ｐの排出先に接続分離可能であるとともに、開閉可能な流通路１０６と、内部空間１０１を流通路１０６に向けて狭める傾斜を有し、反応生成物Ｐを流通路に案内する案内部１０３とを備える。このように、簡易で低コストな設備により流通路１０６が鉛直下方に位置するように反応容器１００の向きを変更することで、作業者は反応生成物Ｐを容易に排出し取り出すことができる。たとえば、パッキンの交換は不要になり、高度な蓋の開閉技術は必要なくなる。また、重い蓋を開閉する必要がなくなり、作業性が向上する。 （もっと読む）

本発明は、基板(6)上へのポリマーフィルムの化学気相蒸着法に係り、該方法は、以下の2つの別々の、連続する段階を含む：ガス相のフォトン活性化段階、ここではフォトン活性化エネルギー(42、43)が、主としてガス状組成物中に存在する少なくとも一つのガス状ポリマープリカーサに供給され；および化学気相蒸着段階、ここでは前記フォトン活性化段階から得られる、該活性化されたガス状ポリマープリカーサが、基板(6)上にポリマーフィルムを生成するように、該基板上に堆積され、またここで該ガス相の全圧力は、10²〜10⁵Paなる範囲内にある。本発明は、またこのような方法を使用するためのデバイス(1)にも係る。
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【課題】パッキング内のガスおよび液体の流れを改善して、液体滴の形成を防止し、または液体滴がガス流によって搬送されることを防止し、よって滴分離器の使用を排除する接触装置を提供する。
【解決手段】ガス流のために装置の下方に配置された入口３と、処理済みのガス流を排出するための出口４、その間に配置された構造化パッキング８、さらに液体流のための入口６、および処理済みの液体流を排出するための出口７、さらに少なくとも１つの液体ディストリビュータ２１が液体流のために前記入口６に配置される接触装置１において、液体ディストリビュータ２１が、構造化パッキング８の流路１８内に突出する少なくとも１つのノズルを備え、ノズルが、前記流路１８内のガス流の基本的に完全な遮断を達成する。 （もっと読む）

【課題】原料ガスを有効利用して、燃料ロスを低減することができる反応装置を提供する。
【解決手段】可燃性ガスを含む原料ガスを反応させることが可能な複数の反応器１１，４１，４２と、反応器１１，４１，４２での反応によって反応器１１，４１，４２内に残存する凝結水を受容する排出管５１〜５３と、反応器１１，４１，４２の上流側に設けられ、原料ガスを吸引した後、改質装置２３に向けて圧送するブロワ２２と、排出管５１〜５３の重力方向上部に接続され、ブロワ２２の吸引口に至る循環流路６７とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パッキング内のガスと液体の分配を改善する。
【解決手段】本発明は、装置の下部（２）に位置する上方向に導かれるガス流の入口（３）と処理されたガス流を排出するその上部（５）の出口（４）の間に、同様に、下方向に導かれる液体流のための装置の上部（５）の入口（６）と処理された液体流を排出するためのその下部（２）の出口（７）の間に配置され、異なる方向に配列する複数のパッキング層（１１〜１７）で構造化したパッキング（８）を含む接触装置（１）であって、パッキング層（１１〜１７）を通るそれぞれの流路（１８）が一定の方向に配向している接触装置において、前記ガス流の入口（３）が、構造化したパッキング（８）の下限面（１０）と実質上同じ高さに開口する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波処理における問題点を解決するためになされたものであり、簡易で安価な構造で、マイクロ波装置と連動しながら、必要な時に十分に被処理液を冷却できる冷却手段を備えたマイクロ波処理装置を提供する。
【解決手段】反応容器１１の内部の上部に触媒充填装置１を設置し、該容器の外部に、該触媒充填装置１にマイクロ波を照射するためのマイクロ波装置１７を設置したマイクロ波処理装置であって、反応容器１１内部の下部に、触媒充填装置１を流通した被処理液を貯留する液溜部１３を有し、該液溜部に貯留した被処理液を冷却する冷却コイル２０を備え、液溜部１３で冷却された被処理液は、反応容器の外部に設けられた供給系統１５，１６により触媒充填装置１に供給されるようにしたマイクロ波処理装置である。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を著しく増大させたり、処理の絶対量を低下させることなく、簡易な方法及び構造で、プラズマによって行う排ガスの処理効率を向上することができるようにした排ガス処理装置における磁場によるプラズマの制御方法及びそれを用いた排ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】反応管１内に導入した排ガスを、反応管１内に発生させたプラズマにより分解し処理する排ガス処理装置において、反応管１内に磁場を発生させることにより、反応管１内に発生したプラズマの状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】長尺の放電路を形成し、長尺のプラズマを発生、照射する大気圧プラズマ発生装置を提供。
【解決手段】噴出口２１１からアルゴン流が電極４１及び電極４２間の高周波電力によりプラズマ化され、予備プラズマとして筒状部１５内部に左端から右方向へ噴出される。噴出口２２１においては、アルゴン流が電極４３及び電極４４間の高周波電力によりプラズマ化され、予備プラズマとして筒状部１５内部に右端から左方向へ噴出される。電極４１と電極４３との間に高周波電力を印加すると、放電領域１５０の両端からなだれ込む２つのアルゴンプラズマ間で放電が生じ放電領域１５０全体が放電状態となる。導入口１３を介してアルゴン及び酸素の混合気体を供給すると、酸素プラズマＰ１５０が生じて、筒状部１５の下側に設けられた１７０個の第２の孔部１５２から下方向に照射される。即ち、長さ５０ｃｍに及ぶ長尺の酸素プラズマＰ１５０が生成し、照射される。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、処理効率を向上させることができる水処理装置を提供することを目的としている。
【解決手段】円筒型接地電極と、この円筒型接地電極の円筒中心軸に沿って張られた線状電圧印加電極とからなり、円筒型接地電極の円筒の開口端を上下方向に向けて処理室内に配置された少なくとも一対の電極対と、電極対の上方から被処理水を円筒型接地電極の内部に向かって水滴状にして噴射する噴射ノズルと、を備え、円筒型接地電極内でストリーマ放電を発生させて、ストリーマ放電によって生じる活性種によって被処理水中の処理対象物質を分解処理する水処理装置であって、円筒型接地電極と線状電圧印加電極の間に、噴射された水滴状の被処理水を衝突させて、被処理水の落下速度を落とす絶縁材料からなる障害物が設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

化合物を反応させる方法は、液体を内周流面と外周流面とを持つらせん状拘束流（３７）へ導くことを含むことができる。らせん状拘束流（３７）は、軸方向の内部容積（３８）の周りに形成されることができる。らせん状拘束流の少なくとも一部は、流体がらせん状拘束流（３７）に沿って液体中へスパージされることを可能にするために、スパージング部分（３５）に暴露されることができる。流体生成物を形成するために、流体反応剤をらせん状拘束流を通してスパージすることができる。
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媒体の外面に組み込まれた流体分散流路を有する不規則な方向を向いたセラミックの媒体の床を含む容器が開示される。流路は流体を取り込みかつ向け直し、それによって容器内の流体の分散を向上させる。
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体積が１ｍ^３〜１０ｍ^３であり、高さが１ｍ〜１０ｍである反応器チャンバと、反応物質を供給するための反応器ノズルとを有することを特徴とするフレーム反応器を開示する。 （もっと読む）

本発明は、触媒の発熱気相反応のための改良型反応器であって、少なくとも１つの酸化作用物質と少なくとも１つの被酸化性成分を備えている反応ガスの流れ方向に見て、入口ゾーン（１）、少なくとも１つの触媒（４）を備える反応ゾーン（２）、及び生成ガスのための出口ゾーン（３）を有する反応器に関する。反応器は、断熱ジャケット（６）及び／又は冷媒輸送用装置の様な手段を、少なくとも入口ゾーン（１）の領域に有しており、前記冷媒は、反応ゾーン（２）で発生した熱の、入口ゾーン（１）への輸送を減少させ、ひいては使用されている反応ガス混合物の早期発火又は入口ゾーン（１）での望まれない二次反応の発現の危険性を低減し、及び／又は反応器の内壁は、少なくとも入口ゾーン（１）では、不活性材料から設計されている。反応ガスは、その材料組成に関して均質なガス混合物として、１つ又はそれ以上の供給ライン（３０）を経由して入口ゾーン（１）へ進入する。反応器は、特にアンモニア酸化のために、例えば硝酸システムなどで使用することができ、好適に、小さい断面を有するハニカム型の遷移金属触媒が従来採用されている白金ネットとして使用されている。 （もっと読む）

使用済みの苛性物質などの廃棄物の流れを処理するための一体型のユニットの動作が、混合領域２、沈降領域３、および物質移動領域４という少なくとも３つの別々の領域を有している単一の縦型容器１においてもたらされる。
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【課題】本発明は、原料気体にフッ素化合物等のように反応性の高いものを用いた場合でも、複種の原料気体を熱反応させて、連続的に機能性気体の生産させることが可能な方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明の機能性気体を連続的に得る方法は、複種の原料ガスを反応させて機能性気体を連続的に得る方法であり、該方法は、
複種の原料ガスを外壁が加熱された筒体内へ導入する工程
筒体内へ導入された原料ガス及び反応生成ガスが筒体内を上流から下流へと移動する工程
筒体内から原料ガスと反応生成ガスを取り出す工程
を有し、前記移動する工程にて、原料ガス及び反応生成ガスが筒体の内壁面から反対方向の内壁面へと向かいながら筒体内の上流から下流へと移動することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】装置の上部に配置された液分配器と装置の下部に設置された液集合器との間において多数の流路を区画する内部構造を有し、気体と液体間の物質移動、熱交換又は混合を行う装置において、気液接触効果を向上させる気液接触機構を提供する。
【解決手段】 各充填体構成要素（６）に、水平方向に延長する撚り線状または密着複線状の線条(２０)を，垂直方向に一定の間隔で複数条結合させることにより、液体の保持を増進させる。 （もっと読む）

【課題】高温高圧マイクロ混合デバイスを提供する。
【解決手段】第一反応溶液と第二反応溶液を混合することにより急速昇温又は急速冷却し、瞬時に、所定の温度の反応場を形成させ、均質な微粒子を合成するためのマイクロ混合デバイスであって、マイクロ混合部全体を、冷却又は加熱用の媒体を流通させることが可能な高圧耐性ジャケット内に設置した構造を有するマイクロ混合デバイス。
【効果】高温高圧流体を反応媒体とする微粒子合成反応系の反応場における、第一反応溶液と第二反応溶液との高速混合、急速昇温、急速冷却を可能とすることにより、第一反応溶液の混合点前の流路内での加熱を最小限に留め、混合点で、均一核発生を起こすことが可能な高温高圧マイクロ混合デバイスを提供することができる。 （もっと読む）

【解決手段】
本発明は、気液接触器ならびに排水洗浄のシステムおよび方法に関する。特に、等間隔に離間された複数の平坦な液体ジェットを生成するノズルアレイを有する個別供給ノズルバンクに関する。液体ジェットは、気体による乱れを最小限に抑えるような形状を持つ。本発明の実施形態は、液体流入口および液体流出口、ならびに、気体流入口および気体流出口を含む複数のモジュールを備える気液接触器に関する。ノズルアレイは、液体流入口および気体流入口と連通している。ノズルアレイは、液体の補充を高速に行いつつ、気体流による乱れを最小限に抑えると共に気体流と液体流との間の相互作用を最大限に高めるような形状を持つ複数の平坦な液体ジェットを等間隔に離間させて生成する。 （もっと読む）

本発明は、液体と少なくとも１つの第２の流体とを継続的に反応させるための装置及び方法に関するものであって、当該装置は、互いに並列に接続された少なくとも２つのジェットループ反応器と、１つの共通の外部の液体循環路とを有している。
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